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公開番号2024073096
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-29
出願番号2022184109
出願日2022-11-17
発明の名称板状物の洗浄方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240522BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】微小な付着物まで容易に除去することができる板状物の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】板状物の洗浄方法は、板状物100を保持テーブル10で保持する保持ステップと、保持ステップを実施した後、保持テーブル10を回転させつつ水溶性樹脂61を板状物100上に供給して、板状物100上に付着している付着物110を水溶性樹脂61で捕集して洗い流す第1洗浄ステップと、第1洗浄ステップを実施した後、保持テーブル10を回転させつつ洗浄水を板状物100上に供給して、板状物100上に残存している水溶性樹脂61を洗い流す第2洗浄ステップと、を、含むことを特徴とする。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
板状物の洗浄方法であって、
板状物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該保持テーブルを回転させつつ水溶性樹脂を該板状物上に供給して、該板状物上に付着している付着物を該水溶性樹脂で捕集して洗い流す第１洗浄ステップと、
該第１洗浄ステップを実施した後、該保持テーブルを回転させつつ洗浄水を該板状物上に供給して、該板状物上に残存している該水溶性樹脂を洗い流す第２洗浄ステップと、
を、含むことを特徴とする板状物の洗浄方法。
続きを表示（約 64 文字）【請求項２】
該水溶性樹脂の粘度は３ｍＰａ・ｓ以上１００ｍＰａ／ｓ未満である請求項１に記載の板状物の洗浄方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工が施されたシリコンウェーハ等の板状物の洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
切削装置を用いてシリコンウェーハを含む半導体ウェーハ等の板状物を切削した際には、切削屑などの所謂コンタミネーションが発生し、板状物に付着する。そして、付着物を除去する為に、加工後の板状物はスピンナテーブルを具備する洗浄装置で洗浄される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－０３５１５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば切削によって発生する切削屑は非常に微小なパーティクル状の付着物であり、一度被加工物に付着すると、非常に除去しづらいという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微小な付着物まで容易に除去することができる板状物の洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の板状物の洗浄方法は、板状物の洗浄方法であって、板状物を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該保持テーブルを回転させつつ水溶性樹脂を該板状物上に供給して、該板状物上に付着している付着物を該水溶性樹脂で捕集して洗い流す第１洗浄ステップと、該第１洗浄ステップを実施した後、該保持テーブルを回転させつつ洗浄水を該板状物上に供給して、該板状物上に残存している該水溶性樹脂を洗い流す第２洗浄ステップと、を、含むことを特徴とする。
【０００７】
該水溶性樹脂の粘度は３ｍＰａ・ｓ以上１００ｍＰａ／ｓ未満であってもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、洗浄水よりも粘度が高い水溶性樹脂で、板状物上の付着物を捕集して洗い流すため、洗浄水では除去できないサイズが微小な付着物まで容易に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係る板状物の洗浄方法の処理手順を示すフローチャートである。
図２は、実施形態に係る板状物の洗浄方法を実施する洗浄装置の構成例を示す斜視図である。
図３は、図１の保持ステップを説明する断面図である。
図４は、図１の前洗浄ステップを説明する断面図である。
図５は、図１の第１洗浄ステップを説明する断面図である。
図６は、図１の第２洗浄ステップを説明する断面図である。
図７は、実施形態に係る板状物の洗浄方法の作用効果を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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