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公開番号2025070327
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180560
出願日2023-10-19
発明の名称基板搬送ロボットシステム
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板載置場所の教示位置の補正に伴う部品点数の増加や装置構成の複雑化を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボットシステム100は、基板搬送室20に基板搬送ロボット10とは別個に設けられハンド13に保持される基板Wまたは基板型治具WTの位置を検出するためのアライナ50と、基板搬送ロボット10によりアライナ50およびロードポート30に載置された基板Wのアライナ50による検出位置に基づいて、アライナ50およびロードポート30の教示位置TPを補正する主制御部60と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するハンドを含む基板搬送ロボットと、
教示位置に基づいて前記基板搬送ロボットの動作を制御するロボット動作制御部と、
前記基板搬送ロボットが配置され前記基板搬送ロボットによる前記基板の搬送が行われる基板搬送室と、
前記基板搬送室に前記基板搬送ロボットとは別個に設けられ前記ハンドに保持される前記基板または基板型治具の位置を検出するための位置検出装置と、
前記基板搬送ロボットにより基板載置場所に載置された前記基板または前記基板型治具の前記位置検出装置による検出位置、または、前記基板搬送ロボットにより前記基板載置場所から保持した前記基板または前記基板型治具の前記位置検出装置による検出位置に基づいて、前記基板載置場所の前記教示位置を補正する教示位置補正制御部と、を備える、基板搬送ロボットシステム。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記位置検出装置は、前記基板または前記基板型治具のアライメントおよび偏心の補正の少なくとも一方を行うための前記基板載置場所としてのアライナを含み、
前記基板が収容される前記基板載置場所としての複数の収容室を備え、
前記教示位置補正制御部は、前記基板搬送ロボットにより前記アライナに載置された前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置、および、前記複数の収容室の各々の前記教示位置のうちの少なくとも一方を補正する、請求項１に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項３】
前記教示位置補正制御部は、前記基板搬送ロボットにより前記アライナに載置された前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置、および、前記複数の収容室の各々の前記教示位置の両方を補正する、請求項２に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項４】
前記教示位置補正制御部は、前記基板搬送ロボットにより前記アライナに載置された前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置を補正した後、補正された前記アライナの前記教示位置に基づいて、前記複数の収容室の各々の前記教示位置を補正する、請求項３に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項５】
前記教示位置補正制御部は、
前記基板または前記基板型治具が前記ハンドにおける予め設定された設定位置に保持されている場合に、前記アライナにより偏心の補正が行われた後の前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置を補正し、
前記基板または前記基板型治具が前記ハンドにおける予め設定された設定位置に保持されていない場合に、前記アライナにより偏心の補正が行われるとともに、前記ハンドによるアクセス方向を変更して前記アライナに載置された後の前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置を補正する、請求項２に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項６】
前記位置検出装置は、前記基板または前記基板型治具を撮像するためのカメラを含み、
前記教示位置補正制御部は、前記基板または前記基板型治具が前記ハンドにおける予め設定された設定位置に保持されていない場合に、前記カメラにより検出された前記基板または前記基板型治具と前記ハンドとの相対位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置を補正する、請求項５に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項７】
前記ハンドが前記基板または前記基板型治具を掴むことにより強制的に予め設定された設定位置に保持可能なエッジグリップ型であるものの前記基板または前記基板型治具を掴まずに保持されていることにより、前記基板または前記基板型治具が前記ハンドにおける予め設定された設定位置に保持されていない、請求項５に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項８】
前記教示位置補正制御部は、前記基板搬送ロボットにより搬送される際に前記ハンドに対する前記基板または前記基板型治具の位置が保持され、かつ、前記基板搬送ロボットにより前記アライナに載置された前記基板または前記基板型治具の前記アライナによる検出位置に基づいて、前記アライナの前記教示位置を補正する、請求項２に記載の基板搬送ロボットシステム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットシステムに関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、教示位置に基づいて基板搬送ロボットの動作を制御する制御部を備える基板搬送ロボットシステムが知られている。たとえば、特許文献１には、教示位置にエンドエフェクタが配置されるように動作指示を搬送ロボットに出力する制御部を備える基板搬送ロボットシステムが開示されている。特許文献１の基板搬送ロボットシステムでは、大気搬送ロボットとロードポートとアライナとの位置合わせを行う際に、エンドエフェクタおよび搬送対象物の少なくとも一方に設けられたセンサおよびカメラの少なくとも一方が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１３２０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されている基板搬送ロボットシステムでは、大気搬送ロボットとロードポートとアライナとの位置合わせを行うために、エンドエフェクタおよび搬送対象物の少なくとも一方にセンサおよびカメラの少なくとも一方を設ける必要がある。すなわち、ロードポート、アライナ等の基板載置場所の教示位置を補正するために、エンドエフェクタおよび搬送対象物の少なくとも一方にセンサおよびカメラの少なくとも一方を別途設ける必要があるので、部品点数が増加してしまうとともに装置構成が複雑化してしまう。このため、基板載置場所の教示位置の補正に伴う部品点数の増加や装置構成の複雑化を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板載置場所の教示位置の補正に伴う部品点数の増加や装置構成の複雑化を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この開示の一の局面による基板搬送ロボットシステムは、基板を保持するハンドを含む基板搬送ロボットと、教示位置に基づいて基板搬送ロボットの動作を制御するロボット動作制御部と、基板搬送ロボットが配置され基板搬送ロボットによる基板の搬送が行われる基板搬送室と、基板搬送室に基板搬送ロボットとは別個に設けられハンドに保持される基板または基板型治具の位置を検出するための位置検出装置と、基板搬送ロボットにより基板載置場所に載置された基板または基板型治具の位置検出装置による検出位置、または、基板搬送ロボットにより基板載置場所から保持した基板または基板型治具の位置検出装置による検出位置に基づいて、基板載置場所の教示位置を補正する教示位置補正制御部と、を備える。
【０００７】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットシステムは、上記のように、基板搬送室に基板搬送ロボットとは別個に設けられハンドに保持される基板または基板型治具の位置を検出する位置検出装置と、基板搬送ロボットにより基板載置場所に載置された基板または基板型治具の位置検出装置による検出位置、または、基板搬送ロボットにより基板載置場所から保持した基板または基板型治具の位置検出装置による検出位置に基づいて、基板載置場所の教示位置を補正する教示位置補正制御部と、を備える。これにより、位置検出装置により検出された基板または基板型治具の検出位置に基づいて、基板載置場所の教示位置を補正することができる。なお、基板搬送ロボットシステムは、基板搬送室において基板または基板型治具の位置を検出する必要があるため、ハンドに保持される基板または基板型治具の位置を検出するための位置検出装置を備えることが一般的である。したがって、基板載置場所の教示位置を補正するために、ハンド、基板および基板型治具の少なくともいずれかに、センサおよびカメラの少なくとも一方を別途設ける必要がない。その結果、基板載置場所の教示位置の補正に伴う部品点数の増加や装置構成の複雑化を抑制することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、上記のように、基板載置場所の教示位置の補正に伴う部品点数の増加や装置構成の複雑化を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の一実施形態による基板搬送ロボットシステムを示した平面図である。
本開示の一実施形態による基板搬送ロボットシステムの制御系の構成を示したブロック図である。
本開示の一実施形態による基板搬送ロボットシステムにおける教示位置の補正のフロー図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板をアライナに最初に載置する様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板をアライナに最初に載置した後、ハンドをアライナから退避させる様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板とアライナとの偏心分だけハンドをずらして基板を取りに行く様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板とアライナとの偏心分だけハンドをずらして基板を取った後、ハンドをアライナから退避させる様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板とアライナとの偏心分だけハンドをずらして基板を取ってハンドをアライナから退避させた後、ハンドをずらした分を基に戻して基板をアライナに載置した様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正する際に、基板とアライナとの偏心分だけハンドをずらして基板を取ってハンドをアライナから退避させた後、ハンドをずらした分を基に戻すとともにアライナへのアクセス方向を変更して基板をアライナに載置した様子を示した平面図である。
アライナの教示位置を補正した後、基板をアライナに最初に載置する様子を示した平面図である。
ロードポートの教示位置を補正する際に、基板をアライナに最初に載置する様子を示した平面図である。
ロードポートの教示位置を補正する際に、基板とアライナとの偏心分だけハンドをずらして基板を取ってハンドをアライナから退避させた後、ハンドをずらした分を基に戻して基板をアライナに載置した様子を示した平面図である。
本開示の第１変形例による基板搬送ロボットシステムの制御系の構成を示したブロック図である。
本開示の第２変形例による基板搬送ロボットシステムを示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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