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公開番号2025166084
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2025132087,2021148516
出願日2025-08-07,2021-09-13
発明の名称処理システム及び搬送方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人弁理士法人ITOH
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251028BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理室内の消耗部材を効率よく交換する処理システム及び搬送方法を提供する。
【解決手段】処理システムPSは、内部に消耗部材が取り付けられるチャンバと、消耗部材を収納する収納モジュールSMと、消耗部材の位置を検出する位置検出センサと、チャンバ及び収納モジュールに接続され、チャンバと収納モジュールとの間で消耗部材を搬送する搬送ロボットTR1、TR2を有する真空搬送モジュールTM1、TM2と、制御部CUと、を備え、制御部は、(a)搬送ロボットを制御してチャンバに取り付けられた消耗部材を前記収納モジュールに搬送する工程と、(b)収納モジュールに搬送される消耗部材の位置を位置検出センサで検出する工程と、(c)搬送ロボットを制御して工程(b)において検出された消耗部材の位置に基づき消耗部材とは異なる新たな消耗部材を収納モジュールからチャンバに位置補正して搬送する工程と、を実行する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
内部に消耗部材が取り付けられるチャンバと、
前記消耗部材を収納する収納モジュールと、
前記消耗部材の位置を検出する位置検出センサと、
前記チャンバ及び前記収納モジュールに接続される真空搬送モジュールであり、前記チャンバと前記収納モジュールとの間で前記消耗部材を搬送する搬送ロボットを有する真空搬送モジュールと、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
（ｆ）前記位置検出センサにより前記チャンバに取り付けられた使用済みの消耗部材の位置を検出する工程と、
（ｇ）前記位置検出センサにより前記収納モジュールに収容された未使用の消耗部材の位置を検出する工程と、
（ｈ）前記未使用の消耗部材を前記収納モジュールから前記チャンバに搬送する工程と、
を実行するように構成され、
前記工程（ｈ）は、前記工程（ｆ）において検出された前記使用済みの消耗部材の位置と前記工程（ｇ）において検出された前記未使用の消耗部材の位置とに基づいて、前記収納モジュールから前記チャンバに搬送される前記未使用の消耗部材の位置を補正することを含む、
処理システム。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記収納モジュールは、前記真空搬送モジュールに対して着脱可能である、
請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
前記収納モジュールは、内部を減圧するための排気口を有し、
前記制御部は、
（ｄ）前記排気口を介して前記収納モジュールの内部を減圧して前記真空搬送モジュールの内部の圧力よりも小さくした状態で、前記収納モジュール内を前記真空搬送モジュール内と連通させる工程を更に実行するよう構成される、
請求項１又は２に記載の処理システム。
【請求項４】
前記位置検出センサは、前記消耗部材の水平位置を検出する、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項５】
前記収納モジュールは、上下方向に間隔を有して複数の前記消耗部材を収納可能であり、
前記制御部は、
（ｅ）前記工程（ｈ）の前に前記使用済みの消耗部材を前記収納モジュールの内部に収納された前記未使用の消耗部材よりも下方の位置に収納する工程を更に実行するよう構成される、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項６】
前記消耗部材は、円環状を有し、
前記位置検出センサは、少なくとも前記消耗部材の内周の位置を検出する内周センサを含む、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項７】
前記位置検出センサは、カメラを含む、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項８】
前記消耗部材は、前記チャンバの内部に設けられ、基板を載置する載置台の上面において、前記基板の周囲を囲むように載置されるエッジリングを含む、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項９】
前記位置検出センサは、前記収納モジュールに設けられる、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の処理システム。
【請求項１０】
前記位置検出センサは、前記収納モジュールから前記チャンバまでの前記消耗部材の搬送経路上に設けられる、
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の処理システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、処理システム及び搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
プラズマ処理が施される処理室内に基板の周囲を囲むように配置されるフォーカスリングを交換する技術が知られている（例えば、特許文献１－３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－２１６６１４号公報
特開２０１８－０１０９９２号公報
特開２０１１－０５４９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、処理室内の消耗部材を効率よく交換できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による処理システムは、内部に消耗部材が取り付けられるチャンバと、前記消耗部材を収納する収納モジュールと、前記消耗部材の位置を検出する位置検出センサと、前記チャンバ及び前記収納モジュールに接続される真空搬送モジュールであり、前記チャンバと前記収納モジュールとの間で前記消耗部材を搬送する搬送ロボットを有する真空搬送モジュールと、制御部と、を備え、前記制御部は、（ａ）前記搬送ロボットを制御して前記チャンバに取り付けられた前記消耗部材を前記収納モジュールに搬送する工程と、（ｂ）前記収納モジュールに搬送される前記消耗部材の位置を前記位置検出センサで検出する工程と、（ｃ）前記搬送ロボットを制御して前記工程（ｂ）において検出された前記消耗部材の位置に基づき前記消耗部材とは異なる新たな消耗部材を前記収納モジュールから前記チャンバに位置補正して搬送する工程と、を実行するように構成される。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、処理室内の消耗部材を効率よく交換できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態の処理システムの一例を示す図
プロセスモジュールの一例を示す概略断面図
収納モジュールの一例を示す正面断面図
収納モジュールの一例を示す側面断面図
プロセスモジュールごとの基準位置を説明するための図
実施形態のエッジリングの搬送方法の一例を示す図
実施形態のエッジリングの収納方法の一例を示す図
収納モジュールの設置例を示す概略図
搬送ロボットのフォークに取り付けられた位置検出センサを示す図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は消耗部材については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
〔処理システム〕
図１を参照し、実施形態の処理システムの一例について説明する。図１に示されるように、処理システムＰＳは、基板にプラズマ処理等の各種処理を施すことが可能なシステムである。基板は、例えば半導体ウエハであってよい。
【００１０】
処理システムＰＳは、真空搬送モジュールＴＭ１，ＴＭ２、プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ１２、ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２、大気搬送モジュールＬＭ、収納モジュールＳＭ等を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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