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公開番号2025128919
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025930
出願日2024-02-22
発明の名称シートコンタクタ
出願人株式会社ヨコオ
代理人個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250827BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定デバイスの電極とフレキシブル基板に配置されたコンタクトチップとの電気的接触を確実にすることが可能なシートコンタクタを提供する。
【解決手段】シートコンタクタであって、フレキシブル基板と、前記フレキシブル基板の一方の面側に配置される複数のコンタクトチップと、前記フレキシブル基板の他方の面側に配置されるブロックと、前記フレキシブル基板と前記ブロック間に介在する弾性体と、を備え、前記ブロックは、前記弾性体との対向面に、凹部と凸部の一方又は両方を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一方の面側に配置される複数のコンタクトチップと、
前記フレキシブル基板の他方の面側に配置されるブロックと、
前記フレキシブル基板と前記ブロック間に介在する弾性体と、を備え、
前記ブロックは、前記弾性体との対向面に、凹部と凸部の一方又は両方を有する、シートコンタクタ。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記凸部は、前記複数のコンタクトチップのうち中央部のグループに対向する領域、若しくは周縁部のグループに対向しない領域に配置されている、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項３】
前記ブロックは前記弾性体が配置される前記凹部を有し、
前記凸部は、前記凹部の底面に位置し、前記複数のコンタクトチップのうち中央部のグループに対向する領域、若しくは周縁部のグループに対向しない領域に配置されている、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項４】
前記弾性体の肉厚は、前記中央部のグループに対向する領域、若しくは周縁部のグループに対向しない領域が、その他の領域よりも薄い、請求項２又は３に記載のシートコンタクタ。
【請求項５】
前記凸部は隣り合う前記コンタクトチップの中間位置に配置され、前記弾性体は前記凸部が入る貫通孔を有する、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項６】
前記ブロックは前記弾性体が配置される前記凹部を有し、
前記凸部は、前記凹部の底面に位置し、隣り合う前記コンタクトチップの中間位置に配置され、前記弾性体は前記凸部が入る貫通孔を有する、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項７】
個々の前記コンタクトチップに対応する位置に、それぞれ前記凹部が配置され、前記凹部に前記弾性体が配置されている、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項８】
非測定時において、前記弾性体の前記フレキシブル基板への対向面は、前記ブロックの前記フレキシブル基板への対向面と面一に形成されている、請求項３，５，６又は７に記載のシートコンタクタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートコンタクタに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的に、シートコンタクタは、コンタクトチップを形成したフレキシブル基板（例えばＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）をブロックに接着した構造になっている。フレキシブル基板自体に弾性はあるものの僅かなため、ポゴピン等のようなストロークの大きなプローブに比べ、被測定デバイスのパッドの高さばらつきや、コンタクトチップ同士の高さばらつきを吸収するのは困難なきらいがあった。
【０００３】
このため、フレキシブル基板とブロック間に弾性体を介在させることが下記特許文献１で提案されている。
【０００４】
図８から図１０はブロック１０とフレキシブル基板２０間に弾性体３０を介在させた従来構造のシートコンタクタ５であり、フレキシブル基板２０の主面には、被測定デバイス５０の電極（パッドやバンプ等）に対向する位置にコンタクトチップ２１が形成されている。被測定デバイス５０の背後から荷重Ｋを加えて被測定デバイス５０をフレキシブル基板２０のコンタクトチップ２１に押し付けたときに、弾性体３０の弾性によってコンタクトチップ２１の高さのばらつきを吸収する想定であった。
【０００５】
しかし、実際は外側に位置するコンタクトチップ２１が被測定デバイス５０に押されると、図１０のようにフレキシブル基板２０の可撓性に起因してフレキシブル基板２０の中央部が下がるため（フレキシブル基板２０が下向きの凸面となるように変形するため）、中央部分のコンタクトチップ２１と被測定デバイス５０のパッドとの接触が不安定になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第３５５９７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的の一例は、被測定デバイスの電極とフレキシブル基板に配置されたコンタクトチップとの電気的接触を確実にすることが可能なシートコンタクタを提供することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、シートコンタクタであって、
フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の一方の面側に配置される複数のコンタクトチップと、
前記フレキシブル基板の他方の面側に配置されるブロックと、
前記フレキシブル基板と前記ブロック間に介在する弾性体と、を備え、
前記ブロックは、前記弾性体との対向面に、凹部と凸部の一方又は両方を有する。
【０００９】
本発明の上記態様によれば、被測定デバイスの電極とフレキシブル基板に配置されたコンタクトチップとの電気的接触を確実にすることができる。
【００１０】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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