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公開番号2025164121
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024067918
出願日2024-04-19
発明の名称感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、パターン形成方法、表示装置、及びマイクロLEDディスプレイ
出願人信越化学工業株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20251023BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】高いリソグラフィー解像性、良好な青色光吸収特性を有する被膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びこれらを用いるパターン形成方法、並びに前記感光性樹脂組成物を用いて得られる表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】赤色もしくは緑色の蛍光を発することのできる量子ドット含有フォトレジスト硬化膜を透過した青色LED光吸収用の感光性樹脂組成物であって、(A)(メタ)アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、(B)波長490～430nmのいずれかに吸収極大波長を持つ染料、(C)オキシム系光ラジカル発生剤、(D)界面活性剤、及び(E)溶剤を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
赤色もしくは緑色の蛍光を発することのできる量子ドット含有フォトレジスト硬化膜を透過した青色ＬＥＤ光吸収用の感光性樹脂組成物であって、
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、
（Ｂ）波長４９０～４３０ｎｍのいずれかに吸収極大波長を持つ染料、
（Ｃ）オキシム系光ラジカル発生剤、
（Ｄ）界面活性剤、及び
（Ｅ）溶剤
を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記（Ａ）成分は、重量平均分子量Ｍｗが１０，０００～５０，０００かつ二重結合当量が≦３００ｇ／ｍоｌかつ酸価が≦１０ｍｇＫＯＨ／ｇであるアルカリ不溶性樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ）成分を前記感光性樹脂組成物の不揮発成分中に０．５～１５質量％含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
波長４５０～４７０ｎｍの透過率が２％以下、波長５１５～５３５ｎｍの透過率が８０％以上、及び波長６２０～６４０ｎｍの透過率が８０％以上である膜厚１～１０μｍの硬化膜を与えるものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の乾燥体であることを特徴とする感光性樹脂皮膜。
【請求項６】
支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された請求項５に記載の感光性樹脂皮膜とを備えるものであることを特徴とする感光性ドライフィルム。
【請求項７】
パターン形成方法であって、
（ｉ）請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を、赤色もしくは緑色の蛍光を発することのできる量子ドット含有フォトレジストで形成されたパターンを備えた基板上に塗布し、前記基板上に感光性樹脂皮膜を形成する工程、
（ｉｉ）前記感光性樹脂皮膜を露光する工程、及び
（ｉｉｉ）前記露光した感光性樹脂皮膜を現像液にて現像し、非露光部を溶解除去して量子ドット含有フォトレジスト上に膜厚１～１０μｍのパターンを形成する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項８】
前記（ｉｉ）工程の後にポストベイクを行わないことを特徴とする請求項７に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
パターン形成方法であって、
（ｉ’）請求項６に記載の感光性ドライフィルムの前記感光性樹脂皮膜を、赤色もしくは緑色の蛍光を発することのできる量子ドット含有フォトレジストで形成されたパターンを備えた基板上に貼り付けて、前記基板上に前記感光性樹脂皮膜を形成する工程、
（ｉｉ’）前記感光性樹脂皮膜を露光する工程、及び
（ｉｉｉ’）前記露光した感光性樹脂皮膜を現像液にて現像し、非露光部を溶解除去して量子ドット含有フォトレジスト上に膜厚１～１０μｍのパターンを形成する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１０】
前記（ｉｉ’）工程の後にポストベイクを行わないことを特徴とする請求項９に記載のパターン形成方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、パターン形成方法、表示装置、及びマイクロＬＥＤディスプレイに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
赤色、緑色および青色のサブピクセルを含むディスプレイを形成するために、様々な方法が提案されている。その中の一つの方法として、色変換構造体を通してＬＥＤアレイからの光を青色であるより短い波長から、赤色および緑色であるより長い波長の光に変換する方法がある。この色変換を担うものとしては量子ドットが用いられている。
【０００３】
近年、このＬＥＤアレイはマイクロサイズとなっており、これを用いたマイクロＬＥＤディスプレイが注目されている。色変換構造体をＬＥＤアレイ上に形成する方法としては感光性材料を用いたリソグラフィープロセスがあるが（特許文献１）、パターンを形成するためにリソグラフィープロセス中の露光波長の透過率を確保すると、硬化膜に下から青色ＬＥＤの光を当てた際に量子ドットにより色変換されずに透過してしまう青色光が表に出てきてしまいディスプレイの鮮明さを欠いてしまう問題がある（一般的に量子ドットの吸光度がリソグラフィープロセス中の露光波長＞青色ＬＥＤ光波長のため）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０８９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
赤色に発光する量子ドット含有フォトレジスト硬化膜が青色ＬＥＤ上に積層されたサブピクセル、緑色に発光する量子ドット含有フォトレジスト硬化膜が青色ＬＥＤ上に積層されたサブピクセル、これらが積層されていない青色ＬＥＤからなるサブピクセルの３つで色の三原色を成して一つのピクセルとしてフルカラーの色を表現するわけだが、量子ドット含有フォトレジスト硬化膜が青色の光を透過してしまうとフルカラーの表現が困難になる。これを解決するためには赤色に発光する量子ドット含有フォトレジスト硬化膜と緑色に発光する量子ドット含有フォトレジスト硬化膜の上だけに選択的に（量子ドット含有フォトレジスト硬化膜が積層されていない青色ＬＥＤからなるサブピクセル上にまで積層してしまうと青の発光が取り出せなくなってしまうため）青色の光の吸収層を形成できる材料を開発する必要がある。
【０００６】
本発明は、前記事情に鑑みなされたもので、高いリソグラフィー解像性、良好な青色光吸収特性を有する被膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びこれらを用いるパターン形成方法、並びに前記感光性樹脂組成物を用いて得られる表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、
赤色もしくは緑色の蛍光を発することのできる量子ドット含有フォトレジスト硬化膜を透過した青色ＬＥＤ光吸収用の感光性樹脂組成物であって、
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂、
（Ｂ）波長４９０～４３０ｎｍのいずれかに吸収極大波長を持つ染料、
（Ｃ）オキシム系光ラジカル発生剤、
（Ｄ）界面活性剤、及び
（Ｅ）溶剤
を含むものである感光性樹脂組成物を提供する。
【０００８】
このようなものであれば、高いリソグラフィー解像性、良好な青色光吸収特性を有する被膜を容易に形成できる感光性樹脂組成物となる。
【０００９】
また、前記（Ａ）成分は、重量平均分子量Ｍｗが１０，０００～５０，０００かつ二重結合当量が≦３００ｇ／ｍоｌかつ酸価が≦１０ｍｇＫＯＨ／ｇであるアルカリ不溶性樹脂であることが好ましい。
【００１０】
（Ａ）（メタ）アクリロイル基を側鎖に有するアクリル樹脂の重量平均分子量が前記範囲内にあれば、現像時に露光部の膜減少が生じにくく、非露光部分の溶解性が良好である。
（【００１１】以降は省略されています）

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