特許ウォッチ

公開番号2025117181
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024011905
出願日2024-01-30
発明の名称フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250804BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送ロボットが配置されているチャンバの開口部に対して、当該搬送ロボットにおいてワークを保持する保持部の先端を適切に進入させることによって、当該開口部近傍での衝突を未然に防止することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することである。
【解決手段】フラットパネル製造システム1は、第1チャンバTCと第2チャンバPCとの間に配置される目印41,42と、搬送ロボット20の保持部22に配置されるセンサ装置30と、保持部22を第1チャンバTCの開口部50に進入させる場合、センサ装置30によって目印41,42を検知する検知手段120と、目印41,42の検知状況に基づいて、保持部22を開口部50に進入させるか否かを判定する進入判定手段140と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、
前記第１チャンバの開口部に対応するように前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間に配置される目印と、
前記ワークを保持する前記搬送ロボットの保持部に配置されるセンサ装置と、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記第１チャンバから前記第２チャンバに向かって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記第１チャンバの開口部に進入させる場合、前記センサ装置によって前記目印を検知する検知手段と、
前記検知手段による前記目印の検知状況に基づいて、前記搬送ロボットの保持部を前記第１チャンバの開口部に進入させるか否かを判定する進入判定手段と、を備える、
フラットパネル製造システム。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記ロボット制御手段は、
前記進入判定手段によって進入させると判定された場合、前記搬送ロボットの保持部を前記第１チャンバの開口部に進入させ、
前記進入判定手段によって進入させないと判定された場合、傾き異常として前記搬送ロボットを停止させる、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項３】
前記検知手段によって検知された目印に基づいて、前記搬送ロボットの保持部が前記第１チャンバの開口部に進入する進入方向と、前記開口部との傾きを算出する傾き算出手段を、さらに備え、
前記進入判定手段は、前記傾き算出手段によって算出された傾きに基づいて、前記搬送ロボットの保持部を前記第１チャンバの開口部に進入させるか否かを判定する、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項４】
前記進入判定手段は、
前記傾きが閾値未満である場合、前記ロボット制御手段によって前記第１チャンバから前記第２チャンバに向かって前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記第１チャンバの開口部に進入させ、
前記傾きが閾値以上である場合、前記搬送ロボットの保持部の進入方向が変更されるように、前記ロボット制御手段によって前記搬送ロボットを動作させる、
請求項３に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項５】
前記目印は、前記第１チャンバ内に配置されている、
請求項１に記載のフラットパネル製造システム。
【請求項６】
フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムに用いられる搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、
前記搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、
前記搬送ロボットが配置されている第１チャンバから当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバに向かって、前記ロボット制御手段によって、ワークを保持する前記搬送ロボットの保持部を動作させて前記第１チャンバの開口部に進入させる場合、前記搬送ロボットの保持部に配置されるセンサ装置によって、前記第１チャンバの開口部に対応するように前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間に配置される目印を検知する検知手段と、
前記検知手段による前記目印の検知状況に基づいて、前記搬送ロボットの保持部を前記第１チャンバの開口部に進入させるか否かを判定する進入判定手段と、を備える、
ロボット制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、産業界において、多くの産業用ロボットが普及している。例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）を含む大型のフラットパネル用のガラス基板に対して処理を行うための大型の製造システムがある。
【０００３】
このような大型の製造システムでは、ガラス基板などのワークに対して種々の処理を行うために、各処理に対応するプロセスチャンバが複数配置されている。さらに、搬送ロボット（搬送装置）がトランスファチャンバに配置されており、当該搬送ロボット（搬送装置）によって、各プロセスチャンバにおける所望の位置へワークが搬送される。
【０００４】
特許文献１では、搬送装置は、支持ピックの先端に光学センサを備えて、搬送室において当該支持ピックを上方移動させながら先端方向に光を照射することによって、搬送室とロードロック室との間の開口部の上端位置を特定している。また、ロードロック室において、支持ピックを上方移動／回転移動させながら先端方向／下方向に光を照射することによって、バッファ（溝）の上端位置／側壁位置を特定している。そして、特定された開口部の上端位置やバッファ（溝）の上端位置／側壁位置に基づいて、搬送装置の動作が補正される。このように、特許文献１では、搬送装置の動作位置に関する調整を自動的に行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－２２０５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、搬送室とロードロック室との間の開口部の上端位置を特定しているものの、開口部の横方向（幅方向）と搬送装置との位置関係については考慮されていない。
【０００７】
そこで、本発明は、搬送ロボットが配置されているチャンバの開口部に対して、当該搬送ロボットにおいてワークを保持する保持部の先端を適切に進入させることによって、当該開口部近傍での衝突を未然に防止することができるフラットパネル製造システム及びそれに用いられるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係るフラットパネル製造システムは、ワークを搬送する搬送ロボットと、当該搬送ロボットが配置されている第１チャンバと、当該第１チャンバの開口部に対向するように当該第１チャンバに隣接して配置される第２チャンバとを備え、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムであって、第１チャンバの開口部に対応するように第１チャンバと前記第２チャンバとの間に配置される目印と、ワークを保持する搬送ロボットの保持部に配置されるセンサ装置と、搬送ロボットの動作を制御するロボット制御手段と、ロボット制御手段によって第１チャンバから第２チャンバに向かって搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバの開口部に進入させる場合、センサ装置によって目印を検知する検知手段と、検知手段による前記目印の検知状況に基づいて、搬送ロボットの保持部を第１チャンバの開口部に進入させるか否かを判定する進入判定手段と、を備える。
【０００９】
この態様によれば、第１チャンバの開口部に対応するように第１チャンバと第２チャンバとの間に目印が配置され、ワークを保持する搬送ロボットの保持部にセンサ装置が配置されている。検知手段は、第１チャンバから第２チャンバに向かって搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバの開口部に進入させる場合、センサ装置によって目印を検知し、その目印の検知状況に基づいて、搬送ロボットの保持部を第１チャンバの開口部に進入させるか否かを判定する。これにより、第１チャンバから第２チャンバに向かって搬送ロボットの保持部を動作させて第１チャンバの開口部に進入させる場合、進入させるか否かを適切に判定して、開口部近傍での衝突を未然に防止することができる。
【００１０】
上記態様において、ロボット制御手段は、進入判定手段によって進入させると判定された場合、搬送ロボットの保持部を第１チャンバの開口部に進入させ、進入判定手段によって進入させないと判定された場合、傾き異常として搬送ロボットを停止させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許