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公開番号2024070159
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-22
出願番号2022180600
出願日2022-11-10
発明の名称インラインシステム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240515BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の処理装置間で被加工物を搬送するインラインシステムにおいて、アイドリング運転時間によって電力等を無駄に消費する恐れを抑制できるインラインシステムを提供すること。
【解決手段】インラインシステムは、第1の装置の第1アイドリング時間A、第1の装置の第1処理予定時間a及び第2の装置の第2アイドリング時間Bに基づき、第1アイドリング時間Aと第1処理予定時間aとを加算した値から第2アイドリング時間Bを減算した値である第1の時間差T1について、第1の時間差T1が正の値を取る際は、第2の装置のアイドリングの開始の時間を第1の時間差T1の値の時間だけ遅らせて開始することを指示し、第1の時間差T1が負の値を取る際は、第2の装置のアイドリングの開始の時間を第1の時間差T1の絶対値の時間だけ早めて開始することを指示する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を処理する第１の装置と、該第１の装置が処理した該被加工物を処理する第２の装置と、該第１の装置から該第２の装置へ該被加工物を受け渡しする第１受け渡しユニットと、該第１の装置および該第１受け渡しユニットおよび該第１の装置を制御する制御ユニットと、を備えたインラインシステムであって、
該制御ユニットは、
該第１の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第１アイドリング時間と、該第１の装置が１つ目の該被加工物の処理を開始してから該第１受け渡しユニットによって該第２の装置へ該被加工物を受け渡すまでの第１処理予定時間と、該第２の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第２アイドリング時間と、を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された該第１の装置の該第１アイドリング時間をＡとし、該第１の装置の該第１処理予定時間をａとし、該第２の装置の該第２アイドリング時間をＢとして、該第１アイドリング時間Ａと該第１処理予定時間ａとを加算した値から該第２アイドリング時間Ｂを減算した値である第１の時間差をＴ１とした場合に、該第１の時間差Ｔ１が正の値を取る際は、該第２の装置のアイドリングの開始の時間を該第１の時間差Ｔ１の値の時間だけ遅らせて開始することを指示し、該第１の時間差Ｔ１が負の値を取る際は、該第２の装置のアイドリングの開始の時間を該第１の時間差Ｔ１の絶対値の時間だけ早めて開始することを指示する指示部と、
を有することを特徴とするインラインシステム。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
該第２の装置が処理した該被加工物を処理する第３の装置と、該第２の装置から該第３の装置へ該被加工物を受け渡しする第２受け渡しユニットと、をさらに備え、該制御ユニットは該第２受け渡しユニットおよび該第３の装置も制御する該インラインシステムであって、
該記憶部は、該第３の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第３アイドリング時間と、該第２の装置が１つ目の該被加工物の処理を開始してから該第２受け渡しユニットによって該第３の装置へ該被加工物を受け渡すまでの第２処理予定時間と、をさらに記憶し、
該指示部は、該記憶部に記憶された該第３の装置の該第３アイドリング時間をＣとし、該第２の装置の該第２処理予定時間をｂとし、該第２アイドリング時間Ｂと該第２処理予定時間ｂとを加算した値から該第３アイドリング時間Ｃを減算した値である第２の時間差をＴ２とした場合に、該第２の時間差Ｔ２が正の値を取る際は、該第３の装置のアイドリングの開始の時間を該第２の時間差Ｔ２の値の時間だけ該第２の装置よりも遅らせて開始することを指示し、該第２の時間差Ｔ２が負の値を取る際は、該第３の装置のアイドリングの開始の時間を該第２の時間差Ｔ２の絶対値の時間だけ該第２の装置よりも早めて開始することを指示することを特徴とする請求項１に記載のインラインシステム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理装置間で被加工物を搬送するインラインシステムに関する。
続きを表示（約 3,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置においては、複数の装置間で被加工物を搬送し、被加工物に対して所定の処理を連続的に実施可能なインラインシステムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のインラインシステムは、第１の装置として研削装置を備え、第２の装置としてレーザー加工装置を備える。また、研削装置とレーザー加工装置との間で被加工物を移送する移送手段をさらに備えている。これらにより、被加工物は、研削装置で所定厚さに研削された後、レーザー加工装置で分割予定ラインに沿ってレーザー加工される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－０３８９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、研削装置やレーザー加工装置のような装置は、被加工物の処理を開始する前に、装置のアイドリング運転（暖機運転）を実施し、各保持テーブルをレシピで設定された所定の温度に昇温させることや、加工室内の温度を加工時と同様の温度に整えて所定の精度で加工が実施できるように準備することが行われる。そのため、装置は、所定のアイドリング運転時間を完了した状態にならないと、被加工物の処理を開始することができない。そして、このようなアイドリング運転は、装置の種類や作動条件によって定められているため、それぞれの装置のアイドリング運転時間は様々である。そのため、インラインシステムに接続するように装置が設置されている場合には、インラインシステムに接続している装置がそれぞれに設定された所定のアイドリング運転時間を全て完了した後に被加工物の処理が開始される。この場合、一方の装置はアイドリング運転が完了していても、他方の装置のアイドリング運転が完了していない場合は、一方の装置はアイドリング運転を行い続ける必要があり、この一方の装置は無駄に電力等を消費するという問題があった。そのため、インラインシステムにおいて、接続する装置がアイドリング運転時間によって電力等を無駄に消費しないようにすべきという課題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の処理装置間で被加工物を搬送するインラインシステムにおいて、アイドリング運転時間によって電力等を無駄に消費する恐れを抑制できるインラインシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のインラインシステムは、被加工物を処理する第１の装置と、該第１の装置が処理した該被加工物を処理する第２の装置と、該第１の装置から該第２の装置へ該被加工物を受け渡しする第１受け渡しユニットと、該第１の装置および該第１受け渡しユニットおよび該第１の装置を制御する制御ユニットと、を備えたインラインシステムであって、該制御ユニットは、該第１の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第１アイドリング時間と、該第１の装置が１つ目の該被加工物の処理を開始してから該第１受け渡しユニットによって該第２の装置へ該被加工物を受け渡すまでの第１処理予定時間と、該第２の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第２アイドリング時間と、を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該第１の装置の該第１アイドリング時間をＡとし、該第１の装置の該第１処理予定時間をａとし、該第２の装置の該第２アイドリング時間をＢとして、該第１アイドリング時間Ａと該第１処理予定時間ａとを加算した値から該第２アイドリング時間Ｂを減算した値である第１の時間差をＴ１とした場合に、該第１の時間差Ｔ１が正の値を取る際は、該第２の装置のアイドリングの開始の時間を該第１の時間差Ｔ１の値の時間だけ遅らせて開始することを指示し、該第１の時間差Ｔ１が負の値を取る際は、該第２の装置のアイドリングの開始の時間を該第１の時間差Ｔ１の絶対値の時間だけ早めて開始することを指示する指示部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
該第２の装置が処理した該被加工物を処理する第３の装置と、該第２の装置から該第３の装置へ該被加工物を受け渡しする第２受け渡しユニットと、をさらに備え、該制御ユニットは該第２受け渡しユニットおよび該第３の装置も制御する該インラインシステムであって、該記憶部は、該第３の装置が該被加工物の処理を始めることが可能となるまでアイドリングする第３アイドリング時間と、該第２の装置が１つ目の該被加工物の処理を開始してから該第２受け渡しユニットによって該第３の装置へ該被加工物を受け渡すまでの第２処理予定時間と、をさらに記憶し、該指示部は、該記憶部に記憶された該第３の装置の該第３アイドリング時間をＣとし、該第２の装置の該第２処理予定時間をｂとし、該第２アイドリング時間Ｂと該第２処理予定時間ｂとを加算した値から該第３アイドリング時間Ｃを減算した値である第２の時間差をＴ２とした場合に、該第２の時間差Ｔ２が正の値を取る際は、該第３の装置のアイドリングの開始の時間を該第２の時間差Ｔ２の値の時間だけ該第２の装置よりも遅らせて開始することを指示し、該第２の時間差Ｔ２が負の値を取る際は、該第３の装置のアイドリングの開始の時間を該第２の時間差Ｔ２の絶対値の時間だけ該第２の装置よりも早めて開始することを指示してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、インラインシステムの複数の処理装置が被加工物を処理せずにアイドリング運転を実施し続けている状態となってしまう恐れを抑制できるので、アイドリング運転時間によって電力等を無駄に消費する恐れを抑制できるという作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１に係るインラインシステムの構成例を示す概略図である。
図２は、図１のインラインシステムの制御ユニットの記憶部が記憶する時間データの第１例を示す図である。
図３は、図１のインラインシステムの制御ユニットの指示部の動作処理の第１例を説明する図である。
図４は、図１のインラインシステムの制御ユニットの記憶部が記憶する時間データの第２例を示す図である。
図５は、図１のインラインシステムの制御ユニットの指示部の動作処理の第２例を説明する図である。
図６は、実施形態２に係るインラインシステムの構成例を示す概略図である。
図７は、図６のインラインシステムの制御ユニットの記憶部が記憶する時間データの第１例を示す図である。
図８は、図６のインラインシステムの制御ユニットの指示部の動作処理の第１例を説明する図である。
図９は、図６のインラインシステムの制御ユニットの記憶部が記憶する時間データの第２例を示す図である。
図１０は、図６のインラインシステムの制御ユニットの指示部の動作処理の第２例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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