特許ウォッチ

公開番号2023076062
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-01
出願番号2021189227
出願日2021-11-22
発明の名称洗浄装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20230525BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】筐体からの排水が良好な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置2は、板状ワークを保持すると共に回転可能なスピンナーテーブル4と、スピンナーテーブル4に保持された板状ワークに洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル6と、スピンナーテーブル4を囲繞する側壁24および底壁26を有する筐体8と、を少なくとも備える。底壁26は水平面Hに対して傾斜した傾斜面を備え、傾斜面の最下流側に排水口32が形成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状ワークを洗浄する洗浄装置であって、
板状ワークを保持すると共に回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持された板状ワークに洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、該スピンナーテーブルを囲繞する側壁および底壁を有する筐体と、を少なくとも備え、
該底壁は水平面に対して傾斜した傾斜面を備え、該傾斜面の最下流側に排水口が形成されている洗浄装置。
続きを表示（約 170 文字）【請求項２】
該傾斜面はロート状に形成され、該排水口は該スピンナーテーブルの回転軸を避けた位置に形成される請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、を少なくとも備えた加工装置に搭載される請求項１または２に記載の洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを洗浄する洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、切削手段によって分割予定ラインが切削されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、を少なくとも備え、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、レーザー加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、ウエーハの表面に保護膜を被覆する保護膜被覆手段と、チャックテーブルに保持され保護膜が被覆されたウエーハにレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、レーザー光線照射手段によって分割予定ラインが加工されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、を少なくとも備え、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－２０３８８７号公報
特開２００７－２０１１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、洗浄手段の筐体からの排水が悪く、筐体にカビ、藻が発生する懸念がある。
【０００７】
本発明の課題は、筐体からの排水が良好な洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の洗浄装置が提供される。すなわち、
「板状ワークを洗浄する洗浄装置であって、
板状ワークを保持すると共に回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持された板状ワークに洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、該スピンナーテーブルを囲繞する側壁および底壁を有する筐体と、を少なくとも備え、
該底壁は水平面に対して傾斜した傾斜面を備え、該傾斜面の最下流側に排水口が形成されている洗浄装置」が提供される。
【０００９】
好ましくは、該傾斜面はロート状に形成され、該排水口は該スピンナーテーブルの回転軸を避けた位置に形成される。本発明の洗浄装置は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、を少なくとも備えた加工装置に搭載され得る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の洗浄装置は、板状ワークを保持すると共に回転可能なスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルに保持された板状ワークに洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズルと、該スピンナーテーブルを囲繞する側壁および底壁を有する筐体と、を少なくとも備え、該底壁は水平面に対して傾斜した傾斜面を備え、該傾斜面の最下流側に排水口が形成されているので、筐体からの排水が良好であり、筐体にカビ、藻が発生するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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