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公開番号2024080352
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193477
出願日2022-12-02
発明の名称電子部品移載ロール及び電子部品移載方法
出願人株式会社写真化学
代理人弁理士法人R&C
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240606BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロールを提供する。
【解決手段】軸心X周りに回転可能な円筒形のロール31と、当該ロール31の表面に設けられる粘着性を有するシート32とを備え、表面に電子部品を保持する第1保持部材から電子部品をシート32によって受け取り、受け取った電子部品をシート32から第2保持部材に渡す電子部品移載ロール30であって、シート32は、基材フィルム32aと、基材フィルム32aの、電子部品と相対する側の表面に設けられる第1粘着剤32bと、基材フィルム32aの、ロール31と相対する側の表面に設けられる第2粘着剤32cとを有し、第1粘着剤32b及び第2粘着剤32cは、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールであって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、
前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料である電子部品移載ロール。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記第２粘着剤は、前記ロールと相対する側の前記基材フィルムの全面に設けられる請求項１に記載の電子部品移載ロール。
【請求項３】
前記ロールは通気性を有し、
前記ロールの外表面から内部へ空気を吸引する吸引ポンプを備える請求項１又は２に記載の電子部品移載ロール。
【請求項４】
軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、当該ロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備え、表面に電子部品を保持する第１保持部材から前記電子部品を前記シートによって受け取り、受け取った前記電子部品を前記シートから第２保持部材に渡す電子部品移載ロールを用いる電子部品移載方法であって、
前記シートは、基材フィルムと、前記基材フィルムの、前記電子部品と相対する側の表面に設けられる第１粘着剤と、前記基材フィルムの、前記ロールと相対する側の表面に設けられる第２粘着剤とを有し、前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤は、外部から与えられる刺激によって粘着力が低下する材料であり、
前記第１保持部材が保持する前記電子部品を前記ロールの表面に設けられる前記シートで受け取る受取工程と、
前記受取工程の後に、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第１粘着剤及び前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与える刺激付与工程と、
前記ロールの表面に設けられる前記シートが保持する前記電子部品を前記第２保持部材に引き渡す引渡工程とを有する電子部品移載方法。
【請求項５】
前記引渡工程の後、前記ロールの表面に設けられる前記シートに対して前記第２粘着剤の粘着力を低下させるための刺激を与えずに、前記シートを前記ロールから引き剥がす引剥工程を有する請求項４に記載の電子部品移載方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品を移載する電子部品移載ロール及び電子部品移載方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
発光素子、受光素子等であるマイクロデバイスチップ等の電子部品を成長基板上に製造した場合、その電子部品を別の基板上に移載することが必要になる。例えば、ＬＥＤチップを用いた表示装置の製造工程では、例えば複数のＬＥＤチップを成長基板上で製造し、それら複数のＬＥＤチップを成長基板とは別の回路基板上の所定位置に移載することが行われる。このような電子部品の移載に関する先行技術として、特許文献１（特許第６９７８１２９号公報）に記載する方法がある。
【０００３】
特許文献１に記載の方法では、一つの部材に保持された電子部品を他の部材へと移載するために電子部品移載ロールを用いている。この電子部品移載ロールは、軸心周りに回転可能な円筒形のロールと、そのロールの表面に設けられる粘着性を有するシートとを備える。例えば、表面に電子部品を保持する第１保持部材から電子部品をロールのシートによって受け取り、受け取った電子部品をロールのシートから第２保持部材に渡すことを行っている。ここで、第１保持部材はその表面に第１の粘着剤を有し、第２保持部材はその表面に第２の粘着剤を有し、ロールのシートはその表面に第３の粘着剤を有する。そして、第１保持部材の第１の粘着剤と電子部品との間の粘着力はロールのシートと電子部品との間の第３の粘着力より弱く、ロールのシートの第３の粘着剤と電子部品との間の粘着力は第２保持部材の第２の粘着剤と電子部品との間の粘着力よりも弱くする必要がある。各粘着剤の粘着力がこのように調節されることで、電子部品が、第１保持部材からロールのシートへと渡され、更に、ロールのシートから第２保持部材へと渡される。
【０００４】
各粘着剤の粘着力を調節する方法として、特許文献１には、ロールに設けられるシートに、紫外線の照射によって移載粘着力が紫外線の照射前と比べて低下する紫外線変性材を用いる方法が記載されている。そして、ロールは、シートに紫外線が照射される前の状態（即ち、シートの粘着力が強い状態）で第１保持部材から電子部品を受け取り、その後、ロールは、シートに紫外線が照射された後の状態（即ち、シートの粘着力が弱い状態）で第２保持部材に電子部品を渡す。
【０００５】
尚、ロールの表面に粘着性を有するシートが設けられた電子部品移載ロールを用いて電子部品を移載するためには、シートがロールの表面で撓んでいないこと等、シートがロールの表面に対して正しく且つ強固に装着されていることが必要である。例えば、シートをロールに装着する場合、シートの曲げ応力に対抗できる粘着力でシートをロールに粘着させる必要がある。特に、電子部品の微小化に応じてロールの直径が小さくなるにつれてシートの曲げ応力が大きくなるため、より大きな粘着力でシートをロールに粘着させる必要がある。但し、シートをロールから取り外すことを考えた場合、ロールに相対する側のシートの表面の粘着力は弱い方が好ましい。特許文献１では、ロールの表面に設けられるシートの粘着力のうち、電子部品に相対する側の表面の粘着力についての議論は上述のように行われているが、ロールに相対する側の表面の粘着力については議論されていない。
【０００６】
電子部品を移載するためのシートの取り外し易さを考慮した先行技術として、特許文献２（特表２０１５－５２３７３１号公報）がある。特許文献２に記載の発明では、ＵＶ光（紫外光）に対して透過性がある基板上に、キャリアフィルムと、そのキャリアフィルムの一方の面に配置された第１接着層と、キャリアフィルムの他方の面に配置された第２接着層とを備えるＵＶ反応性接着フィルムを設けている。これら第１接着層及び第２接着層は、ＵＶエネルギーの照射を受けて反応し、接着性が弱まる特性を有している。
【０００７】
特許文献２に記載されている電子部品移載方法では、基板に貼り付けられたＵＶ反応性接着フィルムの上に半導体ウェハが接着される。そして、基板を通してＵＶ反応性接着フィルムにＵＶ光が照射される。そのＵＶ光は、基板を通ってＵＶ反応性接着フィルムに伝わり、半導体ウェハに接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層が基板に接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層よりも迅速に反応する。その結果、半導体ウェハを容易に取り外すことができる。その後、基板にＵＶ光を再度照射することにより、基板に接触する側のＵＶ反応性接着フィルムの接着層の接着力を更に低下させる。その結果、ＵＶ反応性接着フィルムを基板から取り外すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特許第６９７８１２９号公報
特表２０１５－５２３７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２に記載の方法では、ＵＶ反応性接着フィルムの第１接着層及び第２接着層の接着力を低下させるために、２回のＵＶ照射を行わなければならない。また、基板の裏面からＵＶ照射を行うため、裏面からＵＶ照射を行うことができない装置では利用できない。更に、特許文献２に記載の発明では、ＵＶ反応性接着フィルムが平坦な状態で利用されることが前提となっている。つまり、特許文献２では、ＵＶ反応性接着フィルムを特許文献１に記載されるような電子部品移載ロールに適用することが想定されていない。そのため、シートの曲げ応力に対抗できる粘着力でシートをロールに強固に粘着させる必要が有り、且つ、シートをロールから容易に取り外す必要があるという課題は特許文献２では認識されていない。
【００１０】
本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ロールに対してシートを強固に貼り付けることができ且つシートをロールから取り外し易い電子部品移載ロール及び電子部品移載方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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