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公開番号2025080837
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-27
出願番号2023194164
出願日2023-11-15
発明の名称環境センサ用リッド及び環境センサ
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01L 19/14 20060101AFI20250520BHJP(測定;試験)
要約【課題】低コストでありかつ環境センサの防水性を向上させる環境センサ用リッドを提供する。
【解決手段】環境センサ用リッド30は、金属製のリッド本体31を備える。リッド本体31に、ガス通路35が設けられている。ガス通路35の長手方向に垂直なガス通路35の断面は、第1方向の第1長さLと、第1方向に垂直な第2方向の第2長さとによって規定される。第1長さLは、第2長さ以下であり、かつ、0.1mm以下である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
金属製のリッド本体を備え、
前記リッド本体に、ガス通路が設けられており、
前記ガス通路の長手方向に垂直な前記ガス通路の断面は、第１方向の第１長さと、前記第１方向に垂直な第２方向の第２長さとによって規定され、
前記第１長さは、前記第２長さ以下であり、かつ、０．１ｍｍ以下である、環境センサ用リッド。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記リッド本体は、金属板であり、
前記ガス通路は、前記金属板に設けられている少なくとも一つの貫通孔である、請求項１に記載の環境センサ用リッド。
【請求項３】
前記少なくとも一つの貫通孔を規定する前記金属板の表面上に形成されている撥水膜をさらに備える、請求項２に記載の環境センサ用リッド。
【請求項４】
前記リッド本体は、第１金属板と、前記第１金属板に積み重ねられている第２金属板とを含み、
前記第１金属板は、第１主面と、前記第１主面に接続されている第１側面とを含み、
前記第２金属板は、前記第１主面に対向する第２主面と、前記第２主面に接続されている第２側面とを含み、
前記第１主面に貫通孔が設けられており、
前記第１主面または前記第２主面の少なくとも一つに、凹部または粗面が形成されており、
前記凹部または前記粗面によって、前記第１主面と前記第２主面との間に前記ガス通路が形成されており、
前記ガス通路は、前記貫通孔に連通しており、かつ、前記第１側面または前記第２側面の少なくとも一つに接続されている、請求項１に記載の環境センサ用リッド。
【請求項５】
前記凹部または前記粗面上に形成されている撥水膜をさらに備える、請求項４に記載の環境センサ用リッド。
【請求項６】
ケースと、
環境センサチップと、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の前記環境センサ用リッドとを備え、
前記ケースに、収容空間と前記収容空間に連通する開口とが設けられており、
前記環境センサチップは、前記収容空間内に配置されており、
前記環境センサ用リッドは、前記開口を覆っており、
前記ガス通路は、前記収容空間に連通している、環境センサ。
【請求項７】
検出部を含む環境センサチップと、
前記環境センサチップに積み重ねられており、かつ、前記検出部を覆う環境センサ用リッドとを備え、
前記環境センサ用リッドは、金属製のリッド本体を含み、
前記リッド本体は、前記環境センサチップに対向する主面と、前記主面に接続されている側面とを含み、
前記主面に、凹部または粗面が形成されており、
前記凹部または前記粗面によって、前記環境センサチップと前記主面との間にガス通路が形成されており、
前記ガス通路は、前記検出部に連通しており、かつ、前記側面に接続されており、
前記凹部の深さまたは前記粗面の表面粗さは、０．１ｍｍ以下である、環境センサ。
【請求項８】
前記環境センサ用リッドは、前記凹部または前記粗面上に形成されている撥水膜を含む、請求項７に記載の環境センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、環境センサ用リッド及び環境センサに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２２－５６６９７号公報（特許文献１）は、ＭＥＭＳチップと、ＭＥＭＳチップを収容する筐体とを備える圧力センサを開示している。筐体は、蓋部を含む。蓋部に開口部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－５６６９７号公報［概要］
【０００４】
本開示の目的は、低コストでありかつ環境センサの防水性を向上させる環境センサ用リッドを提供することである。
【０００５】
本開示の環境センサ用リッドは、金属製のリッド本体を備える。リッド本体に、ガス通路が設けられている。ガス通路の長手方向に垂直なガス通路の断面は、第１方向の第１長さと、第１方向に垂直な第２方向の第２長さとによって規定される。第１長さは、第２長さ以下であり、かつ、０．１ｍｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、実施の形態１の環境センサの概略平面図である。
図２は、実施の形態１の環境センサの概略断面図である。
図３は、実施の形態１の環境センサが水中に浸漬された時の、環境センサ用リッドの概略部分拡大断面図である。
図４は、実施の形態１の変形例の環境センサの概略平面図である。
図５は、実施の形態１の変形例の環境センサの概略断面図である。
図６は、実施の形態２の環境センサの概略平面図である。
図７は、実施の形態２の環境センサの概略断面図である。
図８は、実施の形態２の環境センサが水中に浸漬された時の、環境センサ用リッドの概略部分拡大断面図である。
図９は、実施の形態２の環境センサが水中から取り出された後の、環境センサ用リッドの概略部分拡大断面図である。
図１０は、実施の形態３の環境センサの概略平面図である。
図１１は、実施の形態３の環境センサの概略断面図である。
図１２は、実施の形態３の環境センサの概略分解斜視図である。
図１３は、実施の形態３の環境センサが水中に浸漬された時の、環境センサ用リッドの概略部分拡大断面図である。
図１４は、実施の形態３の変形例の環境センサの概略断面図である。
図１５は、実施の形態３の変形例の環境センサ用リッドの概略平面図である。
図１６は、実施の形態３の別の変形例の環境センサ用リッドの概略背面図である。
図１７は、実施の形態４の環境センサの概略断面図である。
図１８は、実施の形態４の環境センサの概略分解斜視図である。
図１９は、実施の形態４の変形例の環境センサの概略断面図である。
図２０は、実施の形態４の別の変形例の環境センサ用リッドの概略背面図である。
図２１は、実施の形態５の環境センサの概略斜視図である。
図２２は、実施の形態５の環境センサの、図２１に示される断面線ＸＸＩＩ－ＸＸＩＩにおける概略断面図である。
図２３は、実施の形態５の環境センサの、図２１に示される断面線ＸＸＩＩＩ－ＸＸＩＩＩにおける概略断面図である。
図２４は、実施の形態５の変形例の環境センサの概略断面図である。
図２５は、実施の形態５の別の変形例の一例の環境センサ用リッドの概略背面図である。
図２６は、実施の形態５の別の変形例の別の例の環境センサ用リッドの概略背面図である。［詳細な説明］
【０００７】
図面に基づいて本開示の実施の形態の詳細について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。以下に記載する実施の形態の少なくとも一部の構成を任意に組み合わせてもよい。
【０００８】
（実施の形態１）
【０００９】
図１及び図２を参照して、実施の形態１の環境センサ１を説明する。環境センサ１は、ケース１０と、環境センサチップ２３と、環境センサ用リッド３０とを主に備える。環境センサ１は、半導体チップ２０と、バンプ２１と、導電ワイヤ２６と、封止部材２８とをさらに備えてもよい。
【００１０】
ケース１０は、例えば、セラミックで形成されている。ケース１０は、ベース部１１と、側壁１２とを含む。ケース１０は、外部接続パッド１６と、内部接続パッド１７，１８と、金属層４５とをさらに含んでもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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