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公開番号2025068088
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-24
出願番号2025025880,2024569376
出願日2025-02-20,2024-03-04
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01M 11/00 20060101AFI20250417BHJP(測定;試験)
要約【課題】フォトニック集積回路から出力される光の情報を取得することにより、フォトニック集積回路を適切に検査すること。
【解決手段】検査装置1は、IC100を保持するステージ10と、PIC100の動作を制御するPICコントローラ20と、所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、導波路108によって導光されて少なくとも1つの光出力部102から出力された光を、透過特性に基づいて透過及び反射するLRGダイクロイックミラー61と、LRGダイクロイックミラー61を透過した光を撮像して透過画像を出力する第1カメラ62と、LRGダイクロイックミラー61によって反射された光を撮像して反射画像を出力する第2カメラ63と、透過画像及び反射画像に基づいて、光出力部102から出力された光の波長情報を導出する第1処理を実行するコンピュータ70と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査装置であって、
前記フォトニック集積回路を保持するステージと、
前記フォトニック集積回路の動作を制御する制御部と、
所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、前記導波路によって導光されて前記少なくとも１つの光出力部から出力された光を、前記透過特性に基づいて透過及び反射する光学フィルタと、
前記光学フィルタを透過した光を撮像して第１の画像データを出力する第１のイメージセンサと、
前記光学フィルタによって反射された光を撮像して第２の画像データを出力する第２のイメージセンサと、
前記第１の画像データ及び前記第２の画像データに基づいて、前記光出力部から出力された光の波長情報を導出する第１処理を実行する解析部と、を備える検査装置。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査方法であって、
前記フォトニック集積回路の動作を制御することと、
所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有する光学フィルタによって、前記導波路によって導光されて前記少なくとも１つの光出力部から出力された光を、前記透過特性に基づいて透過及び反射することと、
前記光学フィルタを透過した光を撮像して第１の画像データを出力することと、
前記光学フィルタによって反射された光を撮像して第２の画像データを出力することと、
前記第１の画像データ及び前記第２の画像データに基づいて、前記光出力部から出力された光の波長情報を導出することと、を含む検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、フォトニック集積回路（ＰＩＣ：Photonic IC）の開発が進んでいる。フォトニック集積回路は、様々な光学的な機能を統合したデバイスであり、光によって情報信号を伝達する。フォトニック集積回路を検査する方法として、フォトニック集積回路内の導波路における欠陥によって散乱された赤外光を撮像し、該撮像画像をディスプレイに表示して欠陥の空間的な位置を把握する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－５８０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した検査方法では、撮像画像から欠陥の空間的な位置が把握されるものの、フォトニック集積回路から出力される光の情報（例えば波長情報）を得ることができない。このため、フォトニック集積回路について適切な検査を行うことができない場合がある。
【０００５】
本開示は上記実情に鑑みてなされたものであり、フォトニック集積回路から出力される光の情報を取得することにより、フォトニック集積回路を適切に検査することができる検査装置及び検査方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係る検査装置は、［１］「少なくとも１つの光出力部及び導波路を有するフォトニック集積回路を検査する検査装置であって、フォトニック集積回路を保持するステージと、フォトニック集積回路の動作を制御する制御部と、所定の波長域において透過率が線形に変化する透過特性を有し、導波路によって導光されて少なくとも１つの光出力部から出力された光を、透過特性に基づいて透過及び反射する光学フィルタと、光学フィルタを透過した光を撮像して第１の画像データを出力する第１のイメージセンサと、光学フィルタによって反射された光を撮像して第２の画像データを出力する第２のイメージセンサと、第１の画像データ及び第２の画像データに基づいて、光出力部から出力された光の波長情報を導出する第１処理を実行する解析部と、を備える、検査装置」である。
【０００７】
本開示の一態様に係る検査装置では、フォトニック集積回路の光出力部から出力された光が、光学フィルタによって、波長に応じて透過及び反射される。そして、透過した光を撮像した第１の画像データ、及び、反射された光を撮像した第２の画像データに基づいて、光出力部から出力された光の波長情報が導出される。このように、本開示の一態様に係る検査装置においては、光学フィルタが用いられて波長に応じて光が透過及び反射されているので、第１の画像データ及び第２の画像データは、光の波長に応じた画像データとなる。このような画像データから光の波長情報が導出されることにより、高精度に光の波長情報を取得することができる。以上のように、本発明の一態様に係る検査装置によれば、フォトニック集積回路から出力される光の情報（具体的には波長情報）を取得することができ、その結果、該波長情報を用いてフォトニック集積回路を適切に検査することができる。
【０００８】
本開示の一態様に係る検査装置は、［２］「フォトニック集積回路は、複数の光出力部を有し、光学フィルタは、複数の光出力部から出力された各光を、透過特性に基づいて透過及び反射する、［１］記載の検査装置」であってもよい。このような構成によれば、空間的に互いに異なる位置に設けられた複数の光出力部からの光の波長情報が一括して取得され、フォトニック集積回路をより迅速且つ適切に検査することができる。
【０００９】
本開示の一態様に係る検査装置は、［３］「制御部は、フォトニック集積回路の少なくとも一部の温度を制御する、［１］又は［２］記載の検査装置」であってもよい。このようにフォトニック集積回路の温度が制御されることにより、フォトニック集積回路の導波路の特性が制御され、例えば、光出力部から出力される光の波長を調整することができる。このことで、光の波長の条件を容易に変更しながらフォトニック集積回路を適切に検査することができる。
【００１０】
本開示の一態様に係る検査装置は、［４］「フォトニック集積回路は、少なくとも１つの光入力部を有し、光学フィルタは、光入力部から入力され、導波路によって導光されて光出力部から出力された光を、透過特性に基づいて透過及び反射する、［１］～［３］のいずれか一つに記載の検査装置」であってもよい。このような構成によれば、フォトニック集積回路の光入力部から入力されて導波路を経て光出力部から出力される光について、波長情報を適切に取得することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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