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公開番号2025091841
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023207344
出願日2023-12-08
発明の名称検査システム、検査装置、検査方法および検査プログラム
出願人大塚電子株式会社
代理人弁理士法人ワンディ-IPパ-トナ-ズ
主分類G01B 21/30 20060101AFI20250612BHJP(測定;試験)
要約【課題】対象物の欠陥をより正確に検知する。
【解決手段】検査装置は、平面部分を有する対象物の面内における物性の分布の計測結果を取得する取得部と、前記取得部により取得された前記計測結果に基づいて、前記面内の複数の第1単位領域における前記物性の標準偏差または変動係数を算出し、前記標準偏差または前記変動係数の度数分布を作成する度数分布作成部と、前記度数分布作成部により作成された前記度数分布における一部の階級を抽出する抽出部とを備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
平面部分を有する対象物の面内における物性の分布の計測結果を取得する取得部と、
前記取得部により取得された前記計測結果に基づいて、前記面内の複数の第１単位領域における前記物性の標準偏差または変動係数を算出し、前記標準偏差の度数分布または前記変動係数の度数分布を作成する度数分布作成部と、
前記度数分布作成部により作成された前記度数分布における一部の階級を抽出する抽出部とを備える、検査システム。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記検査システムは、さらに、
前記抽出部により抽出された前記一部の階級の前記標準偏差の統計値または前記変動係数の統計値を算出する算出部を備える、請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記検査システムは、さらに、
前記抽出部により抽出された前記一部の階級に基づいて、前記面内における、前記一部の階級の前記標準偏差または前記変動係数の２次元分布を示す画像を作成し、作成した前記画像を表示する処理を行う画像表示部を備える、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項４】
前記抽出部は、互いに異なる複数の前記一部の階級を抽出する、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項５】
前記検査システムは、さらに、
前記第１単位領域のサイズの設定を受け付ける受付部を備え、
前記度数分布作成部は、前記受付部が受け付けたサイズの前記第１単位領域における前記物性の前記標準偏差または前記変動係数を算出する、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項６】
前記度数分布作成部は、サイズが異なる複数の前記第１単位領域にそれぞれ対応する複数の前記度数分布を作成する、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項７】
前記検査システムは、さらに、
前記物性の分布を、前記面内の複数の第２単位領域における前記物性の中央値または平均値の分布に変換するノイズ処理部を備え、
前記度数分布作成部は、前記ノイズ処理部により変換された前記中央値または前記平均値の分布に基づいて、前記標準偏差または前記変動係数を算出し、
前記第２単位領域のサイズは、前記第１単位領域のサイズ以下である、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項８】
前記度数分布作成部は、前記度数分布を示すヒストグラムを作成し、
前記検査システムは、さらに、
前記度数分布作成部により作成された前記ヒストグラムを表示する処理を行うヒストグラム表示部を備える、請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項９】
平面部分を有する対象物の面内における物性の分布の計測結果を取得する取得部と、
前記取得部により取得された前記計測結果に基づいて、前記面内の複数の第１単位領域における前記物性の標準偏差または変動係数のうちの、一部の数値範囲内の前記標準偏差または前記変動係数の２次元分布を示す画像を生成し、生成した前記画像を表示する処理を行う画像表示部とを備える、検査装置。
【請求項１０】
検査システムにおける検査方法であって、
平面部分を有する対象物の面内における物性の分布の計測結果を取得するステップ、
取得した前記計測結果に基づいて、前記面内の複数の第１単位領域における前記物性の標準偏差または変動係数を算出し、前記標準偏差の度数分布または前記変動係数の度数分布を作成するステップと、
作成した前記度数分布における一部の階級を抽出するステップとを含む、検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査システム、検査装置、検査方法および検査プログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、フィルム等の対象物を検査するための技術が開発されている。たとえば、特許文献１（特開２０２３－５５０３号公報）には、以下のような検査方法が開示されている。すなわち、検査方法は、連続的に搬送される長尺のフィルムにおける、欠陥の存在を検知する検査方法であって、前記フィルムにおける、前記欠陥に対応して変動する物性を、前記フィルムの面内のある方向Ｌ及び前記方向Ｌとは異なる面内の方向Ｗにわたる複数の測定点Ｐｏにおいて測定し、複数の前記測定点Ｐｏに係る複数組の測定データからなるデータ集合を取得する工程であって、前記測定データのそれぞれの組は、各々の前記測定点Ｐｏに係る、前記方向Ｌ及び前記方向Ｗに沿った座標情報及び前記物性の測定値の情報を含む、工程（Ｉ）、前記データ集合のデータを、前記フィルムの複数の領域Ｒに対応させて区分し、前記領域Ｒのそれぞれについてのデータのサブ集合を構成する工程（ＩＩ）、前記サブ集合のそれぞれについて、複数の前記測定点Ｐｏのうち前記フィルムの面内のある方向Ｃの一直線に沿って整列する測定点群ＰｏＣにおける前記測定値の算術平均値ＡｖＣを求め、前記方向Ｃとは異なる面内の方向Ｄに沿った、ある基準位置から前記測定点群ＰｏＣまでの距離ＤｓＤと、前記算術平均値ＡｖＣとの関係のプロファイルＥを構成する工程（ＩＩＩ）、及び前記プロファイルＥに基づいて、前記欠陥の存在を検知する工程（ＩＶ）を含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－５５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術を超えて、対象物の欠陥をより正確に検知することが可能な技術が望まれる。
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、その目的は、対象物の欠陥をより正確に検知することが可能な検査システム、検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる検査システムは、平面部分を有する対象物の面内における物性の分布の計測結果を取得する取得部と、前記取得部により取得された前記計測結果に基づいて、前記面内の複数の第１単位領域における前記物性の標準偏差または変動係数を算出し、前記標準偏差の度数分布または前記変動係数の度数分布を作成する度数分布作成部と、前記度数分布作成部により作成された前記度数分布における一部の階級を抽出する抽出部とを備える。
【０００７】
このように、対象物の面内の複数の第１単位領域における物性の標準偏差または変動係数の度数分布を作成し、度数分布における一部の階級を抽出する構成により、作成した度数分布に基づいて、たとえば正常な物性の標準偏差または変動係数を除く、欠陥に由来する物性の標準偏差または変動係数を抽出し、抽出した標準偏差または変動係数に基づいて、欠陥を正確に検知することができる。したがって、対象物の欠陥をより正確に検知することができる。
【０００８】
（２）上記（１）において、前記検査システムは、さらに、前記抽出部により抽出された前記一部の階級の前記標準偏差の統計値または前記変動係数の統計値を算出する算出部を備えてもよい。
【０００９】
このような構成により、対象物における欠陥の発生状態を、当該統計値を用いて規格化することができるので、当該統計値を用いて対象物における欠陥の発生状態を簡単に評価することができる。
【００１０】
（３）上記（１）または（２）において、前記検査システムは、さらに、前記抽出部により抽出された前記一部の階級に基づいて、前記面内における、前記一部の階級の前記標準偏差または前記変動係数の２次元分布を示す画像を作成し、作成した前記画像を表示する処理を行う画像表示部を備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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