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公開番号2024085518
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022200060
出願日2022-12-15
発明の名称切断装置及び切断方法
出願人株式会社アルテクス
代理人個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240620BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハーを切断するときに、きれいな切断面を実現させることに適した切断装置等を提供する。
【解決手段】切断装置が備えるリングブレード11は、表面及び裏面にそれぞれ第1テープ35及び第3テープ33が貼られる第1ウエハー31を切断する。リングブレード11は、制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して、第1テープ35を切断した後に、同じリングブレード11によって第1ウエハー31を切断して、きれいな切断面を実現する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハーを切断する切断装置であって、
前記ウエハーは、表面に第１テープが貼られる第１ウエハーを含み、
制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して前記第１テープを切断した後に前記第１ウエハーを切断する切断部を備える切断装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記切断部は、同じブレードによって前記第１テープ及び前記第１ウエハーを切断する、請求項１記載の切断装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記切断部に対して、音エネルギーを利用して少なくとも前記第１テープを切断することによって生じた切断屑を当該切断部から除去させる、請求項１記載の切断装置。
【請求項４】
前記ウエハーは、さらに、裏面及び表面のそれぞれに前記第１テープ及び第２テープが貼られる第２ウエハーを含み、
前記切断部は、前記制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して前記第２テープ、前記第２ウエハー、前記第１テープ及び前記第１ウエハーを切断する、請求項１記載の切断装置。
【請求項５】
前記第１ウエハーは、裏面に第３テープが貼られ、
前記切断部は、前記第３テープを切断しない、請求項１記載の切断装置。
【請求項６】
ウエハーを切断する切断装置における切断方法であって、
前記ウエハーは、表面に第１テープが貼られる第１ウエハーを含み、
前記切断装置が備える切断部が、制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して前記第１テープを切断した後に前記第１ウエハーを切断する切断ステップを含む切断方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断装置及び切断方法に関し、特に、ウエハーを切断する切断装置等に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
図４は、従来のウエハーを切断する切断処理を説明するための図である（特許文献１参照）。従来、図４（ａ）にあるように、ウエハー５１の裏面にテープ５３を貼着する。図４（ｂ）にあるように、切断ブレード５５を、ウエハーに当てて切断処理を開始する。図４（ｃ）にあるように、切断ブレード５５を、ウエハーの層の材質に応じて異なるブレードに変えつつウエハーを切断する。裏面のテープ５３は、ウエハーの切断によって切れる部分はあっても、完全には切断されない。これにより、図４（ｄ）にあるように、テープ５３に貼られた状態でウエハー５１を分割していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０９４６４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の切断処理では、図４（ｂ）にあるようにブレード５５がウエハー５１に直接当たることなどによって、ウエハー５１の切断面が乱れていた。
【０００５】
よって、本発明は、ウエハーを切断するときに、きれいな切断面を実現させることに適した切断装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の第１の側面は、ウエハーを切断する切断装置であって、前記ウエハーは、表面に第１テープが貼られる第１ウエハーを含み、制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して前記第１テープを切断した後に前記第１ウエハーを切断する切断部を備える。
【０００７】
本願発明の第２の側面は、第１の側面の切断装置であって、前記切断部は、同じブレードによって前記第１テープ及び前記第１ウエハーを切断する。
【０００８】
本願発明の第３の側面は、第１又は第２の側面の切断装置であって、前記制御装置は、前記切断部に対して、音エネルギーを利用して少なくとも前記第１テープを切断することによって生じた切断屑を当該切断部から除去させる。
【０００９】
本願発明の第４の側面は、第１から第３のいずれかの側面の切断装置であって、前記ウエハーは、さらに、裏面及び表面のそれぞれに前記第１テープ及び第２テープが貼られる第２ウエハーを含み、前記切断部は、前記制御装置の制御の下で、音エネルギーを利用して前記第２テープ、前記第２ウエハー、前記第１テープ及び前記第１ウエハーを切断する。
【００１０】
本願発明の第５の側面は、第１から第４のいずれかの側面の切断装置であって、前記第１ウエハーは、裏面に第３テープが貼られ、前記切断部は、前記第３テープを切断しない。
（【００１１】以降は省略されています）

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