特許ウォッチ

公開番号2024029449
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-06
出願番号2022131717
出願日2022-08-22
発明の名称スクライブヘッドおよびスクライブ装置
出願人三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人個人,個人
主分類B28D 5/00 20060101AFI20240228BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】スクライブ時に被加工物に付与する荷重を安定させることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スクライブヘッド10は、ベース部材110と、カッターホイールを保持したホルダが下端に装着される支持部材210と、ベース部材110に対して上下動可能に支持部材210を案内するガイド部E1と、支持部材210を駆動してカッターホイールに荷重を付与する駆動部D1と、を備える。軸受140は、シャフト201の外側面との間に空気圧によるエアギャップを形成することにより、シャフト201を上下動可能に案内する。流路112を介して受け孔162aに空気圧が導入されると、ボール161と受け孔162aとの間にエアギャップが形成されるとともに、流路112からの空気圧によりボール161を介して支持部材210に下方向の駆動力が付与される。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
ベース部材と、
カッターホイールを保持したホルダが下端に装着される支持部材と、
前記ベース部材に対して上下動可能に前記支持部材を案内するガイド部と、
前記支持部材を駆動して前記カッターホイールに荷重を付与する駆動部と、を備え、
前記ガイド部は、
前記支持部材に接続されたシャフトと、
前記シャフトの外側面との間に空気圧によるエアギャップを形成することにより前記シャフトを上下動可能に案内する軸受と、を備え、
前記駆動部は、
移動子と、
前記移動子が挿入される受け孔と、
前記受け孔に空気圧を導入するための流路と、を備え、
前記流路を介して前記受け孔に空気圧が導入されると、前記移動子と前記受け孔との間にエアギャップが形成されるとともに、前記流路からの空気圧により前記移動子を介して前記支持部材に下方向の駆動力が付与される、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記シャフトの上端に設置された板部材を備え、
前記駆動部は、
他の移動子と、
前記他の移動子が挿入される他の受け孔と、
前記他の受け孔に空気圧を導入するための他の流路と、を備え、
前記他の流路を介して前記他の受け孔に空気圧が導入されると、前記他の移動子と前記他の受け孔との間にエアギャップが形成されるとともに、前記他の流路からの空気圧により前記他の移動子を介して前記板部材に上方向の駆動力が付与される、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記受け孔および前記他の受け孔は、平面視において略真円の形状を有し、
前記移動子および前記他の移動子は、略真球の形状を有する、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記移動子の中心および前記他の移動子の中心は、平面視において略一致している、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項５】
請求項２に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ベース部材に対して一体的に配置されたロードセルと、
ベース部材に対して上下動する前記シャフト、前記支持部材および前記板部材に対して一体的に配置された押込部材と、を備え、
前記押込部材は、前記ロードセルの上方において前記ロードセルに対向して配置されている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項６】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ガイド部は、２本の前記シャフトおよび２つの前記軸受を備える、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載のスクライブヘッドにおいて、
一方の前記シャフトと前記移動子との距離、および、他方の前記シャフトと前記移動子との距離は、平面視において互いに略等しい、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項８】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記シャフトの外側面に対向する前記軸受の内側面は、多孔質素材により構成されている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項９】
請求項２に記載のスクライブヘッドと、
前記受け孔および前記他の受け孔に空気圧を導入する圧力付与部と、
前記圧力付与部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記カッターホイールに付与する荷重に応じて、前記受け孔および前記他の受け孔の何れか一方に空気圧を導入する制御を実行する、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のスクライブ装置において、
前記制御部は、
前記受け孔および前記他の受け孔の両方に空気圧が導入されていない状態において前記カッターホイールに付与される所定荷重より大きい荷重を前記カッターホイールに付与する場合、前記受け孔および前記他の受け孔のうち前記受け孔のみに空気圧を導入し、
前記所定荷重以下の荷重を前記カッターホイールに付与する場合、前記受け孔および前記他の受け孔のうち前記他の受け孔のみに空気圧を導入する、
ことを特徴とするスクライブ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドおよび当該スクライブヘッドを備えたスクライブ装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハー等の被加工物にスクライブラインを形成するスクライブヘッドが知られている。以下の特許文献１には、基部に対して上下方向にスライド可能に支持され、カッタ機構を保持するカッタホルダと、カッタホルダに対して基板側への荷重を付与する第１エアシリンダ機構と、カッタホルダに対して基板と反対側への荷重を付与する第２エアシリンダ機構とを備えるスクライブヘッドが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１８００１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載のスクライブヘッドでは、エアシリンダにおいて樹脂をシールしたピストンがガイド孔に摺動するため、摺動抵抗が生じる。このような摺動抵抗が生じると、スクライブ時に被加工物に付与する荷重を安定させることが困難になる。
【０００５】
かかる課題に鑑み、本発明は、スクライブ時に被加工物に付与する荷重を安定させることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、スクライブヘッドに関する。本態様に係るスクライブヘッドは、ベース部材と、カッターホイールを保持したホルダが下端に装着される支持部材と、前記ベース部材に対して上下動可能に前記支持部材を案内するガイド部と、前記支持部材を駆動して前記カッターホイールに荷重を付与する駆動部と、を備える。前記ガイド部は、前記支持部材に接続されたシャフトと、前記シャフトの外側面との間に空気圧によるエアギャップを形成することにより前記シャフトを上下動可能に案内する軸受と、を備える。前記駆動部は、移動子と、前記移動子が挿入される受け孔と、前記受け孔に空気圧を導入するための流路と、を備える。前記流路を介して前記受け孔に空気圧が導入されると、前記移動子と前記受け孔との間にエアギャップが形成されるとともに、前記流路からの空気圧により前記移動子を介して前記支持部材に下方向の駆動力が付与される。
【０００７】
本態様に係るスクライブヘッドによれば、ガイド部においてシャフトが軸受に接触することなく上下に移動し、駆動部において移動子が受け孔に接触することなく支持部材を押圧する。これにより、シャフトと軸受との間および移動子と受け孔との間に摩擦が生じることがないため、カッターホイールにより被加工物に付与する荷重を安定させることができる。
【０００８】
本態様に係るスクライブヘッドは、前記シャフトの上端に設置された板部材を備える。前記駆動部は、他の移動子と、前記他の移動子が挿入される他の受け孔と、前記他の受け孔に空気圧を導入するための他の流路と、を備える。前記他の流路を介して前記他の受け孔に空気圧が導入されると、前記他の移動子と前記他の受け孔との間にエアギャップが形成されるとともに、前記他の流路からの空気圧により前記他の移動子を介して前記板部材に上方向の駆動力が付与される。
【０００９】
この構成によれば、シャフト、支持部材および板部材等の自重に抗する上向きの力を板部材に付与できるため、シャフト、支持部材および板部材等の自重よりも小さい荷重をカッターホイールに付与できる。よって、カッターホイールに付与できる荷重のレンジを広げることができる。
【００１０】
この場合に、前記受け孔および前記他の受け孔は、平面視において略真円の形状を有し、前記移動子および前記他の移動子は、略真球の形状を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許