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公開番号2025161211
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-24
出願番号2024064207
出願日2024-04-11
発明の名称同軸ケーブル、及び、デバイス試験装置
出願人株式会社アドバンテスト
代理人弁理士法人とこしえ特許事務所
主分類H01B 11/18 20060101AFI20251017BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】高密度で配置することが可能な同軸ケーブルを提供する。
【解決手段】同軸ケーブル40は、筒状の外部導体45と、外部導体45に覆われた絶縁部44と、絶縁部44の中に配置された複数の内部導体41と、を備えている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
筒状の外部導体と、
前記外部導体に覆われた絶縁部と、
前記絶縁部の中に配置された複数の内部導体と、を備えた同軸ケーブル。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記複数の内部導体は、相互に離れるように前記絶縁部の中に配置されている同軸ケーブル。
【請求項３】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記内部導体は、円弧状に延在する断面形状を有している同軸ケーブル。
【請求項４】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記内部導体は、前記外部導体の内周面に実質的に平行に延在する断面形状を有している同軸ケーブル。
【請求項５】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記内部導体の前記同軸ケーブルの径方向に沿った厚さは、前記内部導体の前記同軸ケーブルの周方向に沿った幅よりも小さい同軸ケーブル。
【請求項６】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記複数の内部導体は、前記同軸ケーブルの周方向に間隔を空けて配置されていると共に、前記外部導体と同心円状に配置されている同軸ケーブル。
【請求項７】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記内部導体は、円弧状の断面形状を有する金属層、又は、円弧状に並べられた複数の金属素線を備えた同軸ケーブル。
【請求項８】
請求項１に記載の同軸ケーブルであって、
前記絶縁部は、樹脂材料を備えた第１の絶縁部を備えた同軸ケーブル。
【請求項９】
請求項８に記載の同軸ケーブルであって、
前記第１の絶縁部は、前記複数の内部導体を保持する柱状又は筒状の樹脂体であり、
前記外部導体は、前記樹脂体を覆っている同軸ケーブル。
【請求項１０】
請求項８に記載の同軸ケーブルであって、
前記第１の絶縁部は、相互に集合した複数の樹脂素線を備え、前記複数の内部導体を保持する素線集合体を備え、
前記外部導体は、前記素線集合体を覆っている同軸ケーブル。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、同軸ケーブル、及び、その同軸ケーブルを備えたデバイス試験装置に関するものである。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路素子等の各種半導体デバイス（ＤＵＴ）の電気的特性を試験する半導体デバイス試験装置として、ソケットを備えたＤＳＡと、ピンエレクトロニクスカードを備えたテストヘッドと、このＤＳＡとテストヘッドとを電気的に接続する同軸ケーブルを備えたマザーボードと、を備えたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－０７８０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体デバイス試験装置において、同時測定数（同時に試験可能なＤＵＴの数）が増加すると、マザーボードが備える同軸ケーブルの本数も増加する。一方で、マザーボードの筐体内のスペースは限られているため、同軸ケーブルの本数を増やすことが難しい場合がある、という問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、高密度で配置することが可能な同軸ケーブル、及び、その同軸ケーブルを備えたデバイス試験装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の態様１は、筒状の外部導体と、前記外部導体に覆われた絶縁部と、前記絶縁部の中に配置された複数の内部導体と、を備えた同軸ケーブルである。
【０００７】
［２］本発明の態様２は、態様１の同軸ケーブルにおいて、前記複数の内部導体は、相互に離れるように前記絶縁部の中に配置されている同軸ケーブルであってもよい。
【０００８】
［３］本発明の態様３は、態様１又は２の同軸ケーブルにおいて、前記絶縁部は、前記複数の内部導体の間に介在している同軸ケーブルであってもよい。
【０００９】
［４］本発明の態様４は、態様１～３のいずれか一つの同軸ケーブルにおいて、前記内部導体は、円弧状に延在する断面形状を有している同軸ケーブルであってもよい。
【００１０】
［５］本発明の態様５は、態様１～４のいずれか一つの同軸ケーブルにおいて、前記内部導体は、前記外部導体の内周面に実質的に平行に延在する断面形状を有している同軸ケーブルであってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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