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公開番号2024055600
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162664
出願日2022-10-07
発明の名称塗布装置、塗布方法、および、ディスプレイ製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20240411BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】目標領域に目標量の液体を塗布するために有利な技術を提供する。
【解決手段】塗布装置は、基板の目標領域に液体を塗布する。前記塗布装置は、前記目標領域に対して液体を供給する吐出部と、前記吐出部に対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、前記目標領域における液体の量を計測するための計測器と、前記計測器の出力に基づいて前記吐出部による前記目標領域に対する液体の供給を制御する制御部と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板の目標領域に液体を塗布する塗布装置であって、
前記目標領域に対して液体を供給する吐出部と、
前記吐出部に対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、
前記目標領域における液体の量を計測するための計測器と、
前記計測器の出力に基づいて前記吐出部による前記目標領域に対する液体の供給を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて、前記計測器を使って液体の量が計測された前記目標領域に対する前記吐出部による液体の供給を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて、前記目標領域に対する液体の供給量の不足分を補うように、前記吐出部による前記目標領域に対する液体の追加の供給を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記吐出部は、複数のノズルを有し、
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて前記複数のノズルのうち異常を有する異常ノズルを特定し、前記複数のノズルのうち前記異常ノズル以外のノズルを使って前記追加の供給を行うように前記吐出部を制御する、
ことを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、前記吐出部による前記目標領域に対する液体の供給が複数回にわたって可能なように、前記吐出部に対して前記基板を複数回にわたって相対的に走査し、
前記制御部は、前記複数回にわたる走査のうち少なくとも最後の走査において、前記目標領域に対する液体の供給量の不足分を補うように、前記吐出部による前記目標領域に対する液体の追加の供給を制御する、
ことを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記計測器は、前記目標領域を撮像するカメラを含み、
前記基板が配置される面に対する正射影において、前記カメラの視線方向は、前記吐出部とは反対方向を向いている、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記計測器は、前記目標領域における液体の高さを計測し、
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて前記目標領域における液体の量を特定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記計測器は、前記目標領域における液体の表面形状を計測し、
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて前記目標領域における液体の量を特定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記目標領域における液体の量を計測するための第２計測器を更に備え、
前記駆動機構による基板の駆動方向において、前記計測器と前記第２計測器との間に前記吐出部が配置され、
前記制御部は、前記計測器および前記第２計測器の出力に基づいて前記吐出部を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項１０】
前記計測器は、前記目標領域における液体の量をデフレクトメトリによって計測する、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の塗布装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置、塗布方法、および、ディスプレイ製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に塗布装置の一例としてのインクジェット印刷装置が記載されている。該インクジェット印刷装置は、表面に複数のセルが設けられた基板に対してインクを吐出することで印刷を行うように構成され、複数のノズルから液状のインクを吐出して各セルにインクを充填することによって各セルに塗膜を形成する。該インクジェット印刷装置は、各セルに充填されたインクが乾燥する前に、各セルにおける塗膜の状態を光学的手段により観察する観察手段を備えている。特許文献１によれば、インクの乾燥前に観察手段を使って塗膜形成ムラを検出することによって、最終段階で点灯検査を行う前に塗膜形成ムラを検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－５６０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、観察手段を使って塗膜形成ムラ等の欠陥が観察された場合に、その欠陥を修復することは記載も示唆もされていない。したがって、特許文献１に記載された方法は、歩留まりを本質的に改善するものではない。
【０００５】
本発明は、目標領域に目標量の液体を塗布するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、基板の目標領域に液体を塗布する塗布装置に係り、前記塗布装置は、前記目標領域に対して液体を供給する吐出部と、前記吐出部に対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、前記目標領域における液体の量を計測するための計測器と、前記計測器の出力に基づいて前記吐出部による前記目標領域に対する液体の供給を制御する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、目標領域に目標量の液体を塗布するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態における塗布装置の構成を示す模式図。
一実施形態における塗布装置の動作を例示する図。
塗布部、投影部およびカメラの配置を模式的に例示する斜視図。
塗布部、投影部およびカメラの配置を模式的に例示する平面図。
基板に設けられた複数の目標領域、投影部およびカメラを模式的に例示する斜視図。
第２実施形態の塗布装置の一部分を模式的に例示する平面図。
第３実施形態を説明するための模式図。
第４実施形態を説明するための模式図。
第４実施形態を説明するための模式図。
第４実施形態を説明するための模式図。
第５実施形態を説明するための模式図。
第６実施形態を説明するための模式図。
第７実施形態を説明するための模式図。
第７実施形態を説明するための模式図。
第７実施形態を説明するための模式図。
第７実施形態を説明するための模式図。
カメラの視線方向と塗布部との幾何学的配置を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
本明細書および添付図面では、ＸＹＺ座標系によって方向が示される。一例において、Ｚ軸の正方向が鉛直上方であり、ＸＹ平面が水平面である。図面に記載された複数の構成要素の位置、方向、大きさ等の幾何学的な関係は、一例に過ぎないものの、複数の構成要素間のそのような関係を例示的に特定するものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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