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公開番号2025168459
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2025145379,2024015408
出願日2025-09-02,2019-11-06
発明の名称スパッタリングターゲット
出願人住友化学株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/34 20060101AFI20251030BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】ターゲット材が剥がれにくいスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、バッキングプレートと、前記バッキングプレートの接合領域に接合材を介して接合されたターゲット材とを備え、前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の接合箇所の接合面積は、前記接合領域の面積に対して、97%以上であり、前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の接合材が存在しない箇所の最大欠陥面積は、前記接合領域の面積に対して、0.6%以下である。
【選択図】図1C
特許請求の範囲【請求項１】
バッキングプレートと、
前記バッキングプレートの接合領域に接合材を介して接合されたターゲット材と
を備え、
前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の接合箇所の接合面積は、前記接合領域の面積に対して、９７％以上であり、
前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の接合材が存在しない箇所の最大欠陥面積は、前記接合領域の面積に対して、０．６％以下である、スパッタリングターゲット。
続きを表示（約 70 文字）【請求項２】
前記ターゲット材の長さは、１０００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下である、請求項１に記載のスパッタリングターゲット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スパッタリングターゲットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のスパッタリングターゲットの接合方法として、特開平６－１１４５４９号公報（特許文献１）に記載されたものがあげられる。このスパッタリングターゲットの接合方法では、ターゲット材とバッキングプレートにそれぞれ溶融ろう材被覆を形成し、ターゲット材とバッキングプレートを摺り合わせながら相対的に移動させて重ね合せ、これにより、被覆表面に生じている酸化物をしごき出し、酸化物や気泡が噛み込まない状態でろう材被覆を合体させ、その後、ろう材を冷却、凝固させてろう接を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－１１４５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記従来のようなスパッタリングターゲットの接合方法では、ターゲット材とバッキングプレートとの接合が十分でなく、スパッタリング中にターゲット材の剥がれが発生するおそれがあることがわかった。本発明者は、鋭意検討の結果、従来の方法では、ターゲット材とバッキングプレートとを接合すべき領域（接合領域）の面積に対して実際に接合された面積（接合面積）の割合（接合率）が小さく、かつ、ターゲット材とバッキングプレートとの間に位置する、接合材が存在しない箇所（未接合箇所）のうち、面積が最大となる箇所の面積（最大欠陥面積）が大きいことに着目し、接合率および最大欠陥面積とターゲット材の剥がれとの間に関係があることを見出した。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、スパッタリング中にターゲット材が剥がれにくいスパッタリングターゲットを実現できるスパッタリングターゲットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、スパッタリングターゲットの一実施形態は、
バッキングプレートと、
前記バッキングプレートの接合領域（バッキングプレートにおけるターゲット材を接合すべき領域）に接合材を介して接合されたターゲット材と
を備え、
前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の接合箇所（接合された箇所）の接合面積は、前記接合領域の面積に対して、９７％以上であり、
前記ターゲット材と前記バッキングプレートの間の未接合箇所の最大欠陥面積は、前記接合領域の面積に対して、０．６％以下である。
【０００７】
前記実施形態によれば、接合率を向上でき、かつ、最大欠陥面積を低減できて、ターゲット材が剥がれにくいスパッタリングターゲットを製造することができる。
【０００８】
また、スパッタリングターゲットの一実施形態では、前記ターゲット材の長さは、１０００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下である。
【０００９】
前記実施形態によれば、長尺のスパッタリングターゲットにおいてもターゲット材が剥がれにくいスパッタリングターゲットを製造することができる。
【００１０】
また、ターゲット材とバッキングプレートを接合する方法の一実施形態は、
ターゲット材とバッキングプレートを接合材によって接合する方法であって、
前記バッキングプレートの主面における前記ターゲット材を接合すべき領域（接合領域）に接合材を塗布する工程と、
前記ターゲット材の端縁（第一端縁）が、前記バッキングプレートの前記接合領域の第１端縁側から、前記バッキングプレートの前記接合領域における前記第１端縁と第１方向に対向する第２端縁を超える位置まで移動するように、前記ターゲット材を前記バッキングプレートの前記主面に沿って前記第１方向に滑らせて移動する工程と、
前記ターゲット材を前記バッキングプレートの前記主面に沿って前記第１方向と反対方向の第２方向に滑らせて移動して、前記ターゲット材を前記バッキングプレートの前記接合領域に一致させる工程と
を備える。
以下、ターゲット材を第１方向に滑らせて移動することを「スライド」ともいい、ターゲット材を第２方向に滑らせて移動することを「リバース」ともいう。
（【００１１】以降は省略されています）

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