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公開番号2025095551
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023211625
出願日2023-12-15
発明の名称硬化性組成物、それを用いた膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサ
出願人artience株式会社
代理人
主分類G03F 7/027 20060101AFI20250619BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】本発明は、密着性、膜耐性に優れ、保存後でも優れた現像性、線幅安定性を有する硬化性組成物の提供を目的とする。
【解決手段】上記課題は、アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、重合開始剤(C)、及び熱架橋性化合物(D)を含む硬化性組成物であって、
前記重合性化合物(B)が、2級アミン又は3級アミン構造を有する多官能ウレタン(メタ)アクリレート(B1)を含み、
前記熱架橋性化合物(D)が、ブロックイソシアネート基を有する化合物(D1)を含む硬化性組成物によって解決できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、及び熱架橋性化合物（Ｄ）を含む硬化性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、２級アミン又は３級アミン構造を有する多官能ウレタン（メタ）アクリレート（Ｂ１）を含み、
前記熱架橋性化合物（Ｄ）が、ブロックイソシアネート基を有する化合物（Ｄ１）を含む、硬化性組成物。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記２級アミン又は３級アミン構造を有する多官能ウレタン（メタ）アクリレート（Ｂ１）が、２級アミン又は３級アミン構造を有する脂肪族多官能ウレタン（メタ）アクリレート、及び２級アミン又は３級アミン構造を有する脂環式多官能ウレタン（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上を含む、請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項３】
前記重合性化合物（Ｂ）が、更に、前記２級又は３級アミン構造を有する多官能ウレタン（メタ）アクリレート（Ｂ１）以外の（メタ）アクリレート（Ｂ２）を含む、請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項４】
前記ブロックイソシアネート基を有する化合物（Ｄ１）のブロックイソシアネート基が、活性メチレン化合物で保護された構造である、請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項５】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、水酸基含有単量体単位（ａ１）を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を含む、請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項６】
更に、シランカップリング剤（Ｅ）を含む、請求項１に記載の硬化性組成物。
【請求項７】
請求項１～６のいずれか１項に記載の硬化性組成物から形成されてなる膜。
【請求項８】
請求項７に記載の膜を有する、光学フィルタ。
【請求項９】
請求項８に記載の光学フィルタを有する、固体撮像素子。
【請求項１０】
請求項８に記載の光学フィルタを有する、画像表示装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学フィルタ等の形成に使用する硬化性組成物に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
画像表示装置や固体撮像素子等に使用されている光学フィルタの１種であるカラーフィルタは、例えば、以下の工程を経て作製できる。硬化性組成物をガラス等の基板に塗工する工程（以下、塗工工程という）、乾燥によって塗膜から溶媒を除去する工程（以下、乾燥工程という）、前記塗膜を、所望するパターン形状を有するフォトマスクを介して紫外線を照射・硬化する工程（以下、露光工程という）、次いで、前記塗膜の未露光部を現像液で洗浄・除去する工程（以下、現像工程という）、その後、膜を十分に硬化させるために加熱処理する工程（以下、ポストベーク工程という）により１色目のパターンを得る。そして、必要に応じて、異なる色の硬化性組成物を用いて、同様の操作を行うことにより２色目以降のパターンを順次形成してカラーフィルタを作製する。
【０００３】
近年、画像表示装置や固体撮像素子の小型化・高画素化によって、パターンが微細になり形成の難易度が増大している。また、カラーフィルタの生産性を向上させるため、パターン形成に必要な積算露光量を減らすこと、及び環境負荷軽減のため、加熱温度を下げることが求められている。そのため、パターンの密着性や膜の耐性が問題になっている。更に、硬化性組成物を保管した場合、保管前と比較して、現像時間やパターンの幅が変わる問題もあった。
【０００４】
上記問題を解決するために、例えば、特許文献１には、低温加熱処理でも、現像残渣の発生を抑制し、且つパターン形状が良好な着色層を形成可能な感光性着色樹脂組成物として、色材と、アルカリ可溶性樹脂と、非反応性樹脂と、光重合性化合物と、光開始剤と、溶剤とを含有し、前記アルカリ可溶性樹脂は、酸価５０ｍｇＫＯＨ／ｇ超過であり、前記非反応性樹脂は、酸価が７ｍｇＫＯＨ／ｇ～５０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、メタクリル酸メチルに由来する構成単位の含有量が全構成単位中５０質量％～９９質量％であり、重量平均分子量が５０００～５００００である感光性着色樹脂組成物が開示されている。また、特許文献２には、優れた基板密着力、及び残膜率を有しながらも高感度の光硬化パターンの実現が可能な感光性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤とを含み、前記光重合開始剤が、特定構造の化合物を含む感光性樹脂組成物が開示されている。また、特許文献３には、充分な表面硬度を有し、かつ電気特性に優れる硬化物を与えることができる硬化性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂、２官能以上の多官能性化合物、並びにエポキシ基、オキセタニル基、及びブロックイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも１種の反応性官能基を有する化合物を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は、主鎖に環構造を有する重合体である硬化性樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０２２／２７０３５８号
特開２０１９－２００２２６号公報
特開２０１５－６７６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１～３に記載された組成物は、密着性、膜耐性が不足していた。また、組成物を保存した後の現像性やパターン幅については考慮されていない。
【０００７】
本発明は、密着性、膜耐性に優れ、保存後でも優れた現像性、線幅安定性を有する硬化性組成物の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、及び熱架橋性化合物（Ｄ）を含む硬化性組成物であって、
前記重合性化合物（Ｂ）が、２級アミン又は３級アミン構造を有する多官能ウレタン（メタ）アクリレート（Ｂ１）を含み、
前記熱架橋性化合物（Ｄ）が、ブロックイソシアネート基を有する化合物（Ｄ１）を含む硬化性組成物に関する。
【発明の効果】
【０００９】
上記の本発明によれば、密着性、膜耐性に優れ、保存後でも優れた現像性、線幅安定性を有する硬化性組成物を提供できる。また、本発明は、それを用いた膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置、及び赤外線センサを提供できる。なお、膜耐性とは、溶剤耐性である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本発明の光学フィルタを有する赤外線センサの概略断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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