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公開番号2024033112
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022136506
出願日2022-08-30
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 27/06 20060101AFI20240306BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削屑を含んだ液体が仕切り板から保持テーブルによって保持されている被加工物に滴下される蓋然性を低減することが可能な切削装置を提供する。
【解決手段】保持テーブルを切削領域と搬入出領域との間で移動させる際に、平面視において、一端と他端とが保持テーブルと重ならないように位置づけられ、かつ、液体を集めて一端又は他端の少なくとも一方から滴下させるような形状を有する樋を仕切り板の切削領域側の面に設ける。この切削装置の切削領域において被加工物が切削されると、切削屑を含んだ液体が飛散して仕切り板に付着する。そして、仕切り板に付着した液体の多くは、仕切り板を伝って流れて樋に到達する。また、樋に到達した液体は、樋の一端又は他端の少なくとも一方に向かうように流れて滴下される。そのため、仕切り板から保持テーブルによって保持されている被加工物に切削屑を含んだ液体が滴下される蓋然性を低減できる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を切削するための切削装置であって、
該被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルによって保持された該被加工物を切削する円環状の切削ブレードが先端部に装着されたスピンドルを有する切削ユニットと、
該保持テーブルによって保持された該被加工物を該切削ブレードによって切削する際に該被加工物と該切削ブレードとの接触界面に液体を供給する液体供給ユニットと、
該保持テーブルによって保持された該被加工物の該切削ブレードによる切削が行われる切削領域と該被加工物の該保持テーブルへの搬入及び該保持テーブルからの搬出が行われる搬入出領域との間で該保持テーブルを移動させる移動機構と、
該切削領域と該搬入出領域とを仕切るように該移動機構の上方に設けられている仕切り板と、を備え、
該仕切り板の該切削領域側の面には、該移動機構によって該保持テーブルを該切削領域と該搬入出領域との間で移動させる際に、平面視において、一端と他端とが該保持テーブルに重ならないように位置づけられ、かつ、該液体を集めて該一端又は該他端の少なくとも一方から滴下させるような形状を有する樋が設けられている切削装置。
続きを表示（約 47 文字）【請求項２】
該樋は、該仕切り板と一体化されている請求項１に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を切削する切削装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。被加工物を分割する方法としては、例えば、切削装置における切削が挙げられる。
【０００３】
切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルによって保持された被加工物を切削する円環状の切削ブレードが先端部に装着されたスピンドルを有する切削ユニットとを備える。そして、切削装置においては、スピンドルとともに切削ブレードを回転させた状態で切削ブレードをチャックテーブルに保持された被加工物に接触させることによって被加工物を切削する。
【０００４】
ここで、被加工物の保持テーブルへの搬入及び保持テーブルからの搬出が切削ブレードに近接した領域で行われると、被加工物が切削ブレードに接触して破損するおそれがある。そのため、切削装置においては、一般的に、被加工物の切削を行うための空間（切削領域）と被加工物の搬入出を行うための空間（搬入出領域）とが隣接するように別に設けられ、また、切削領域と搬入出領域との間において保持テーブルが移動可能になっている。
【０００５】
また、切削装置においては、オペレータが手動で被加工物の搬入出を行うことがある。この場合、オペレータが切削ブレードに接触して損傷するおそれがある。この点を踏まえて、切削領域と搬入出領域との間に仕切り板を設けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１２－１７８５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように被加工物が切削されると、被加工物の屑（切削屑）が生じるとともに摩擦熱によって被加工物及び切削ブレードが加熱される。そのため、被加工物の切削は、被加工物及び切削ブレードを洗浄し、かつ、冷却するように被加工物と切削ブレードとの接触界面（加工点）に液体が供給された状態で行われることが多い。
【０００８】
ただし、この場合には、切削屑を含んだ液体が周囲に飛散して切削領域と搬入出領域との間に設けられている仕切り板に付着することがある。そして、この液体は、切削領域と搬入出領域との間で保持テーブルを移動させている最中に仕切り板から保持テーブルによって保持されている被加工物に滴下されることがある。
【０００９】
そして、この液体が滴下した被加工物を乾燥させると、切削屑が被加工物に固着するおそれがある。この点に鑑み、本発明の目的は、切削屑を含んだ液体が仕切り板から保持テーブルによって保持されている被加工物に滴下される蓋然性を低減することが可能な切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては、被加工物を切削するための切削装置であって、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルによって保持された該被加工物を切削する円環状の切削ブレードが先端部に装着されたスピンドルを有する切削ユニットと、該保持テーブルによって保持された該被加工物を該切削ブレードによって切削する際に該被加工物と該切削ブレードとの接触界面に液体を供給する液体供給ユニットと、該保持テーブルによって保持された該被加工物の該切削ブレードによる切削が行われる切削領域と該被加工物の該保持テーブルへの搬入及び該保持テーブルからの搬出が行われる搬入出領域との間で該保持テーブルを移動させる移動機構と、該切削領域と該搬入出領域とを仕切るように該移動機構の上方に設けられている仕切り板と、を備え、該仕切り板の該切削領域側の面には、該移動機構によって該保持テーブルを該切削領域と該搬入出領域との間で移動させる際に、平面視において、一端と他端とが該保持テーブルに重ならないように位置づけられ、かつ、該液体を集めて該一端又は該他端の少なくとも一方から滴下させるような形状を有する樋が設けられている切削装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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