特許ウォッチ

公開番号2024065281
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-15
出願番号2022174053
出願日2022-10-31
発明の名称発光装置およびその製造方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01S 5/0233 20210101AFI20240508BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】小型化が可能な発光装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】発光装置は、複数の導電部材が設けられた主面を有する支持基板と、支持基板の主面に支持された第1の面発光型レーザ素子と、フレキシブルプリント基板とを有する。第1の面発光型レーザ素子は、支持基板側の第1下面および第1下面と反対側の第1上面を有し、第1上面は第1の光を出射する第1出射領域を含み、第1上面に設けられた複数の第1電極を有する。フレキシブルプリント基板は、第1の面発光型レーザ素子の第1上面および支持基板の主面に接続され、第1電極と導電部材とを電気的に接続する配線層を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
複数の導電部材が設けられた主面を有する支持基板と、
前記支持基板の前記主面に支持された第１の面発光型レーザ素子であって、前記支持基板側の第１下面および前記第１下面と反対側の第１上面を有し、前記第１上面は第１の光を出射する第１出射領域を含み、前記第１上面に設けられた複数の第１電極を有する、第１の面発光型レーザ素子と、
前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１上面および前記支持基板の前記主面に接続され、前記第１電極と前記導電部材とを電気的に接続する配線層を有するフレキシブルプリント基板と
を有する、発光装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１の面発光型レーザ素子の活性層は、前記第１下面よりも前記第１上面に近く配置されている、請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１下面は、接合層を介して前記支持基板の前記主面に接合されている、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記フレキシブルプリント基板は、前記主面の法線方向からみた平面視において、前記第１出射領域を露出する開口部を有する、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項５】
前記フレキシブルプリント基板は、前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１上面における前記第１出射領域以外の領域を少なくとも部分的に覆っている、請求項４に記載の発光装置。
【請求項６】
前記フレキシブルプリント基板は、前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１上面の上に配置される第１部分と、前記第１部分以外の第２部分とを有し、
前記支持基板の前記主面の法線方向からみた平面視において、前記第２部分の面積は前記第１部分の面積よりも大きい、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項７】
前記第１上面は、複数の前記第１出射領域を含み、
前記複数の第１電極のそれぞれは、前記複数の第１出射領域のいずれかから前記第１の光を出射させるように設けられており、
前記複数の第１電極のそれぞれは、前記複数の導電部材のうちの対応する導電部材と電気的に接続される、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項８】
前記支持基板の前記主面に支持された第２の面発光型レーザ素子であって、前記支持基板側の第２下面および前記第２下面と反対側の第２上面を有し、前記第２上面は第２の光を出射する第２出射領域を含み、前記第２下面に設けられた複数の第２電極を有する、第２の面発光型レーザ素子をさらに有する、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項９】
前記第２の面発光型レーザ素子の活性層は、前記第２上面よりも前記第２下面に近く配置されている、請求項８に記載の発光装置。
【請求項１０】
前記第２電極は、前記支持基板の前記主面に設けられた複数の他の導電部材と電気的に接合されている、請求項８に記載の発光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、発光装置およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
垂直共振器面発光レーザ（ＶｅｒｔｉｃａｌＣａｖｉｔｙＳｕｒｆａｃｅＥｍｉｔｔｉｎｇＬａｓｅｒ；以下、「ＶＣＳＥＬ」と称する。）素子を備える発光装置が、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－１４６９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＶＣＳＥＬ素子のような面発光型レーザ素子を備える発光装置の小型化が求められている。
【０００５】
本開示は、小型化が可能な発光装置およびそのような発光装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の発光装置は、例示的な実施形態において、複数の導電部材が設けられた主面を有する支持基板と、前記支持基板の前記主面に支持された第１の面発光型レーザ素子であって、前記支持基板側の第１下面および前記第１下面と反対側の第１上面を有し、前記第１上面は第１の光を出射する第１出射領域を含み、前記第１上面に設けられた複数の第１電極を有する、第１の面発光型レーザ素子と、前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１上面および前記支持基板の前記主面に接続され、前記第１電極と前記導電部材とを電気的に接続する配線層を有するフレキシブルプリント基板とを有する。
【０００７】
本開示の発光装置の製造方法は、例示的な実施形態において、第１下面および前記第１下面と反対側の第１上面を有し、前記第１上面は第１の光を出射する第１出射領域を含み、前記第１上面に設けられた複数の第１電極を有する、第１の面発光型レーザ素子を用意する工程と、主面を有する支持基板を用意する工程と、配線層を有するフレキシブルプリント基板を用意する工程と、前記第１電極が前記配線層に電気的に接続されるように、前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１上面を前記フレキシブルプリント基板に接合する工程と、前記第１上面に前記フレキシブルプリント基板が接合された前記第１の面発光型レーザ素子の前記第１下面を、接合層を介して前記支持基板の前記主面に接合する工程と、前記第１電極と前記支持基板の前記主面に設けられた複数の導電部材とが前記配線層を介して電気的に接続されるように、前記フレキシブルプリント基板と前記支持基板の前記主面とを接合する工程とを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の実施形態によれば、小型化が可能な発光装置およびその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本開示の例示的な実施形態による発光装置の構成例を模式的に示す上面図である。
図２は、本開示の例示的な実施形態による発光装置の構成例を模式的に示す断面図である。
図３Ａは、本開示の例示的な実施形態による発光装置が有する第１の面発光型レーザ素子の構成例を模式的に示す斜視図である。
図３Ｂは、本開示の例示的な実施形態による発光装置が有する第１、第２および第３の面発光型レーザ素子を＋Ｚ方向から見たときの模式的な平面図である。
図３Ｃは、本開示の例示的な実施形態による発光装置が有する第１、第２および第３の面発光型レーザ素子を－Ｚ方向から見たときの模式的な平面図である。
図３Ｄは、本開示の例示的な実施形態による発光装置が有する第１の面発光型レーザ素子を＋Ｚ方向から見たときの模式的な平面図である。
図４は、図１に示す発光装置から第２および第３の面発光型レーザ素子を除いて示す、＋Ｚ方向から見たときの模式的な平面図である。
図５は、本開示の例示的な実施形態による発光装置が有する支持基板を－Ｚ方向から見た模式的な平面図である。
図６Ａは、フレキシブルプリント基板の構成例を模式的に示す斜視図である。
図６Ｂは、フレキシブルプリント基板の構成例を模式的に示す平面図である。
図６Ｃは、フレキシブルプリント基板の構成例を模式的に示す断面図である。
図６Ｄは、フレキシブルプリント基板の構成例を模式的に示す斜視図であり、図６Ａに示す構成に第１の面発光型レーザ素子を加えて示す斜視図である。
図７Ａは、本開示の例示的な実施形態による発光装置の製造方法の一例を説明するための模式的な断面図である。
図７Ｂは、本開示の例示的な実施形態による発光装置の製造方法の一例を説明するための模式的な断面図である。
図７Ｃは、本開示の例示的な実施形態による発光装置の製造方法の一例を説明するための模式的な断面図である。
図８は、本開示の例示的な実施形態による発光装置の変形例を模式的に示す断面図である。
図９は、第１の面発光型レーザ素子の一部の構成例を模式的に示す断面図である。
図１０は、第２の面発光型レーザ素子の一部の構成例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態による発光装置を説明する。複数の図面に表れる同一符号の部分は同一または同等の部分を示す。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許