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公開番号2025080395
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193505
出願日2023-11-14
発明の名称慣性センサーおよび慣性計測装置
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01P 15/08 20060101AFI20250519BHJP(測定;試験)
要約【課題】スティッキングの欠損を抑制できる慣性センサーを提供すること。
【解決手段】慣性センサー100は、支持基板10と、支持基板10の主面17に設けられた第1固定電極11および第2固定電極12と、第1固定電極11および第2固定電極12に対して揺動可能に設けられた可動体20と、主面17に設けられた突起15と、を備え、突起15は、頂部15pに平坦面f1を有し、根元部15rに主面17に連続する凹状曲面c1を有する。
【選択図】図3A
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板の第１面に設けられた固定電極と、
前記固定電極に対して揺動可能に設けられた可動体と、
前記第１面に設けられた突起と、を備え、
前記突起は、頂部に平坦面を有し、根元部に前記第１面に連続する凹状曲面を有する、
慣性センサー。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記平坦面の平面形状は、円形または楕円形である、
請求項１に記載の慣性センサー。
【請求項３】
前記突起の表面に設けられ、前記可動体と同電位とされる被覆電極と、を備える、
請求項１に記載の慣性センサー。
【請求項４】
前記可動体は貫通孔を有し、前記平坦面の直径は、前記貫通孔の内径と比べて小さい、
請求項１に記載の慣性センサー。
【請求項５】
前記突起は、前記凹状曲面を含むテーパー部と、前記頂部と前記テーパー部との間の角部とを有する、
請求項１に記載の慣性センサー。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の慣性センサーを備えた慣性計測装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性センサーおよび当該慣性センサーを備えた慣性計測装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いた慣性センサーが開発されている。このような慣性センサーとして特許文献１には、Ｚ軸方向の加速度を検出する慣性センサーが記載されている。
特許文献１に記載の慣性センサーは、基板に対して揺動可能に設けられた可動体と、基板から可動体側に突出して設けられた突起と、突起に設けられ、可動体と同電位の被覆電極を有する。突起は、可動体の過度の揺動を規制するストッパーである。突起は、可動体が過度に揺動した際に、可動体が突起に接触することによって、可動体のそれ以上の変位を規制する。被覆電極は、可動体が突起に接触した際に、可動体が突起に貼り付いてしまう現象、所謂、スティッキングの発生を抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－２１６７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の慣性センサーによっても、スティッキングの発生を完全に抑制することは難しく、スティッキングの抑制について、さらなる改善が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の一態様に係る慣性センサーは、基板と、前記基板の第１面に設けられた固定電極と、前記固定電極に対して揺動可能に設けられた可動体と、前記第１面に設けられた突起と、を備え、前記突起は、頂部に平坦面を有し、根元部に前記第１面に連続する凹状曲面を有する。
【０００６】
本願の一態様に係る慣性計測装置は、上記に記載の慣性センサーを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態１に係る慣性センサーの平面図。
図１のＡ－Ａ線に沿う慣性センサーの断面図。
図１のＢ－Ｂ線に沿う慣性センサーの断面図。
図２Ａの範囲IIIに係る突起の拡大断面図。
図３Ａに対応する拡大平面図。
慣性センサーの製造工程を説明するフローチャート。
図４のステップＳ１の詳細を示すフローチャート。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す平面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
製造過程における一態様を示す断面図。
変形例に係る突起の拡大平面図。
慣性計測装置の概略構成を示す分解斜視図。
慣性センサーが実装された基板の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の実施形態において、各図面に示される構成要素は、見やすくするために、寸法の縮尺を異ならせて示されることがある。
図面には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸の３軸が図示されることがある。以下の説明において、３軸の矢印の先端側は「プラス側」、矢印の基端側は「マイナス側」と記述されることがある。Ｘ軸に平行な方向は「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向は「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向は「Ｚ軸方向」と記述されることがある。Ｚ軸方向に見ることは「平面視」、Ｚ軸を含む断面に対してＹ軸方向から見ることは「断面視」と記述されることがある。
【０００９】
以下の説明において、例えば、基板に対して、「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表す。ある構成の上面との記載は、当該構成のＺ軸方向プラス側の面、例えば「突起の上面」は、突起のＺ軸方向プラス側の面、を示すものとする。ある構成の下面との記載は、当該構成のＺ軸方向マイナス側の面、例えば「可動体の下面」は可動体のＺ軸方向マイナス側の面、を示すものとする。
【００１０】
１．実施形態１
図１、図２Ａ、および図２Ｂは、本実施形態に係る慣性センサー１００の概略構成を示す。図１は、実施形態１に係る慣性センサー１００を模式的に示す平面図であり、説明の便宜上、蓋体３０の図示が省略されている。図２Ａは、図１におけるＡ－Ａ線での断面図である。図２Ｂは、図１におけるＢ－Ｂ線での断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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