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公開番号2025177077
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024083594
出願日2024-05-22
発明の名称噴出ヘッドの流速検査装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類G01P 5/12 20060101AFI20251128BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数の噴出口が形成された噴出ヘッドの流速検査装置において、各噴出口から噴出される気体の流速を検査可能とする。
【解決手段】Z方向に並ぶ複数の噴出口が形成され且つ複数の噴出口の開口端を同一の所定平面が通っている噴出ヘッド(70)から噴出される気体の流速を検査する流速検査装置(10)であって、噴出ヘッドを支持するヘッド支持機構(12)と、検出部(44)を有し、検出部に吹き付けられた気体の流速を計測する流速計(41,46)と、所定平面と検出部との距離を調節する距離調節機構(51X,56X)と、検出部及び距離調節機構をZ方向に移動させる移動機構(20)と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
所定方向に並ぶ複数の噴出口が形成され且つ前記複数の噴出口の開口端を同一の所定平面が通っている噴出ヘッドから噴出される気体の流速を検査する流速検査装置であって、
前記噴出ヘッドを支持するヘッド支持機構と、
検出部を有し、前記検出部に吹き付けられた気体の流速を計測する流速計と、
前記所定平面と前記検出部との距離を調節する距離調節機構と、
前記検出部及び前記距離調節機構を前記所定方向に移動させる移動機構と、
を備える、噴出ヘッドの流速検査装置。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
前記所定平面に平行であり且つ前記所定方向に垂直である方向における前記検出部の位置を調節する位置調節機構を備える、請求項１に記載の噴出ヘッドの流速検査装置。
【請求項３】
前記流速計により計測された前記気体の流速を記録する記録部と、
前記移動機構により前記検出部を前記所定方向に一定速度で移動させつつ、前記流速計により前記気体の流速を順次計測させ、前記流速計により順次計測された前記気体の流速を前記記録部により記録させる制御部と、を備える、請求項１又は２に記載の噴出ヘッドの流速検査装置。
【請求項４】
前記流速計は熱式流速計である、請求項１又は２に記載の噴出ヘッドの流速検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、噴出ヘッドから噴出される気体の流速を検査する流速検査装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、露光用マスクや基板等の精密な除塵対象から塵を除去する除塵装置に用いられ、除塵対象に吹き付ける気体を噴出する噴出ヘッドがある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の噴出ヘッドは、長手方向の略全長にわたるスリットからエアを噴出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３９７５２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、噴出されるエア（すなわち気体）の流速を高くするために、スリットの幅は例えば０．１ｍｍというように非常に狭くされることが多い。このため、特許文献１に記載の噴出ヘッドでは、機械加工等により、噴出ヘッドの長手方向全長にわたってスリットを均一の幅で形成することが困難である。これに対して、噴出ヘッドの長手方向においてスリット（すなわち噴出口）を複数に分割して形成することが考えられる。しかし、その場合は、一部の噴出口が詰まったり、複数の噴出口から噴出される気体の流速に差が生じたりするおそれがある。このため、各噴出口から噴出される気体の流速を検査する必要がある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、複数の噴出口が形成された噴出ヘッドの流速検査装置において、各噴出口から噴出される気体の流速を検査可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための第１の手段は、
所定方向に並ぶ複数の噴出口が形成され且つ前記複数の噴出口の開口端を同一の所定平面が通っている噴出ヘッドから噴出される気体の流速を検査する流速検査装置であって、
前記噴出ヘッドを支持するヘッド支持機構と、
検出部を有し、前記検出部に吹き付けられた気体の流速を計測する流速計と、
前記所定平面と前記検出部との距離を調節する距離調節機構と、
前記検出部及び前記距離調節機構を前記所定方向に移動させる移動機構と、
を備える、噴出ヘッドの流速検査装置。
【０００７】
上記構成によれば、噴出ヘッドには、所定方向に並ぶ複数の噴出口が形成されている。そして、前記複数の噴出口の開口端を同一の所定平面が通っている。このため、各噴出口から噴出される気体の流速を所定平面から一定距離で検出すれば、複数の噴出口から噴出される気体の流速を一定条件で検査することができる。
【０００８】
ここで、流速計は、検出部を有し、前記検出部に吹き付けられた気体の流速を計測する。このため、流速計は、検出部の位置における気体の流速を計測することができる。そして、ヘッド支持機構により噴出ヘッドを支持して、距離調節機構により前記所定平面と前記検出部との距離を調節することができる。したがって、噴出ヘッドにより気体を噴出させることにより、流速計は、前記所定平面と前記検出部との距離が調節された状態（すなわち一定条件）において気体の流速を計測することができる。
【０００９】
そして、移動機構は、前記検出部、及び前記所定平面と前記検出部との距離を調節した状態の前記距離調節機構を前記所定方向に移動させる。このため、移動機構により各噴出口に対向する位置に検出部を順次移動させながら、検出部に対向する噴出口から噴出された気体の流速を一定条件で順次計測することができる。したがって、複数の噴出口が形成された噴出ヘッドの流速検査装置において、各噴出口から噴出される気体の流速を検査することができる。その結果、ユーザは、一部の噴出口の詰まりや、複数の噴出口での気体の流速のばらつき等を評価することができる。ひいては、流速の検査結果に基づいて、噴出ヘッドの品質維持や、噴出ヘッドの性能向上を図ることができる。
【００１０】
第２の手段では、前記所定平面に平行であり且つ前記所定方向に垂直である方向における前記検出部の位置を調節する位置調節機構を備える。こうした構成によれば、前記所定平面に平行であり且つ前記所定方向に垂直である方向において、検出部が噴出口の正面に位置するように調節しやすくなる。このため、各噴出口から噴出される気体の流速を正確に検査することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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