特許ウォッチ

公開番号2025143813
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-02
出願番号2024043255
出願日2024-03-19
発明の名称出力調整機構、電界放射装置及び電界放射装置の出力制御方法
出願人株式会社明電舎
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01J 35/06 20060101AFI20250925BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】単一の高圧電源により電界放射装置の出力特性を任意に制御できる出力調整機構、電界放射装置とその制御方法の提供。
【解決手段】電界放射装置1は、真空容器2内でエミッタ31を支持するエミッタユニット3と、真空容器2内でエミッタ31と離接可能にエミッタ31の外周に設けられるガード電極4と、真空容器2内でエミッタ31と対向するターゲット51を備えたターゲットユニット5と、エミッタユニット3とターゲット51の間に配置されるグリッド電極7と、このグリッド電極7の電極本体部71からエミッタユニット3の方向に延出してグリッド電極7を前記軸方向に往復動可能に支持するグリッド電極支持体8と、このグリッド電極支持体8を前記軸方向に往復動可能に保持する支持体保持部10を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
真空容器にてエミッタを支持するエミッタユニットと、
前記真空容器にて前記エミッタと対向するターゲットを備えたターゲットユニットと、
前記真空容器にて前記エミッタと離接可能に当該エミッタの外周に設けられるガード電極と、
前記エミッタユニットと前記ターゲットの間に配置されるグリッド電極と、
このグリッド電極の電極本体部から前記エミッタユニットの方向に延出して当該グリッド電極を前記真空容器の軸方向に往復動可能に支持するグリッド電極支持体と、
このグリッド電極支持体を前記軸方向に往復動可能に保持する支持体保持部と、
を有することを特徴とする出力調整機構。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記グリッド電極支持体が挿通されるベローズを介して前記グリッド電極と電気的に接続されて前記真空容器の一端側を封止するグリッド電極フランジをさらに有し、
前記グリッド電極フランジには、前記ガード電極が挿入されて密閉される挿入孔と、
前記グリッド電極支持体が挿通される挿通孔が形成されたこと
を特徴とする請求項１に記載の出力調整機構。
【請求項３】
前記グリッド電極支持体は、前記ベローズの一端側の外周面を遮蔽する遮蔽部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の出力調整機構。
【請求項４】
前記支持体保持部は、管電流を増加させる際に前記グリッド電極と前記ガード電極との間の距離が縮小するように、当該管電流を減少させる際に当該距離が拡大するように、前記グリッド電極支持体を動作させることを特徴とする請求項１に記載の出力調整機構。
【請求項５】
前記エミッタユニットと前記ターゲットユニットの間に接続される単一の電源と、
前記エミッタユニットと前記グリッド電極の間及び前記ターゲットユニットと前記グリッド電極の間に接続される抵抗と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の出力調整機構。
【請求項６】
前記エミッタユニットを前記軸方向に往復動可能に支持するエミッタユニット支持体をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の出力調整機構。
【請求項７】
請求項１に記載の出力調整機構を備えたことを特徴する電界放射装置。
【請求項８】
請求項１に記載の出力調整機構を備えた電界放射装置の出力制御方法であって、前記支持体保持部は前記グリッド電極支持体を動作させることで前記グリッド電極と前記ガード電極との間の距離を調整して管電流を制御することを特徴とする電界放射装置の出力制御方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はＸ線装置，電子管，照明装置等の種々の機器に適用される電界放射装置及び電界遮へい構造に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線装置，電子管，照明装置等の種々の機器に適用される電界放射装置の一例としては、真空容器の真空室において互いに対向した方向に位置するエミッタとターゲットとの間に電圧印加し、エミッタから放出した電子線をターゲットに衝突させて所望の機能（例えばＸ線装置の場合はＸ線による透視分解能）を発揮する。
【０００３】
例えば、図４に示された特許文献１の電界放射装置１は、筒状の絶縁体２１の一端，他端がエミッタユニット３，ターゲットユニット５により各々封止されて真空室２０を成す真空容器２を備える。エミッタユニット３とターゲットユニット５との間には、真空室２０の径方向に延在するグリッド電極７が設けられる。エミッタユニット３とターゲットユニット５には高圧電源１１ａが接続される。グリッド電極７とターゲットユニット５には高圧電源１１ｂが接続される。
【０００４】
エミッタユニット３は、ターゲットユニット５と対向する電子発生部３０を有するエミッタ３１と、このエミッタ３１を真空室２０内で支持して絶縁体２１の一端を封止するエミッタ支持部３３を備える。
【０００５】
エミッタ３１の電子発生部３０の外周側にはガード電極４が設けられる。ガード電極４は、エミッタ３１と離接可能にエミッタ３１の外周側に設けられて真空室２０の両端方向に延在した筒状を成す。そして、このガード電極４は、絶縁体２１の一端側で真空容器２の軸方向に移動可能にガード電極支持部４１により支持される。
【０００６】
電界放射装置１において、閃絡現象の抑制を図るためのガード電極４等の改質処理は、ガード電極支持部４１を操作し、ガード電極４をグリッド電極７側に移動させてエミッタ３１の電界放射を抑制し、ガード電極４に電圧を印加して放電が繰り返して行われる。これにより、エミッタ３１の電界放射を抑制しながらガード電極４等を改質処理でき、電界放射装置の特性の向上が図られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１７－２２４３９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
電界放射装置１は、エミッタユニット３、ターゲットユニット５及びグリッド電極７の３つの電極を有するため、高圧電源が２つ必要になる。一般に、管電圧が大きいほど高圧電源は大きくなり、電界放射装置１と高圧電源を組み合わせたシステム全体が大きくなる。ここで、図５に示した複数の抵抗Ｒ１により分圧すれば単一の高圧電源１１から電界放射装置１に電圧を印加できる。
【０００９】
しかしながら、抵抗Ｒ１側の電圧は高圧電源１１ａの電圧で一意に決まるため、前記電界放射装置１の出力特性（例えば管電流）を任意に制御できない。ガード電極４と共にエミッタ３１を可動させる前記出力特性を制御する方式も考えられるが可動構造やその制御も複雑となる。
【００１０】
本発明は、以上の事情を鑑みなされたもので、単一の高圧電源により電界放射装置の出力特性を任意に制御できる出力調整機構、電界放射装置とその制御方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許