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公開番号2025068069
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-24
出願番号2025025328,2024016356
出願日2025-02-19,2020-12-23
発明の名称圧力センサ
出願人株式会社鷺宮製作所
代理人弁理士法人谷・阿部特許事務所
主分類G01L 19/06 20060101AFI20250417BHJP(測定;試験)
要約【課題】圧力センサにおいて、センサチップの信号処理電子回路部に対する不所望な電界を遮断するためにシールド部材を液封室内に設け、しかも、液封室内に充填されるシリコーンオイルの容積をさらに減少させることができる。
【解決手段】圧力検出素子と、液封室と、ダイヤフラムと、圧力検出素子に電気的に接続される複数の端子と、複数の端子を保持する端子用固定部材と、を備え、液封室は、端子用固定部材とダイヤフラムで構成される液封型の圧力センサにおいて、液封室内における圧力検出素子の一方の端面とダイヤフラムとの間に配され、圧力検出素子に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、液封室内に配されるスペーサ部材と、をさらに備え、複数の端子は、端子用固定部材と電界遮断部材との対向面間に突出する突出部を有しており、スペーサ部材は、液封室内において、端子用固定部材と電界遮断部材との対向面間に配置されることを特徴とする圧力センサ。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
圧力を検出し検出出力信号を送出する圧力検出素子と、該圧力検出素子が配され圧力伝達媒体が封入される液封室と、該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該圧力検出素子に電気的に接続される複数の端子と、該複数の端子を保持する端子用固定部材と、を備え、前記液封室は、前記端子用固定部材と前記ダイヤフラムで構成される液封型の圧力センサにおいて、
前記液封室内における前記圧力検出素子の一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該圧力検出素子に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、
前記液封室内に配されるスペーサ部材と、をさらに備え、
前記複数の端子は、前記端子用固定部材と前記電界遮断部材との対向面間に突出する突出部を有しており、
前記スペーサ部材は、前記液封室内において、前記端子用固定部材と前記電界遮断部材との前記対向面間に配置されることを特徴とする圧力センサ。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記スペーサ部材は、前記圧力検出素子に対して前記複数の端子の前記突出部よりも離隔して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記電界遮断部材は、前記複数の端子のうちのいずれかと固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記スペーサ部材の一方の端面が、前記電界遮断部材を支持することを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記スペーサ部材の一方の端面が、前記電界遮断部材を支持することを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
液封型の半導体圧力センサに内蔵されるセンサユニットは、例えば、特許文献１に示されるように、継手部材のポートに連通する圧力室と後述する液封室とを隔絶する金属製ダイヤフラムと、円筒状のハウジングの内周部における金属製ダイヤフラムの上方に形成され圧力伝達媒体としてのシリコーンオイルを貯留する液封室と、液封室内に配され金属製ダイヤフラムを介しシリコーンオイルの圧力変動を検出するセンサチップと、センサチップを支持するセンサチップマウント部材と、上述のハウジングの内周部におけるセンサチップマウント部材の周囲を密封するハーメチックガラスと、ハーメチックガラスにより固定されセンサチップからの出力信号の送出およびセンサチップへの電力供給を行う入出力端子群とを主な要素として含んで構成されている。
【０００３】
上述のような構成において、加えて、特許文献１における図１に示されるように、センサチップの信号処理電子回路部に対する不所望な電界を遮断するためにシールド部材が液封室内に設けられている。門型断面を有するシールド部材におけるセンサチップ全体を覆う部分は、センサチップの端面との間に所定の隙間が形成されている。門型断面を有するシールド部材における２個の固定端部は、円盤状の導電板の一方の端面におけるセンサチップの外周部に近接して接合され導通している。シールド部材および導電板の電位は、センサチップに搭載されている電子回路と同一電位となっている。
【０００４】
斯かる構成においては、門型断面を有するシールド部材がセンサチップ全体を覆う構成なので液封室内の容積が比較的大となり、液封室内に充填され得るシリコーンオイルの容積が比較的大となる場合がある。このような場合、周囲温度の変化に基づくシリコーンオイルの膨張、収縮による金属製ダイヤフラムの変化に起因した圧力センサの出力特性の変化をもたらす虞がある。そこで、例えば、特許文献２に示されるように、周囲温度の変化に基づくシリコーンオイルの膨張、収縮による金属製ダイヤフラムの変化に起因した圧力センサの出力特性の変化を抑制すべく、液封室内に充填されるシリコーンオイルの容積が比較的小となるように、導電板に接合される環状部材が液封室内に設けられている。即ち、液封室内に充填されるシリコーンオイルの容積は、シールド部材および環状部材によって、環状部材が配置されないハウジングの内周部によって形成される液封室の全内容積に比して小となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－１００８０７号公報
特開２０１９－１００８０８号公報
特開２０１７－１９４４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
周囲温度の変化に起因した圧力センサの出力特性の変化をさらに抑制すべく、上述の液封室内に充填されるシリコーンオイルの容積をさらに減少させることが要望されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示されるように、液封室内に配置されるシールド部材の固定端部がハーメチックガラスの一方の端面に支持されている導電板の端面に固定される構成において、ボンディングワイヤの上方よりシールド部材でセンサチップ全体を覆うような構造であるため液封室を深くする必要があり、液封室内の空間容積が大きくなる傾向がある。また、特許文献１および特許文献２に示される構造ではシールド部材を固定するための導電板が必要であり、しかも、液封室を深くする必要があることから、金属製ダイヤフラムとシールド部材との間の所定の隙間を確保しつつ、液封室における入出力端子の軸線方向に沿った内寸法をさらに縮小することにも限界がある。
【０００８】
以上の問題点を考慮し、本発明は、圧力センサであって、センサチップの信号処理電子回路部に対する不所望な電界を遮断するためにシールド部材を液封室内に設け、しかも、液封室内に充填されるシリコーンオイルの容積をさらに減少させることができる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために、本発明に係る圧力センサは、圧力を検出し検出出力信号を送出する圧力検出素子と、該圧力検出素子が配され圧力伝達媒体が封入される液封室と、該液封室に向き合う圧力室とを仕切るダイヤフラムと、該圧力検出素子に電気的に接続される複数の端子と、該複数の端子を保持する端子用固定部材と、を備え、前記液封室は、前記端子用固定部材と前記ダイヤフラムで構成される液封型の圧力センサにおいて、前記液封室内における前記圧力検出素子の一方の端面と前記ダイヤフラムとの間に配され、該圧力検出素子に作用する電界を遮断する電界遮断部材と、前記液封室内に配されるスペーサ部材と、をさらに備え、前記複数の端子は、前記端子用固定部材と前記電界遮断部材との対向面間に突出する突出部を有しており、前記スペーサ部材は、前記液封室内において、前記端子用固定部材と前記電界遮断部材との前記対向面間に配置されることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る圧力センサは、前記スペーサ部材は、前記圧力検出素子に対して前記複数の端子の前記突出部よりも離隔して配置されていることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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