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公開番号2024026940
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-29
出願番号2022129505
出願日2022-08-16
発明の名称燃焼合成炉
出願人株式会社燃焼合成
代理人個人,個人,個人,個人
主分類F27D 3/12 20060101AFI20240221BHJP(炉,キルン,窯;レトルト)
要約【課題】冷却にかかる時間を短縮できる燃焼合成炉を提供することを目的とする。加えて、本発明は、チャンバ内に設置された複数の坩堝内の原料に対して同時着火を可能とし、生産効率を向上させた燃焼合成炉を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、坩堝に充填した原料に対して、燃焼合成法により、無機化合物を合成する燃焼合成炉(1)であって、前記坩堝を複数段に配置可能な多段ラック(2)と、前記多段ラックを載置するステージ(3)と、前記多段ラックを内部に収容可能なチャンバ(4)と、を有し、前記多段ラックは、前記ステージに対して着脱可能とされる、ことを特徴とする。
【選択図】図1



特許請求の範囲【請求項1】
坩堝に充填した原料に対して、燃焼合成法により、無機化合物を合成する燃焼合成炉であって、
前記坩堝を複数段に配置可能な多段ラックと、
前記多段ラックを載置するステージと、
前記多段ラックを内部に収容可能なチャンバと、を有し、
前記多段ラックは、前記ステージに対して着脱可能とされる、ことを特徴とする燃焼合成炉。
続きを表示(約 370 文字)【請求項2】
前記多段ラックの各段上部に、電極レールを備え、
前記電極レールの任意の位置に、前記原料に着火するためのフィラメントが装着可能とされる、ことを特徴とする請求項1に記載の燃焼合成炉。
【請求項3】
前記多段ラックには、前記ステージに着脱するための吊り下げ部が設けられる、ことを特徴とする請求項2に記載の燃焼合成炉。
【請求項4】
前記チャンバは、横方向にスライド開閉可能に構成されており、
前記チャンバを開けた状態で、前記多段ラックは、高さ方向から前記ステージに着脱される、ことを特徴とする請求項3に記載の燃焼合成炉。
【請求項5】
前記多段ラックは、CCコンポジット、チタン、或いは、ステンレスで形成される、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の燃焼合成炉。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、燃焼合成法にて無機化合物を合成するための燃焼合成炉に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)【背景技術】
【0002】
例えば、窒化アルミニウム(AlN)や窒化ケイ素(Si



)は、高絶縁性と高熱伝導性を有するため、高放熱フィラーなどとして応用されている。AlNやSi



は、自己生成熱により合成反応を進行させる燃焼合成法により製造できる。
【0003】
従来において、生産性を高めるべく、坩堝を多段式にして、処理容積を稼いでいた。このとき、坩堝を各段から回収する作業を行う際、発熱部としての坩堝に直接触れることになるため、作業安全性を考慮して、火傷しない温度域まで坩堝を冷却させる必要があった。
特許文献1では、坩堝を反応容器(チャンバ)内で多段に積層し、反応容器の壁に設けた冷却ジャケットにより冷却効果を高める構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2021-172548号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献1の構成では、反応容器内で坩堝を順に冷却させるため、処理時間が長くかかる問題があった。また、特許文献1の構成では、坩堝を反応容器内に送り込む導入室、及び坩堝を反応容器から取り出す回収室が設けられ、導入室から反応容器を介して回収室へ坩堝を移動させる機構が複雑化した。また、坩堝をスムースに各室を移動させるための高い制御が必要と考えられる。
【0006】
また、従来では、積層された複数の坩堝の各原料に対して着火点が一か所しか設けられていなかった。特許文献1においても同様に、反応容器の上部に着火装置が一つだけ設けられている。この構成では、反応容器内に送り込まれた坩堝に充填された原料に対し、順番に着火装置を作動させて燃焼合成を行うため、生産効率を効果的に高めることはできなかった。
【0007】
そこで本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、冷却にかかる時間を短縮できる燃焼合成炉を提供することを目的とする。加えて、本発明は、チャンバ内に設置された複数の坩堝内の原料に対して同時着火を可能とし、生産効率を向上させた燃焼合成炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、坩堝に充填した原料に対して、燃焼合成法により、無機化合物を合成する燃焼合成炉であって、前記坩堝を複数段に配置可能な多段ラックと、前記多段ラックを載置するステージと、前記多段ラックを内部に収容可能なチャンバと、を有し、前記多段ラックは、前記ステージに対して着脱可能とされる、ことを特徴とする。
【0009】
本発明では、前記多段ラックの各段上部に、電極レールを備え、前記電極レールの任意の位置に、前記原料に着火するためのフィラメントが装着可能とされることが好ましい。
本発明では、前記多段ラックには、前記ステージに着脱するための吊り下げ部が設けられることが好ましい。
【0010】
本発明では、前記チャンバは、横方向にスライド開閉可能に構成されており、前記チャンバを開けた状態で、前記多段ラックは、高さ方向から前記ステージに着脱されることが好ましい。
本発明では、前記多段ラックは、CCコンポジット、チタン、或いは、ステンレスで形成されることが好ましい。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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