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公開番号2024084563
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-25
出願番号2022198890
出願日2022-12-13
発明の名称プラズマ処理装置
出願人日新電機株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H05H 1/46 20060101AFI20240618BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】内側カバーを設けた場合でも、メンテナンス性を向上させることができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置(1)は、処理室内部と外部とを連通する開口部(2b)が設けられた筐体(2)と、筐体(2)に脱着可能に取り付けられ、開口部(2b)を閉塞する真空カバー(4)と、プラズマを発生させるための棒状のアンテナ(8)と、真空カバー(4)との間にアンテナ(8)を包囲するアンテナ収容空間(AK)を構成するアンテナカバー(5)と、を備える。アンテナカバー(5)は、アンテナ(8)の長手方向に沿って複数に分割されている。被覆カバー(14)が、アンテナカバー(5)の分割部を覆うように設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
処理室を構成する筐体であって、前記処理室内部と外部とを連通する開口部が設けられた筐体と、
前記筐体に脱着可能に取り付けられ、前記開口部を閉塞する外側カバーと、
前記処理室内部に配置された、プラズマを発生させるための棒状のアンテナと、
前記外側カバーよりも内側に配置されるとともに、前記外側カバーとの間に前記アンテナを包囲する包囲空間を構成する、誘電性を有する内側カバーと、を備え、
前記内側カバーは、前記アンテナの長手方向に沿って複数に分割されており、
前記外側カバーまたは前記内側カバーに固定され、かつ、前記内側カバーの分割部を覆うように設けられる、誘電性を有する被覆カバーを更に備える、プラズマ処理装置。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記外側カバーは、スペーサーを介在させて前記筐体に取り付けられている、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記スペーサーには、前記外側カバーを脱着可能に支持する支持台が含まれている、請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記被覆カバーは、前記内側カバーの全体を覆うように設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記被覆カバーは、前記アンテナの長手方向に沿って分割された複数の被覆部材によって構成されている、請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記内側カバーのプラズマ耐性は、前記被覆カバーのプラズマ耐性よりも小さい、請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記アンテナは、直線状に構成された直線状部と、前記直線状部に連続的に設けられるとともに、当該直線状部に対して折り曲げられた折り曲げ部とを有し、
前記被覆カバーは、少なくとも前記折り曲げ部に対向するように、設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、プラズマ処理装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
真空容器内に配置したアンテナを用いて当該真空容器内に誘導結合性のプラズマを発生させるプラズマ処理装置が知られている。プラズマ処理装置は、その種別に応じて、発生させたプラズマを用いた所定のプラズマ処理を被処理基板に施す。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載のプラズマ処理装置は、真空容器の上壁に設けられた空洞の内部に高周波アンテナが配置されたアンテナ配置部と、上壁の内面側全体を覆うように設けられた仕切板とを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０１２／０３３１９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のような従来のプラズマ処理装置では、仕切板が真空容器に固定されていた。そのため、当該プラズマ処理装置のメンテナンス作業を行う場合、例えば仕切板を固定しているネジを真空容器の内部側から取り外して、真空容器から仕切板を取り外すことが要求されることがあった。この場合、プラズマ処理装置の解体に近い作業を要する。それゆえ、従来のプラズマ処理装置では、そのメンテナンス作業に手間および時間を要するという問題点があった。
【０００６】
本開示は上記の問題点を鑑みてなされたものであり、内側カバーを設けた場合でも、メンテナンス性を向上させることができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本開示の一側面に係るプラズマ処理装置は、処理室を構成する筐体であって、前記処理室内部と外部とを連通する開口部が設けられた筐体と、前記筐体に脱着可能に取り付けられ、前記開口部を閉塞する外側カバーと、前記処理室内部に配置された、プラズマを発生させるための棒状のアンテナと、前記外側カバーよりも内側に配置されるとともに、前記外側カバーとの間に前記アンテナを包囲する包囲空間を構成する、誘電性を有する内側カバーと、を備え、前記内側カバーは、前記アンテナの長手方向に沿って複数に分割されており、前記外側カバーまたは前記内側カバーに固定され、かつ、前記内側カバーの分割部を覆うように設けられる、誘電性を有する被覆カバーを更に備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一態様によれば、内側カバーを設けた場合でも、メンテナンス性を向上させることができるプラズマ処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の実施形態１に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。
本開示の実施形態２に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
図３のＩＶ－ＩＶ線断面図である。
本開示の実施形態３に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
図５のＶＩ－ＶＩ線断面図である。
本開示の実施形態４に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
図７のＶIII－ＶIII線断面図である。
本開示の変形例に係るプラズマ処理装置の構成を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
〔実施形態１〕
以下、本開示の実施形態１について、図１および図２を用いて詳細に説明する。図１は、本開示の実施形態１に係るプラズマ処理装置１の構成を説明する図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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