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公開番号2024086485
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022201642
出願日2022-12-16
発明の名称異物除去装置、異物除去方法およびプログラム
出願人株式会社PFA
代理人個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240620BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より簡単な構成で、より確実に異物を除去しつつ、コストをより抑える。
【解決手段】異物除去装置は、半導体素子または光学部品である対象物の表面に付着している異物を除去する。異物除去装置は、円形の開口が下側の端部に形成されている筒状に形成されていて、内部の内圧を大気圧に対して負圧にすることで、粘着性のゲル状のエラストマーの粒を開口に吸着して保持する保持手段と、対象物を載せる載置手段と、保持手段に保持されている粒を異物に押し付けるように保持手段または載置手段を駆動する駆動手段とを備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
半導体素子または光学部品である対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置において、
円形の開口が下側の端部に形成されている筒状に形成されていて、内部の内圧を大気圧に対して負圧にすることで、粘着性のゲル状のエラストマーの粒を前記開口に吸着して保持する保持手段と、
前記対象物を載せる載置手段と、
前記保持手段に保持されている前記粒を前記異物に押し付けるように前記保持手段または前記載置手段を駆動する第１の駆動手段と
を備える異物除去装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記保持手段の内部の内圧を負圧または大気圧のいずれかに変える内圧変更手段を更に備える異物除去装置。
【請求項３】
請求項２に記載の異物除去装置において、
前記内圧変更手段は、前記保持手段の内部の内圧を負圧、正圧または大気圧のいずれかに変える
異物除去装置。
【請求項４】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記第１の駆動手段は、前記保持手段に保持されている前記粒を前記異物に押し付けるように前記保持手段を駆動し、
前記保持手段の位置に対する前記載置手段の位置を変えるように前記載置手段を駆動する第２の駆動手段を更に備える異物除去装置。
【請求項５】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記第１の駆動手段は、前記保持手段の位置に対する前記載置手段の位置を変えるように前記載置手段を駆動する
異物除去装置。
【請求項６】
請求項１に記載の異物除去装置において、
粘着性のゲル状のエラストマーの前記粒を載せるパレットを更に備え、
前記保持手段は、パレットに載せられている前記粒を前記開口に吸着して保持する
異物除去装置。
【請求項７】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記対象物の表面を撮像する撮像手段と、
撮像された前記対象物の表面の画像から、前記対象物の表面に付着している前記異物の位置を取得する画像処理手段と
を更に備え、
前記第１の駆動手段は、前記画像処理手段で取得された前記異物の位置に前記保持手段に保持されている前記粒を押し付ける
異物除去装置。
【請求項８】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記保持手段の円形の開口の直径は、前記粒の直径より小さくされている
異物除去装置。
【請求項９】
円形の開口が下側の端部に形成されている筒状に形成されている保持手段と、前記対象物を載せる載置手段と、前記保持手段または前記載置手段を駆動する駆動手段とを備える異物除去装置による、半導体素子または光学部品である対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去方法において、
前記保持手段の内部の内圧を大気圧に対して負圧にすることで、粘着性のゲル状のエラストマーの粒を前記開口に吸着して保持するステップと、
前記駆動手段により、前記保持手段に保持されている前記粒を前記異物に押し付けるように前記保持手段または前記載置手段を駆動するステップと
を含む異物除去方法。
【請求項１０】
半導体素子または光学部品である対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置であって、円形の開口が下側の端部に形成されている筒状に形成されている保持手段と、前記対象物を載せる載置手段と、前記保持手段または前記載置手段を駆動する駆動手段とを備える異物除去装置を制御するコンピュータに、
前記保持手段の内部の内圧を大気圧に対して負圧にすることで、粘着性のゲル状のエラストマーの粒を前記開口に吸着して保持するステップと、
前記駆動手段により、前記保持手段に保持されている前記粒を前記異物に押し付けるように前記保持手段または前記載置手段を駆動するステップと
を含む処理を実行させるプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は異物除去装置、異物除去方法およびプログラムに関し、特に、半導体素子または光学部品である対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置、異物除去方法およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
カメラなどに使用されるイメージセンサや、レンズやガラスフィルタ等の光学製品は異物が付着していると製品不良となる。そのため、顕微鏡を通して目視で確認し、異物が付着している場合、エラストマー等の半固形の粘着物質が付いた棒（以下、ゲルスティックと称する。）で、異物を粘着物質側に転写することで異物除去する方法が一般的に行われている。
【０００３】
また、ゲルスティックによる異物の除去を自動機で行う場合もある。高解像度カメラを用いた画像検査装置で異物を検出し、異物のある場所にゲルスティックを自動で押し当て転写し、異物を除去する装置が知られている。
【０００４】
しかしながら、この方式の場合、スティックの下面側で異物を吸着させるため、数回使うと異物除去効果が落ちるので、頻繁にゲルスティックを交換する必要がある。ゲルスティックの角度を変えて除去する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。これも、異物除去したい部位の近傍に周辺部材が存在する場合、周辺部材に当接してしまうので、角度を付けてアクセスすることができないため、用途が限られていた。
【０００５】
また交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑である。
【０００６】
さらに、ゲルスティックにおいては、棒の部分（以下、スティックと称する。）が有ると、スティックとの接続部分の粘着物質は異物除去に使えないため、使用する面も球体の半分以下に限られていた。
【０００７】
さらに、ゲルスティックにはスティックが設けられているので、消耗品である材料コストが余計にかかっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
米国特許第１１４０００４９５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このように、ゲルスティックにはスティックが設けられているので、消耗品である材料コストが余計にかかっている。また、交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑である。
【００１０】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、より簡単な構成で、より確実に異物を除去しつつ、コストをより抑えることができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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