TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
公開番号2024049434
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2022155661
出願日2022-09-29
発明の名称リニアモータ
出願人株式会社プロテリアル
代理人
主分類H02K 41/02 20060101AFI20240403BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】コイルへの通電時の発熱による配線の軟化の防止や、発熱により配線の固定ができなくなる問題を解消するとともに、配線処理の工数を削減することができるリニアモータを提供する。
【解決手段】固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータ10において、可動子は、多相コイル6を有するとともに多相コイルに電流を供給する配線を含み、配線は、複数の基板を積層した多層プリント基板12に形成されている。多層プリント基板は、配線と多相コイル及び配線と外部配線と接続するための接点7を有し、接点は、多層プリント基板の少なくとも一つに配置されるように、各プリント基板の各接点がスルーホール接続されていてもよい。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータにおいて、前記可動子は、多相コイルを有するとともに前記多相コイルに電流を供給する配線を含み、前記配線は、複数の基板を積層した多層プリント基板に形成されていることを特徴とするリニアモータ。
続きを表示(約 240 文字)【請求項2】
前記多層プリント基板は、前記配線と多相コイル及び前記配線と外部配線と接続するための接点を有し、前記接点は、前記多層プリント基板の少なくとも一つに配置されるように、各プリント基板の各接点がスルーホール接続されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
【請求項3】
前記可動子は、多相コイルを有するコイル部材とホルダとを有し、前記多層プリント基板が前記ホルダ内に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、リニアモータに関する。
続きを表示(約 1,500 文字)【背景技術】
【0002】
半導体製造装置、液晶製造装置、あるいは半導体素子や液晶ディスプレイ等の検査装置においては、各種部品の搬送装置として2軸のステージ装置、いわゆるX-Yステージが使用されている。X-Yステージは、定盤に対して所定の方向(X方向)に移動するXステージと、X方向に直交する方向(Y方向)に移動するYステージとを備える。
Xステージ及びYステージはリニアモータ等により駆動される駆動部を含む。リニアモータは、N極とS極が対向するようにヨークに支持された永久磁石を有する断面コの字型の磁界発生部材と、その磁界内を横切るコイルを有するコイル部材を備えている。
リニアモータはコイルに電流を流すことで、永久磁石による磁界と、コイルに発生する磁界の相互作用で、磁界発生部材とコイル部材との相対移動ができるようになっている。
【0003】
上記のようなリニアモータは、例えば、磁界発生部材を固定子、コイル部材を可動子とする構造となっており、搬送装置の高速化を図るためにコイルに流す電流を増加させることが一般的に行われている。
特許文献1、特許文献2には、リニアモータの各コイルへの電流の供給を、電気配線によって行う技術が開示されている。
特許文献3には、コイルへ供給される電流の配線をプリント基板で行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2001-268882号公報
特開2005-57992号公報
特開2002-34229号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献1、あるいは特許文献2に記載の方法で、コイルに配線を行った場合、配線へ多くの電流を流すと、配線自体の発熱により、配線自体の軟化が懸念される。
また特許文献2のごとく配線自体をモールド固定しない場合には、配線の固定のために接着剤等を使用するため、発熱による接着剤の蒸発や接着力低下により、配線の固定が不十分となる問題があった。
【0006】
特許文献3には、配線が交差する部分の処理について言及されていない。交差する部分をジャンパー線などによって処理すると、ジャンパー線の処理に工数がかかることが懸念される。
【0007】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、コイルへの通電時の発熱による配線の軟化の防止や、発熱により配線の固定ができなくなる問題を解消するとともに、配線処理の工数を削減することができるリニアモータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明のリニアモータは、固定子と可動子とが相対的に移動可能なリニアモータにおいて、前記可動子は、多相コイルを有するとともに前記多相コイルに電流を供給する配線を含み、前記配線は、複数の基板を積層した多層プリント基板に形成されていることを特徴とする。
【0009】
前記多層プリント基板は、前記配線と多相コイル及び前記配線と外部配線と接続するための接点を有し、前記接点は、前記多層プリント基板の少なくとも一つに配置されるように、各プリント基板の各接点がスルーホール接続されていることを特徴とする。
【0010】
前記可動子は、多相コイルを有するコイル部材とホルダとを有し、前記多層プリント基板が前記ホルダ内に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する

関連特許

個人
2軸モーター
24日前
個人
配線器具用取付枠
7日前
ニデック株式会社
モータ
13日前
ニデック株式会社
モータ
1か月前
個人
スイッチング電源回路
3日前
株式会社ダイヘン
電源装置
13日前
個人
バッテリーの補助装置
1か月前
株式会社アイシン
ロータ
6日前
ニチコン株式会社
電源装置
5日前
個人
すだれ型の薄膜太陽光発電装置
5日前
個人
磁力のみを動力とするモーター
1か月前
ニデック株式会社
モータ
5日前
株式会社GSユアサ
無停電電源システム
今日
株式会社アイドゥス企画
モータシリンダ
1か月前
日産自動車株式会社
ロータ
13日前
中国電力株式会社
給電装置
5日前
株式会社発明ラボックス
送受電システム
今日
株式会社アイシン
ステータ
6日前
トヨタ自動車株式会社
モータ
18日前
日産自動車株式会社
発電装置
1か月前
トヨタ自動車株式会社
故障検出回路
今日
トヨタ自動車株式会社
故障検出回路
今日
株式会社ミツバ
制動装置
25日前
オムロン株式会社
電力変換装置
25日前
株式会社ミツバ
回転電機
1か月前
株式会社ミツバ
駆動装置
13日前
株式会社ミツバ
回転電機
3日前
株式会社ミツバ
回転電機
1か月前
ブラザー工業株式会社
制御装置
1か月前
株式会社ミツバ
回転電機
19日前
株式会社ミツバ
回転電機
6日前
個人
非対称鏡像力駆動型の静電発電機
20日前
富士電機株式会社
電力変換装置
20日前
ニデック株式会社
コイル挿入装置
5日前
日立Astemo株式会社
駆動ユニット
3日前
株式会社アイシン
軸受の支持構造
3日前
続きを見る