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公開番号2025089850
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204763
出願日2023-12-04
発明の名称液体吐出装置、液体吐出方法、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250609BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】計測時間を増加させることなく、着弾位置の補正が可能な液体吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体吐出装置は、基板上に液体を供給する液体吐出装置であって、前記液体を前記基板に吐出する吐出部を有する吐出ユニットと、前記吐出ユニットを支持する本体部と、前記本体部の形状を計測する計測部と、前記計測部の計測値に基づいて、前記吐出部の吐出を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に液体を供給する液体吐出装置であって、
前記液体を前記基板に吐出する吐出部を有する吐出ユニットと、
前記吐出ユニットを支持する本体部と、
前記本体部の形状を計測する計測部と、
前記計測部の計測値に基づいて、前記吐出部の吐出を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記計測部は前記本体部の姿勢を計測することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記計測部は、前記吐出ユニットを支持する支持部材の形状を計測することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記計測部は、測長センサ、液面計、歪ゲージ、傾斜センサの何れかにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記計測部の前記計測値に基づいて、前記吐出部から前記液体を吐出するタイミングを制御することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記計測部の前記計測値に基づいて、前記吐出部から前記液体が吐出する速度を制御することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記計測部の前記計測値に基づいて、前記吐出部から前記液体を吐出するための電圧の波形を制御することを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記本体部に支持され、前記基板を保持し、前記吐出部に対して移動可能な基板ステージを有し、
前記制御部は、前記計測部の前記計測値に基づいて、前記基板ステージの位置を制御することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記吐出ユニットは、前記液体を前記基板に吐出する複数の前記吐出部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記本体部は、前記液体吐出装置が載置される設置面に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出方法、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、液体吐出装置を用いて機能素子の材料を付与してパターンを形成することが試みられている。
【０００３】
ところで、表示装置は様々な表示方式が提案されており、近年は有機ＥＬ素子を用いた表示装置の開発が盛んに進められている。有機ＥＬ材料は高価であるため、材料使用効率が良く大面積を高速に塗布できる液体吐出装置が用いられることが期待される。
液体吐出装置は、液体吐出ヘッドと相対移動する基板に対して、狙った位置に液体を着弾させるように調整された液体の飛翔速度と、液体吐出ヘッドと基板との相対位置に応じて液体の吐出タイミングを制御する。
【０００４】
しかし、装置の大型化によって、装置設置面が経時的に変形していく現象が生じうる。装置設置面が変形すると、本体構造体では変形および姿勢の変化が生じることにより、本体構造体に支持されているキャリッジに変形が生じ、それに伴いキャリッジに支持されている液体吐出ヘッドの吐出面に変形が生じうる。すなわち、液体吐出ヘッドと基板間の相対位置に変化が生じうるため、着弾位置精度が低下するという課題がある。
【０００５】
特許文献１には、液体吐出ヘッドと基板との距離を測定する距離測定手段と、測定された距離に応じて吐出パラメータを調整する手段とを備える液体吐出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特表２０２０－５１０５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、装置の大型化に対応するためには、吐出ヘッドと基板間の相対位置の計測に際して多くの計測点が必要となるため、計測時間が増大するという課題があった。
そこで本発明は、計測時間を増加させることなく着弾位置の補正が可能な液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
その目的を達成するために、本発明の一側面としての液体吐出装置は、基板上に液体を供給する液体吐出装置であって、前記液体を前記基板に吐出する吐出部を有する吐出ユニットと、前記吐出ユニットを支持する本体部と、前記本体部の形状を計測する計測部と、前記計測部の計測値に基づいて、前記吐出部の吐出を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、計測時間を増加させることなく着弾位置の補正が可能な液体吐出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態の液体吐出装置を示した図である。
第１実施形態の液体吐出装置のキャリッジを示した断面図である。
第１実施形態の液体吐出装置のキャリッジを示した上面図である。
図５～８に示す断面図の位置を示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置の本体構造体のねじれを示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置の本体フレームのねじれを示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置のキャリッジ構造体のねじれを示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置の液体吐出面のねじれを示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置の液体吐出面のねじれ時の断面図である。
第１実施形態の液体吐出装置の液体吐出面と基板間の高さ差による着弾位置ずれを示す図である
第１実施形態の液体吐出装置の液体吐出面ねじれ時の断面図である。
第１実施形態の液体吐出装置の液体吐出面と基板間の吐出角度差による着弾位置ずれを示す図である
第１実施形態の液体吐出装置の基板ステージを示す上面図である。
第１実施形態の液体吐出装置の本体構造体のねじれを示す図である。
第１実施形態の液体吐出装置の本体構造体のねじれを計測するセンサ配置を示す図である。
第２実施形態の液体吐出装置の本体構造体のねじれを計測するセンサ配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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