特許ウォッチ

公開番号2025097770
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023214164
出願日2023-12-19
発明の名称研磨部材固定用粘着シートおよび、研磨部材積層体
出願人artience株式会社
代理人
主分類C09J 7/38 20180101AFI20250624BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】
高湿環境下の長期保管性に優れ、貼り付け作業性に優れる研磨部材固定用粘着シート及び研磨部材積層体を提供することを目的とする。
【解決手段】
基材層の両面に粘着層を具備し、少なくとも1つの粘着層に剥離紙が接する粘着シートであり、前記剥離紙は、JIS P8124―2011で規定される坪量50～200g/m²の基紙の表面に、けん化度が90mol%以上のポリビニルアルコール層を有する支持体からなり、前記支持体の表面に剥離層を有してなる研磨部材固定用粘着シートによって解決できる。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基材層の両面に粘着層を具備し、少なくとも１つの粘着層に剥離紙が接する粘着シートであり、
前記剥離紙は、ＪＩＳＰ８１２４―２０１１で規定される坪量５０～２００ｇ／ｍ
２
の基紙の表面に、けん化度が９０モルｌ％以上のポリビニルアルコール層を有する支持体からなり、前記支持体の表面に剥離層を有してなる研磨部材固定用粘着シート。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記粘着層の少なくとも一方はエラストマー粘着層であり、エラストマー粘着層と剥離紙が接することを特徴とする請求項１記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項３】
前記エラストマー粘着層の表面について、直径５ｍｍのステンレス製円柱プローブ、２０ｇの錘を使用し、プローブ速度が１ｍ／分、プローブ接地時間が１ｓの条件で測定した際のプローブタック値が０．００２～０．０３Ｎである請求項２記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項４】
前記エラストマー粘着層は、エラストマー粘着剤からなり、エラストマー粘着剤は、エラストマーと粘着付与樹脂とを含有し、前記エラストマーが、スチレン含有率２０～４０％、かつジブロック含有率１５～７０％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含む請求項３記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項５】
前記粘着付与樹脂は、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含む請求項４記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項６】
エラストマー１００質量部に対してテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を２０～６０質量部含む請求項５記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項７】
前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の軟化点が、８０～１７０℃である、請求項６記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項８】
前記粘着シートは、単板形態である場合の短辺の長さが２０００ｍｍ以上、または、ロール形態である場合の幅方向の長さが２０００ｍｍ以上である請求項１～７記載の研磨部材固定用粘着シート。
【請求項９】
請求項８記載の研磨部材固定用粘着シートを、研磨部材に貼り合わせた、研磨部材積層体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨部材固定用粘着シートおよび研磨部材積層体に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体研磨やガラス研磨に用いられる研磨部材固定用粘着シートや研磨部材積層体の輸出が増大している。特に台湾や東南アジアなどの半導体の生産・加工が活発となり、熱帯環境の地域（高湿度環境の地域）への輸出輸入が増加している。
研磨部材固定用粘着シートはシリコンウエハやガラスを研磨する上で重要であって、例えば従来の研磨部材固定用粘着シートとして、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）セパレーターを有するもの（特許文献１）やエラストマー系粘着層を有するものが開示されている。（特許文献２）。
また、近年、研磨装置の大型化が進んでおり、それに伴い研磨部材固定用粘着シートも大型化し、定盤への張り付作業の難易度が飛躍的に向上している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－００２９９９号公報
特開２０１１－１２２０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研磨部材固定用粘着シートの粘着層には、強い粘着力や、研磨工程でかかるせん断力に耐えうる凝集力（保持力）や、研磨時に用いられる研磨液に対して、耐強アルカリ性・強酸性といった耐薬品性が求められる。しかし、輸出や長期保管等、高湿環境下に長期間曝されると、粘着力、凝集力が変化し、耐薬品性が損なわれる課題があった。そのため、長期間高湿環境に曝さらされても、物性値が変化しにくい研磨部材固定用粘着シートが求められている。
【０００５】
上記の特性に加え、大型化した研磨装置（定盤）に貼り付ける際に、ヨレや貼りむらが出にくい研磨部材固定用粘着シートが求められている（以下、貼り付け作業性とも省略する）が、引用文献１及び引用文献２では上記の課題を達成できていなかった。
【０００６】
また、剥離紙を作製する場合、搬送しながら基紙にポリビニルアルコールを塗布する工程、剥離剤を塗布する工程を経るが、この際に基紙の変形（ヨレ、しわ）や破れのような破壊が起こらない、強度が高く、塗工性に優れた基紙が求められていた。（以下、基紙の搬送性とも省略する）。
【０００７】
本発明は上記背景に鑑みてなされたものであり、高湿環境下の長期保管性に優れ、貼り付け作業性に優れる研磨部材固定用粘着シート及び研磨部材積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下［１］～［８］の様態において前記課題を解決した。
【０００９】
［１］：基材層の両面に粘着層を具備し、少なくとも１つの粘着層に剥離紙が接する粘着シートであり、
前記剥離紙は、ＪＩＳＰ８１２４―２０１１で規定される坪量５０～２００ｇ／ｍ
２
の基紙の表面に、けん化度が９０モル％以上のポリビニルアルコール層を有する支持体からなり、前記支持体の表面に剥離層を有してなる研磨部材固定用粘着シート。
［２］：前記粘着層の少なくとも一方はエラストマー粘着層であり、エラストマー粘着層と剥離紙が接することを特徴とする［１］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［３］：前記エラストマー粘着層の表面について、直径５ｍｍのステンレス製円柱プローブ、２０ｇの錘を使用し、プローブ速度が１ｍ／分、プローブ接地時間が１ｓの条件で測定した際のプローブタック値が０．００２～０．０３Ｎである［２］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［４］：前記エラストマー粘着層は、エラストマー粘着剤からなり、エラストマー粘着剤は、エラストマーと粘着付与樹脂とを含有し、前記エラストマーが、スチレン含有率２０～４０％、かつジブロック含有率１５～７０％であるスチレンイソプレンブロック共重合体（Ａ）を含む［３］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［５］：前記粘着付与樹脂は、水酸基価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を含む［４］の研磨部材固定用粘着シート。
［６］：エラストマー１００質量部に対してテルペンフェノール樹脂（Ｂ）を２０～６０質量部含む［５］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［７］：前記テルペンフェノール樹脂（Ｂ）の軟化点が、８０～１７０℃である、［６］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［８］：前記粘着シートは、単板形態である場合の短辺の長さが２０００ｍｍ以上、または、ロール形態である場合の幅方向の長さが２０００ｍｍ以上である［１］～［７］記載の研磨部材固定用粘着シート。
［９］：［１］～［８］記載の研磨部材固定用粘着シートを、研磨部材に貼り合わせた、研磨部材積層体。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、高い粘着力と、研磨時に用いられる研磨液に対して、耐強アルカリ性・強酸性といった耐薬品性を有し、且つ、高湿環境で長期間保管された後においても上記の粘着力と耐薬品性を維持できる研磨部材固定用粘着シートを提供できる。加えて、大型の研磨装置への貼り付け性が良好な研磨部材固定用粘着シートを提供できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許