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公開番号2025149716
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024050524
出願日2024-03-26
発明の名称プローブカードの位置決め装置
出願人株式会社ヨコオ
代理人個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20251001BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】プローブカードと被測定デバイスとの位置決めが容易で、位置決め精度の向上が可能なプローブカードの位置決め装置を提供する。
【解決手段】プローブカードの位置決め装置は、被測定デバイスの電極に電気的に接触可能なプローブと、のぞき穴とを有するプローブカードと、前記のぞき穴を通して前記被測定デバイスを撮像する撮像手段と、を備え、前記プローブと前記のぞき穴の特定の周縁部位との位置関係が既知であり、前記撮像手段の視野において、前記被測定デバイスの特徴部位に対して、前記特定の周縁部位を合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定デバイスの電極に電気的に接触可能なプローブと、のぞき穴とを有するプローブカードと、
前記のぞき穴を通して前記被測定デバイスを撮像する撮像手段と、を備え、
前記プローブと前記のぞき穴の特定の周縁部位との位置関係が既知であり、
前記撮像手段の視野において、前記被測定デバイスの特徴部位に対して、前記特定の周縁部位を合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行う、プローブカードの位置決め装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記被測定デバイスの特徴部位が外形であり、
前記外形に対して、前記特定の周縁部位を複数箇所で合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行う、請求項１に記載のプローブカードの位置決め装置。
【請求項３】
前記外形の互いに垂直な二辺に対して、前記特定の周縁部位を合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行う、請求項２に記載のプローブカードの位置決め装置。
【請求項４】
被測定デバイスの電極に電気的に接触可能なプローブと、のぞき穴とを有するプローブカードであって、
前記のぞき穴を通して前記被測定デバイスを撮像する撮像手段を備えたプローブカードの位置決め装置に装着され、
前記撮像手段の視野において、前記被測定デバイスの特徴部位に対して、前記のぞき穴の特定の周縁部位を合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行うために、
前記プローブと前記特定の周縁部位との位置関係が既知であるプローブカード。
【請求項５】
被測定デバイスの電極に電気的に接続可能なプローブと、
撮影手段による前記被測定デバイスの撮像を可能とするのぞき穴と、を備え、
前記のぞき穴は、前記撮像手段による前記のぞき穴を通した撮像により前記被測定デバイスに対する位置を調整可能とする周縁部位を有する、プローブカード。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードの位置決め装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
プローブカードにのぞき穴を形成し、のぞき穴から小棒を突出させて、小棒をプローブカードと半導体素子との位置合わせの目印とする技術が、下記特許文献１に提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－２２４２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、小棒の取付位置精度がプローブカードと半導体素子との位置決め精度に影響する問題がある。
【０００５】
本発明の目的の一例は、プローブカードと被測定デバイスとの位置決めが容易で、位置決め精度の向上が可能なプローブカードの位置決め装置を提供することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、プローブカードの位置決め装置であって、
被測定デバイスの電極に電気的に接触可能なプローブと、のぞき穴とを有するプローブカードと、
前記のぞき穴を通して前記被測定デバイスを撮像する撮像手段と、を備え、
前記プローブと前記のぞき穴の特定の周縁部位との位置関係が既知であり、
前記撮像手段の視野において、前記被測定デバイスの特徴部位に対して、前記特定の周縁部位を合致若しくは微小間隔で近接させて、前記プローブカードの位置決めを行う。
【０００７】
本発明の上記態様によれば、プローブカードと被測定デバイスとの位置決めが容易で、位置決め精度の向上が可能である。
【０００８】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の実施形態に係るプローブカードの位置決め装置１の正断面図である。
プローブカードの位置決め装置１において、プローブカード１０の上方よりみた平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１及び図２を用いて本発明の実施形態に係るプローブカードの位置決め装置を説明する。説明の便宜上、図１に上下方向を定義し、図２にＸ―Ｙ方向を定義する。これらの図に示すように、プローブカードの位置決め装置１は、複数本のプローブ１１と、のぞき穴１５とを有するプローブカード１０と、のぞき穴１５を通して半導体チップ３０を撮像する撮像手段としてのチップ確認用カメラ２０と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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