特許ウォッチ

公開番号2025082996
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2023196604
出願日2023-11-20
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250523BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空環境下にセンサや信号線を配することなくハンド上のワークの存否を検知することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】支持テーブル1と、当該支持テーブル1上で水平直線方向に進退移動可能に案内支持され、板状ワークW1,W2を載置可能なハンド2と、ハンド2を進退駆動する駆動機構4と、を備え、真空環境下に配置される搬送装置A1,A2,A3であって、支持テーブル1には、内部空間が大気に導通し、上部に透光窓51を有する密閉容器5と、当該密閉容器5内に収容され、透光窓51を経た上方における検出可能距離H1,H2が選択可能であり、当該検出可能距離H1,H2における物体の存否を検出可能な光学センサ6A,6Bと、が設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持テーブルと、上記支持テーブル上で水平直線方向に進退移動可能に案内支持され、板状ワークを載置可能なハンドと、上記ハンドを進退駆動する駆動機構と、を備え、真空環境下に配置される搬送装置であって、
上記支持テーブルには、内部空間が大気に導通し、上部に透光窓を有する密閉容器と、当該密閉容器内に収容され、上記透光窓を経た上方における検出可能距離が選択可能であり、当該検出可能距離における物体の存否を検出可能な光学センサと、が設けられていることを特徴とする、搬送装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
上記ハンドは、当該ハンドの移動方向に並ぶ複数枚の板状ワークを載置可能であり、上記密閉容器および上記光学センサの組は、上記複数枚の板状ワークに対応して複数組設けられている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記ハンドは、互いに独立して進退移動可能で上下に並ぶ上位ハンドと下位ハンドとからなり、上記光学センサは、上記上位ハンドに載る物体の存否を検出するための第１の光学センサと、上記下位ハンドに載る物体の存否を検出するための第２の光学センサとを含んでいる、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記ハンドは、当該ハンドの移動方向に延び、上記板状ワークが載置される複数のホーク爪を有しており、上記密閉容器と上記光学センサの組は、平面視において上記複数のホーク爪と重ならない位置に設けられている、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
上記駆動機構は、ベルト駆動機構である、請求項１に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板等の板状ワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置の一例として、特許文献１に記載されたものがある。同文献に記載された搬送装置は、支持テーブルに設けたリニアガイド機構により、ハンドを水平直線方向に移動可能に支持し、ハンドをベルト駆動機構により進退駆動するように構成されている。支持テーブルは通常、昇降および旋回が可能となっている。
【０００３】
この種の搬送装置は、真空かつ高温環境下において、板状ワークを前工程の処理室から受け取り、次工程の処理室へ搬入するといった搬送を行う等のために用いられる。この場合、ハンドに板状ワークが載せられているべき時点において、板状ワークが正しくハンドに載せられているか否かを確認することが、板状ワークに対する一連の工程を円滑に行う上で重要である。
【０００４】
特許文献１に記載された搬送装置においては、ハンドに近接センサ等のセンサを配置する構成を採用しているが、真空環境に晒されるハンドにセンサを配置し、信号線を介して大気環境下にある制御部に信号を導く構成をとりつつ安定的な作動を保障するには、種々の困難を伴う。なお、最近では、板状ワークを複数枚１つのハンドに載せて搬送し、板状ワークに対する一連の工程の更なる効率化を図ろうとする動きがみられるが、この場合、複数枚の板状ワークが正しく１つのハンドに載せられているかどうかの確認は、より一層重要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－６５０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、直線方向に進退動させられるハンドに載せて板状ワークを搬送する搬送装置において、真空環境下にセンサや信号線を配することなくハンド上のワークの存否を検知することができるように構成することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００８】
本発明により提供される搬送装置は、支持テーブルと、上記支持テーブル上で水平直線方向に進退移動可能に案内支持され、板状ワークを載置可能なハンドと、上記ハンドを進退駆動する駆動機構と、を備え、真空環境下に配置される搬送装置であって、上記支持テーブルには、内部空間が大気に導通し、上部に透光窓を有する密閉容器と、当該密閉容器内に収容され、上記透光窓を経た上方における検出可能距離が選択可能であり、当該検出可能距離における物体の存否を検出可能な光学センサと、が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
好ましい実施の形態では、上記ハンドは、当該ハンドの移動方向に並ぶ複数枚の板状ワークを載置可能であり、上記密閉容器および上記光学センサの組は、上記複数枚の板状ワークに対応して複数組設けられている。
【００１０】
好ましい実施の形態では、上記ハンドは、互いに独立して進退移動可能で上下に並ぶ上位ハンドと下位ハンドとからなり、上記光学センサは、上記上位ハンドに載る物体の存否を検出するための第１の光学センサと、上記下位ハンドに載る物体の存否を検出するための第２の光学センサとを含んでいる。
（【００１１】以降は省略されています）

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