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公開番号2025097264
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-30
出願番号2024113850
出願日2024-07-17
発明の名称経路探索方法、経路探索装置および搬送システム
出願人セメス株式会社,SEMES CO., LTD.
代理人IBC一番町弁理士法人
主分類G05D 1/644 20240101AFI20250623BHJP(制御;調整)
要約【課題】バッテリを備えた搬送車の最適経路を決定できる経路探索方法が提供される。
【解決手段】経路探索方法は、バッテリを使用する搬送車の目的地を設定し、前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含み、算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定することを含む。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
バッテリを使用する搬送車の目的地を設定し、
前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含み、
算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定することを含む、経路探索方法。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記コスト関数の入力変数は、拠点の間の距離と、拠点の間の渋滞度をさらに含む、請求項１に記載の経路探索方法。
【請求項３】
第１拠点（Ａ）と第２拠点（Ｂ）の間の前記コスト関数は、ｃｏｓｔ（Ａ，Ｂ）＝α×（距離）＋β×（渋滞度）＋γ×（充放電量）であり、
前記αは距離変数に対する加重値であり、βは渋滞度変数に対する加重値であり、γは充放電量変数に対する加重値である、請求項２に記載の経路探索方法。
【請求項４】
前記コスト関数の加重値は、前記搬送車のバッテリの残量（ＳｏＣ，ＳｔａｔｅｏｆＣｈａｒｇｅ）をターゲット残量として維持するようにするマシンラーニング方法により決定された、請求項３に記載の経路探索方法。
【請求項５】
前記コスト関数の加重値は、前記搬送車の搬送時間を最小化し、かつ前記搬送車の残量を最大にするようにするマシンラーニング方法により決定された、請求項３に記載の経路探索方法。
【請求項６】
前記コスト関数を学習させるための学習データは、作業者がラインを運営する際に入力した加重値を含む、請求項１に記載の経路探索方法。
【請求項７】
前記コスト関数を学習させるための学習データは、シミュレーションによりランダムに変更された加重値を含む、請求項１に記載の経路探索方法。
【請求項８】
前記搬送車はレールに沿って移動し、
前記レールは電力を供給するパワーラインが設置された給電区間と、前記パワーラインが設置されていない非給電区間を含む、請求項１に記載の経路探索方法。
【請求項９】
バッテリを使用する搬送車の目的地を設定する目的地設定部；
前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含むコスト算出部；および
算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定する経路決定部を含む、経路探索装置。
【請求項１０】
前記コスト関数の入力変数は、拠点の間の距離と、拠点の間の渋滞度をさらに含む、請求項９に記載の経路探索装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は経路探索方法、経路探索装置および搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、基板は無人搬送システムにより移送されることができる。特に、無人搬送システムは、クリーンルームの天井または床に設置された走行レールに沿って移動可能なように構成された搬送車（例えば、ＯＨＴ（ＯｖｅｒｈｅａｄＨｏｉｓｔＴｒａｎｓｐｏｒｔ）、ＲＧＶ（ＲａｉｌＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）など）を含むことができる。搬送車の運行制御はＯＣＳ（ＯＨＴＣｏｎｔｒｏｌＳｅｒｖｅｒ）装置のような上位コントローラにより制御することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
搬送車は走行レールに設置されたパワーラインを通じて電力の供給を受けて移動することができる。搬送車は内部にバッテリを備えてパワーラインが設置されていない走行レールを移動するとき、バッテリに貯蔵されたエネルギを使用して移動することができる。
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、バッテリを備えた搬送車の最適経路を決定できる経路探索方法を提供することにある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、バッテリを備えた搬送車の最適経路を決定できる経路探索装置を提供することにある。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、バッテリを備えた搬送車の最適経路を決定できる搬送システムを提供することにある。
【０００７】
本発明の課題は以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を達成するための本発明のいくつかの実施形態による経路探索方法は、バッテリを使用する搬送車の目的地を設定し、前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含み、算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定することを含む。
【０００９】
前記他の課題を達成するための本発明のいくつかの実施形態による経路探索装置は、バッテリを使用する搬送車の目的地を設定する目的地設定部；前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含むコスト算出部；および算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定する経路決定部を含む。
【００１０】
前記また他の課題を達成するための本発明のいくつかの実施形態による搬送システムは、電力を供給するパワーラインが設置された給電区間と、前記パワーラインが設置されていない非給電区間を含むレール；前記レールに沿って移動し、前記パワーラインを通じて供給された電力を貯蔵するバッテリを備えた搬送車；および前記複数の搬送車を制御する上位コントローラを含み、前記上位コントローラは前記搬送車の目的地を設定し、前記目的地に到達するための拠点の間のコストを算出し、前記コストを算出するためのコスト関数の入力変数は拠点の間で発生する充放電量を含み、算出された前記コストに基づいて、前記目的地までの経路を決定する。
（【００１１】以降は省略されています）

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