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公開番号2024075231
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-03
出願番号2022186515
出願日2022-11-22
発明の名称被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被加工物に対してシートを確実に固定するとともに容易に剥離することができる被加工物の加工方法を提供すること。
【解決手段】被加工物の加工方法は、被加工物の加工方法であって、被加工物をテーブルに支持する支持ステップ1と、支持ステップ1の後に、被加工物およびシートの少なくともいずれかを加熱するとともに、シートを被加工物の一方の面に固定する固定ステップ2と、固定ステップ2の後に、被加工物を加工する加工ステップ3と、加工ステップ3の後に、被加工物に固定されたシートを冷却してシートを収縮させる冷却ステップ4と、冷却ステップ4の後に、被加工物からシートを剥離する剥離ステップ5と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物の加工方法であって、
該被加工物をテーブルに支持する支持ステップと、
該支持ステップの後に、該被加工物およびシートの少なくともいずれかを加熱するとともに、該シートを該被加工物の一方の面に固定する固定ステップと、
該固定ステップの後に、該被加工物を加工する加工ステップと、
該加工ステップの後に、該被加工物に固定された該シートを冷却して該シートを収縮させる冷却ステップと、
該冷却ステップの後に、該被加工物から該シートを剥離する剥離ステップと、を備える
ことを特徴とする被加工物の加工方法。
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
該固定ステップでは、
該テーブルおよび該シートの少なくともいずれかを８０度以上１６０度以下に加熱する
ことを特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工方法。
【請求項３】
該冷却ステップでは、
該シートを－２０度以上１０度以下に冷却する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスでは、半導体ウェーハの表面にＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）等の回路素子を複数形成した後、ウェーハの裏面を研削装置で研削して所定の厚みへと薄化し、薄化したウェーハを切削装置で切削することで個々の半導体デバイスを製造している。
【０００３】
このような製造プロセスにおいて、ウェーハのデバイス面（表面）に保護テープを貼着した状態で研削装置に固定して研削工程を実施し（例えば、特許文献１参照）、研削後のウェーハから保護テープを剥離した後に、切削装置に固定して切削工程を実施している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－１２４６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、保護テープを剥離する際、デバイス面に保護テープの粘着材が残りデバイスの製品不良に繋がることがあったため、近年では、粘着材のない樹脂のシートを熱圧着することでデバイスの保護する手法が確立されている。しかしながら、このようなシートは、ウェーハに密着することにより固定されているため、剥離する際に高い剥離力が必要となる。更に、ダイシングテープに転写する際は、熱圧着されたシートの固定力より粘着力の高いダイシングテープを使用する必要がある。したがって、樹脂シートを保護部材として使用する加工方法では、容易に剥離可能となる手法の確立という解決すべき課題がある。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物に対してシートを確実に固定するとともに容易に剥離することができる被加工物の加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の加工方法は、被加工物の加工方法であって、該被加工物をテーブルに支持する支持ステップと、該支持ステップの後に、該被加工物およびシートの少なくともいずれかを加熱するとともに、該シートを該被加工物の一方の面に固定する固定ステップと、該固定ステップの後に、該被加工物を加工する加工ステップと、該加工ステップの後に、該被加工物に固定された該シートを冷却して該シートを収縮させる冷却ステップと、該冷却ステップの後に、該被加工物から該シートを剥離する剥離ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の被加工物の加工方法において、該固定ステップでは、該テーブルおよび該シートの少なくともいずれかを８０度以上１６０度以下に加熱することが好ましい。
【０００９】
また、本発明の被加工物の加工方法において、該冷却ステップでは、該シートを－２０度以上１０度以下に冷却することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、被加工物に対してシートを確実に固定するとともに容易に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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