特許ウォッチ

公開番号2024044619
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-02
出願番号2022150256
出願日2022-09-21
発明の名称電源回路
出願人株式会社ダイヘン
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H02M 3/155 20060101AFI20240326BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】高電圧が印加される高電位部位とグランド電位の部材との間でのコロナ放電を抑制すること。
【解決手段】実施形態にかかる電源回路は、電源回路は、基準電位の導電部材と、導電部材の表面に配置される第1の絶縁部材と、第1の絶縁部材の導電部材とは反対側の表面側に配置され、本体部、及び本体部から延びる端子部をそれぞれ有する複数のスイッチング素子と、複数のスイッチング素子と第1の絶縁部材との間にそれぞれ介在され、熱軟化性を有するシート状の第2の絶縁部材と、複数のスイッチング素子から見て、導電部材から遠ざかる方向に離れた位置に配置され、複数のスイッチング素子の端子部が接続されることにより、複数のスイッチング素子が直列接続されるように実装された回路基板と、回路基板と非接触に、複数のスイッチング素子の本体部および第2の絶縁部材を覆う第3の絶縁部材と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基準電位の導電部材と、
前記導電部材の表面に配置される第１の絶縁部材と、
前記第１の絶縁部材の前記導電部材とは反対側の表面側に配置され、本体部、及び前記本体部から延びる端子部をそれぞれ有する複数のスイッチング素子と、
前記複数のスイッチング素子と前記第１の絶縁部材との間にそれぞれ介在され、熱軟化性を有するシート状の第２の絶縁部材と、
前記複数のスイッチング素子から見て、前記導電部材から遠ざかる方向に離れた位置に配置され、前記複数のスイッチング素子の前記端子部が接続されることにより、前記複数のスイッチング素子が直列接続されるように実装された回路基板と、
前記回路基板と非接触に、前記複数のスイッチング素子の前記本体部および前記第２の絶縁部材を覆う第３の絶縁部材と、を備える、
電源回路。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記複数のスイッチング素子のそれぞれのスイッチング素子が有する前記端子部は、
前記回路基板に接続され、前前記回路基板から第１の電位の電圧が印加される第１の端子と、
前記回路基板に接続され、前記スイッチング素子がオンしたときに前記第１の端子と電気的に接続される第２の端子と、
前記回路基板に接続され、前前記回路基板から前記スイッチング素子のオン／オフを制御する電圧信号が入力される第３の端子と、を有し、
前記回路基板の導電部と前記第３の絶縁部材の上面との距離は、前記回路基板の前記導電部と第３の絶縁部材との間で放電が生じないように設定された距離である、
請求項１に記載の電源回路。
【請求項３】
前記基準電位は接地電位であり、
前記第１の電位の電圧は、電位の絶対値が１０ｋＶ以上である、
請求項２に記載の電源回路。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、電源回路に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置、または液晶基板等を製造する工程で用いられるプラズマ処理装置には、例えばパルス状の電圧であるパルス電圧を発生させるパルス電源装置のように、高電圧を発生させる電源装置が設けられることがある（特許文献１）。
【０００３】
パルス電源装置は、例えば直流電力をインバータ回路で交流電力に変換した後、変圧器により異なる電圧値の交流電力に変換し、整流平滑回路で整流・平滑し、さらにスイッチング回路等によりパルス電圧を発生させるよう構成される。
【０００４】
上記のようなパルス電源装置では、例えば絶対値が１０ｋＶ程度の高電圧の電位を有するパルス電圧を出力する。その都合上、整流平滑回路およびスイッチング回路においては、高電圧印加回路によって、絶対値が１０ｋＶ程度の高電圧が印加される高電位部位が生じる。周知のように、印加される電圧が高いほどコロナ放電が発生し易くなるので、このような高電位部位のコロナ放電を抑制する必要がある。
【０００５】
例えば高電圧印加回路が有するグランド電位の部材周辺の空隙において、コロナ放電の発生を抑制する技術がある（特許文献２）。具体的には、高電圧印加回路に用いるネジが取り付けられたネジ穴の一部と、高電位部位との間にグランド電位の導体を挿入して、ネジ穴への電界集中を抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１３－１２５７２９号公報
特開２０１８－０６７６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２における印加電圧は、３．３ｋＶ程度と比較的低い電圧である。このため、特許文献２の開示内容は、ネジの周囲の空隙に対するコロナ放電対策に留まっている。
【０００８】
それに対して、例えば絶対値にして１０ｋＶ以上の高電圧が印加されると、より一層コロナ放電が発生し易くなるので、回路基板の導電領域、スイッチング素子等の高電位部位と、グランド電位の部材との間のコロナ放電対策を一層強化する必要がある。特に、スイッチング素子等の端子および角張った箇所からはコロナ放電が発生し易く、それらの箇所について、コロナ放電を抑制する対策が必要となる。
【０００９】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、高電圧が印加される高電位部位とグランド電位の部材との間でのコロナ放電を抑制することができる電源回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
実施形態にかかる電源回路は、基準電位の導電部材と、前記導電部材の表面に配置される第１の絶縁部材と、前記第１の絶縁部材の前記導電部材とは反対側の表面側に配置され、本体部、及び前記本体部から延びる端子部をそれぞれ有する複数のスイッチング素子と、前記複数のスイッチング素子と前記第１の絶縁部材との間にそれぞれ介在され、熱軟化性を有するシート状の第２の絶縁部材と、前記複数のスイッチング素子から見て、前記導電部材から遠ざかる方向に離れた位置に配置され、前記複数のスイッチング素子の前記端子部が接続されることにより、前記複数のスイッチング素子が直列接続されるように実装された回路基板と、前記回路基板と非接触に、前記複数のスイッチング素子の前記本体部および前記第２の絶縁部材を覆う第３の絶縁部材と、を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許