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公開番号2024055314
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162136
出願日2022-10-07
発明の名称液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの検査方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類B41J 2/14 20060101AFI20240411BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】近赤外線検査において密閉キャビティ空間(凹部)内を適切に検査できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】液体吐出ヘッド100は、第1の基板1と第2の基板2とを有する。第1の基板1には、凹部12が形成されており、第2の基板2の凹部12と対向する面には、エネルギー発生素子18が載置されている。第1の基板1と第2の基板2とは接合されている。エネルギー発生素子18の端部には、電極6が形成されている。凹部12の電極側の側面7は、第1の基板1と第2の基板2との接合面17に対して傾いている。エネルギー発生素子18の中心から順に、エネルギー発生素子18の電極6が形成されている側の端部、接合面17のうち電極6が形成されている側の端部22、凹部12の底面のうち電極6が形成されている側の端部21、が位置していることを特徴とする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
第１の基板と、第２の基板と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記第１の基板には、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を収容する凹部が形成されており、
前記第２の基板の前記凹部と対向する面には、前記エネルギー発生素子が載置されており、
前記第１の基板と前記第２の基板とは接合されており、
前記エネルギー発生素子の端部には、該エネルギー発生素子と電気的に接続されている電極が形成されており、
前記凹部の側面のうち前記電極側の側面は、前記第１の基板と前記第２の基板との接合面に対して傾いており、
前記エネルギー発生素子の中心から順に、該エネルギー発生素子の前記電極が形成されている側の端部、前記接合面のうち該電極が形成されている側の端部、前記凹部の底面のうち該電極が形成されている側の端部、が位置していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記凹部の前記電極側の側面は、前記エネルギー発生素子の短手方向にわたって傾いている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記電極は、前記エネルギー発生素子の長手方向における少なくとも一端部に形成されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記電極は、前記エネルギー発生素子の長手方向における一端部と他端部に形成されており、
前記凹部の側面のうち前記一端部側と前記他端部側の側面は、前記接合面に対して互いに異なる向きに傾いており、
前記エネルギー発生素子の中心から前記一端部側の領域において、該エネルギー発生素子の中心から順に、該エネルギー発生素子の該一端部側の端部、前記接合面のうち該一端部側の端部、前記凹部の底面のうち該一端部側の端部、が位置しており、
前記エネルギー発生素子の中心から前記他端部側の領域において、該エネルギー発生素子の中心から順に、該エネルギー発生素子の該他端部側の端部、前記接合面のうち該他端部側の端部、前記凹部の底面のうち該他端部側の端部、が位置している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記凹部の前記電極側の側面と、前記凹部の底面の前記電極側の端部とは、曲面で接続されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１の基板には、前記エネルギー発生素子と電気的に接続されている端子を収容する第２の凹部が形成されており、
前記第２の基板の前記第２の凹部と対向する面には、前記端子が載置されており、
前記第２の凹部の側面のうち前記エネルギー発生素子側の側面は、前記接合面に対して傾いており、
前記端子の中心から順に、該端子の前記エネルギー発生素子側の端部、前記接合面の前記端子側の端部、前記第２の凹部の底面のうち該エネルギー発生素子側の端部、が位置している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記エネルギー発生素子は、発熱素子である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記エネルギー発生素子は、圧電素子である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドの検査方法であって、
前記第１の基板の面のうち、前記接合面とは反対側の面から近赤外線を前記凹部に照射し、該近赤外線の反射光を観察することで、前記凹部内の状態を検査することを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の液体吐出ヘッドの検査方法であって、
前記第１の基板の面のうち、前記接合面とは反対側の面から近赤外線を前記凹部に照射し、該近赤外線の反射光を観察することで、前記凹部内の状態を検査し、
前記反対側の面から近赤外線を前記第２の凹部に照射し、該近赤外線の反射光を観察することで、前記第２の凹部内の状態を検査することを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの検査方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を吐出して記録を行う記録装置が知られている。記録装置は液体吐出ヘッドを有しており、吐出される液体は液体吐出ヘッド内に設けられたエネルギー発生素子からエネルギーを受けて吐出口から吐出される。エネルギー発生素子としては、例えば圧電素子がある。圧電素子により液体の加圧を行う形態はピエゾ式と呼ばれることがある。
【０００３】
特許文献１には、ピエゾ式の液体吐出ヘッドが開示されている。図４に特許文献１に開示の液体吐出ヘッドの断面図の概略を示す。図４に示すように、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは、複数の基板が接合されることで形成されている。このような液体吐出ヘッドにおいては、圧電素子が格納される密閉キャビティ空間（単に密閉空間や、凹部とも称する）１２内の電気接続状態等の可視光検査が基板接合後においてはできないことがある。そのため、近赤外線を照射して検査する近赤外線顕微鏡を用いることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１７１９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図４に示すように、密閉キャビティ空間１２が吐出口に向かって広がるような形状、即ち、テーパ形状の場合には、検査のための近赤外線がテーパ部で散乱してしまう。これにより、近赤外線が近赤外線顕微鏡まで十分に反射されず、適切に近赤外線検査をすることができないという課題があった。
【０００６】
本発明は上記課題を鑑み、近赤外線検査において密閉キャビティ空間（凹部）内を適切に検査することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、第１の基板と、第２の基板と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記第１の基板には、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を収容する凹部が形成されており、前記第２の基板の前記凹部と対向する面には、前記エネルギー発生素子が載置されており、前記第１の基板と前記第２の基板とは接合されており、前記エネルギー発生素子の端部には、該エネルギー発生素子と電気的に接続されている電極が形成されており、前記凹部の側面のうち前記電極側の側面は、前記第１の基板と前記第２の基板との接合面に対して傾いており、前記エネルギー発生素子の中心から順に、該エネルギー発生素子の前記電極が形成されている側の端部、前記接合面のうち該電極が形成されている側の端部、前記凹部の底面のうち該電極が形成されている側の端部、が位置していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、近赤外線検査において密閉キャビティ空間（凹部）内を適切に検査できる液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
液体吐出ヘッドの断面図である。
エネルギー発生素子の付近における平面図である。
従来の液体吐出ヘッドの断面図である。
従来の液体吐出ヘッドの断面図である。
第１の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
エネルギー発生素子の付近における平面図である。
第１の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
第１の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
第２の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
第３の実施形態の液体吐出ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下に述べる実施形態では本発明を十分に説明するための一例を示しており、特に本発明の範囲を限定しているものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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