特許ウォッチ

公開番号2025176519
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-04
出願番号2024082727
出願日2024-05-21
発明の名称磁気記録媒体の製造方法
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク
代理人弁理士法人ITOH
主分類G11B 5/84 20060101AFI20251127BHJP(情報記憶)
要約【課題】磁気記録媒体の生産性を高めることができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、基板上に磁気記録層及び保護層をこの順で積層した積層体の表面を研磨材によりバーニッシュするバーニッシュ工程を含み、前記バーニッシュ工程は、支持体上に前記研磨材として砥粒を固着させた長尺の研磨テープをロール状に巻き取った状態で使用し、前記ロール状に巻き取った状態から供給される前記研磨テープを前記積層体の表面に押し当てて擦過させる工程を含み、前記ロール状に巻き取った状態の前記研磨テープとして、予め、巻き直しにより遊離した砥粒を除去した前記研磨テープを用いる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に磁気記録層及び保護層をこの順で積層した積層体の表面を研磨材によりバーニッシュするバーニッシュ工程を含み、
前記バーニッシュ工程は、支持体上に前記研磨材として砥粒を固着させた長尺の研磨テープをロール状に巻き取った状態で使用し、前記ロール状に巻き取った状態から供給される前記研磨テープを前記積層体の表面に押し当てて擦過させる工程を含み、
前記ロール状に巻き取った状態の前記研磨テープとして、予め、巻き直しにより遊離した砥粒を除去した前記研磨テープを用いることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
前記遊離した砥粒は、前記研磨テープの前記支持体から遊離した砥粒である、請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記遊離した砥粒の除去を、気体を用いて吹き飛ばすことで行う、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記遊離した砥粒の除去を、前記研磨テープの表面に別のテープを接触させて前記遊離した砥粒を前記別のテープに吸着させることで行う、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記積層体の表面に潤滑層を形成する潤滑層の形成工程を含み、
前記バーニッシュ工程は、前記潤滑層が形成された前記積層体の表面を前記研磨材によりバーニッシュする、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
磁気記憶装置は、近年、パーソナルコンピュータ、動画レコーダ及びデータサーバなど様々な製品に搭載され、その重要性が増している。磁気記憶装置は、電子データを磁気記録により保存する磁気記録媒体を有する装置であり、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Hard Disk Drive）がある。
【０００３】
一般的な磁気記録媒体は、例えば、非磁性基板上に、下地層、中間層、磁気記録層及び保護層をこの順に成膜し、保護層の表面に潤滑層を形成した多層膜を有する。
【０００４】
磁気記録媒体の製造に際しては、保護層の表面の異物や突起を除去するため、研磨テープによるバーニッシュ工程が行われる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特公平２－１０４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
バーニッシュ工程では、図１に示すように、樹脂フィルム１０１上にアルミナなどの砥粒１０２を樹脂で固着させた研磨テープ１００が用いられる。研磨テープ１００は、幅数ｃｍ、長さ１００ｍ程度の長尺であり、芯材１１０にロール状に巻き取った状態で供給される。
【０００７】
研磨テープ１００に異物又は遊離した砥粒などが混入すると、バーニッシュ工程において多層膜の表面に円周傷が発生し、汚れが付着しやすくなる。そのため、研磨テープ１００は、その製造過程において異物又は遊離した砥粒などが混入しないように品質管理されて製造される。しかしながら、磁気記録媒体の製造において、依然として、バーニッシュ工程に起因すると思われる傷又は汚れが発生する場合がある、という問題があった。多層膜の表面に傷及び汚れなどが発生した磁気記録媒体は、不良品として処理され、磁気記録媒体の生産性を低下させることになる。
【０００８】
本発明の一態様は、磁気記録媒体の生産性を高めることができる磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の発明者らは、磁気記録媒体表面の円周傷及び汚れに起因する不良品の発生率と、バーニッシュ工程に用いる研磨テープのロールの位置に相関があることに着目し、研磨テープのロールの内側である芯材側に比べて、外側の方がバーニッシュ工程に起因する不良品の発生率が高まることを発見した。この原因について調査したところ、研磨テープをロール状にすることの巻き締まりによる圧力で、遊離した砥粒が発生し、この遊離した砥粒が不良品の発生原因となっていた。巻き締まりによる圧力は、ロールの内側と外側で差があるため、ロールの内側と外側とで遊離する砥粒の発生量の違いが生じていた。そこで、本発明の発明者らは、ロール状に巻き取った状態の研磨テープを、その使用前に巻き直し、遊離した砥粒を除去することで、磁気記録媒体の生産性を向上できることを見出した。
【００１０】
本発明は、以下に示す構成を備える。
［１］基板上に磁気記録層及び保護層をこの順で積層した積層体の表面を研磨材によりバーニッシュするバーニッシュ工程を含み、
前記バーニッシュ工程は、支持体上に前記研磨材として砥粒を固着させた長尺の研磨テープをロール状に巻き取った状態で使用し、前記ロール状に巻き取った状態から供給される前記研磨テープを前記積層体の表面に押し当てて擦過させる工程を含み、
前記ロール状に巻き取った状態の前記研磨テープとして、予め、巻き直しにより遊離した砥粒を除去した前記研磨テープを用いることを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
［２］前記遊離した砥粒は、前記研磨テープの前記支持体から遊離した砥粒である、［１］に記載の磁気記録媒体の製造方法。
［３］前記遊離した砥粒の除去を、気体を用いて吹き飛ばすことで行う、［１］又は［２］に記載の磁気記録媒体の製造方法。
［４］前記遊離した砥粒の除去を、前記研磨テープの表面に別のテープを接触させて前記遊離した砥粒を前記別のテープに吸着させることで行う、［１］又は［２］に記載の磁気記録媒体の製造方法。
［５］前記積層体の表面に潤滑層を形成する潤滑層の形成工程を含み、
前記バーニッシュ工程は、前記潤滑層が形成された前記積層体の表面を前記研磨材によりバーニッシュする、［１］～［４］のいずれか一つに記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許