特許ウォッチ

公開番号2025066405
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2023175977
出願日2023-10-11
発明の名称研磨用工具、研磨用支持駆動構造、及び、研磨装置
出願人株式会社永田製作所,長野県
代理人個人
主分類B24B 13/01 20060101AFI20250416BHJP(研削;研磨)
要約【課題】支持駆動精度の悪化による研磨精度の低下を防止するとともに、生産性を向上させることが可能な研磨加工を実現する。
【解決手段】本発明に係る研磨用工具若しくは研磨用支持駆動構造は、被加工体を研磨するための研磨用工具であって、内部空間aを備えるとともに、前記内部空間aには、粒状体bが振動可能な状態で前記粒状体の群Bが配置されていることを特徴とする。ここで、研磨用工具とは、光学レンズなどの被加工体を研磨する際に直接に用いる工具をいう。研磨用工具の例としては、被加工体を保持するホルダや、被加工体を研磨する研磨皿や研磨カップなどの研磨部材が挙げられる。また、研磨用支持駆動構造とは、研磨用工具を支持したり駆動したりする構造である。例えば、上記ホルダを支持したり駆動したりするカンザシや駆動アーム、或いは、上記研磨部材を支持したり駆動したりする回転軸などが挙げられる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工体を研磨するための研磨用工具であって、
内部空間を備えるとともに、前記内部空間には、粒状体が振動可能な状態で前記粒状体の群が配置されていることを特徴とする研磨用工具。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
相互に隔壁を介して前記粒状体の群が配置された複数の前記内部空間が設けられる、
請求項１に記載の研磨用工具。
【請求項３】
外面に近い表面部分を除く部分に、研磨用支持駆動構造が接続される被支持部と、前記被加工体が保持される取付部、或いは、前記被加工体が摺接する研磨部と、の間に連続して前記内部空間が存在しない中実部分を形成し、前記表面部分及び前記中実部分を除く部分に前記内部空間が形成される、
請求項１又は２に記載の研磨用工具。
【請求項４】
前記中実部分は中央部に設けられ、前記内部空間は前記中央部の周囲において環状に構成される、
請求項３に記載の研磨用工具。
【請求項５】
工具としての機能を備える工具本体部と、前記工具本体部に対して着脱可能に装着され、前記内部空間を備えるとともに、前記内部空間には、前記粒状体が振動可能な状態で前記粒状体の群が配置されている別体型ダンパー部とを有する、
請求項１又は２に記載の研磨用工具。
【請求項６】
前記別体型ダンパー部は、全体がつなぎ目のない一体構造である、
請求項５に記載の研磨用工具。
【請求項７】
前記別体型ダンパー部及び前記内部空間は前記工具本体部の周囲において環状に構成される、
請求項５又は６に記載の研磨用工具。
【請求項８】
前記被加工体の取付面若しくは前記被加工体の研磨面に対応する表面部分の前記内部空間の内面には、当該表面部分の変形を防止するための補強リブが設けられる、
請求項１又は２に記載の研磨用工具。
【請求項９】
全体がつなぎ目のない一体構造である、
請求項１又は２に記載の研磨用工具。
【請求項１０】
研磨用工具を支持駆動するための研磨用支持駆動構造であって、
内部空間を備えるとともに、前記内部空間には、粒状体が振動可能な状態で前記粒状体の群が配置されていることを特徴とする研磨用支持駆動構造。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨用工具、研磨用支持駆動構造、及び、研磨装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、被加工物を研磨するための種々の研磨装置が用いられ、被加工物として、例えば、光学レンズなどが研磨される。光学レンズの研磨装置としては、通常、研磨用工具として、光学レンズを保持するホルダと、ホルダに保持された光学レンズを研磨する研磨部材とが用いられる。また、研磨装置には、上記の研磨用工具の支持駆動構造として、ホルダを支持駆動するホルダ側支持駆動構造と、研磨部材を支持駆動する研磨部材側支持駆動構造とが設けられる。
【０００３】
例えば、オスカー型の研磨装置では、ホルダ側支持駆動構造として、ホルダに設けられた凹部に対して嵌合するカンザシの球状の先端部を角度自在に接続し、このカンザシを水平方向に往復動作する周期的動作機構のアームに連結することによってホルダを揺動させるように構成する。また、研磨部材側支持駆動構造としては、研磨部材（研磨皿）を回転軸に固定し、この回転軸を回転自在に軸支するとともに、回転軸をモータなどの駆動源に連結している。そして、上記ホルダに取り付けられた光学レンズと、研磨部材の研磨面との間に研磨剤を含むスラリーを供給しながら、光学レンズを研磨面に対して摺動させることで研磨加工が実施される。
【０００４】
ところで、上記研磨装置では、駆動系から伝搬してくる駆動部の振動や、光学レンズと研磨面との間に生ずるスティックスリップ現象に起因するビビリ振動によって、光学レンズの研磨精度を低下させるため、以下の特許文献１や２に記載されているように、レンズの取付部や駆動系の途中に弾性体や緩衝材を介在させることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平７－０６０６２７号公報
特開２００１－２５９９８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の弾性体や緩衝部材を介在させる方法では、前述の振動を吸収する効果が得られる場合もあるものの、支持駆動構造の剛性を低下させることから支持駆動精度を悪化させる原因になり、この支持駆動精度の悪化により、研磨加工面に高い面精度が要求される光学レンズなどの被加工体では、所望の研磨精度を実現することができないという問題があった。
【０００７】
また、実際の研磨加工においては、加工時間を短縮して生産性を向上させる観点から、研磨圧や回転速度を高めることが要求されるが、これによって前述の振動が増大するため、被加工物の生産性と研磨精度との両立を図ることが困難であるという問題もある。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題を解決するものであり、その課題は、支持駆動精度の悪化による研磨精度の低下を防止するとともに、生産性を向上させることが可能な研磨加工を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る研磨用工具は、被加工体を研磨するための研磨用工具であって、内部空間を備えるとともに、前記内部空間には、粒状体が振動可能な状態で前記粒状体の群が配置されていることを特徴とする。ここで、研磨用工具とは、光学レンズなどの被加工体を研磨する際に直接に用いる工具をいう。研磨用工具の例としては、被加工体を保持するホルダや、被加工体を研磨する研磨皿や研磨カップなどの研磨部材が挙げられる。
【００１０】
本発明によれば、研磨用工具に設けられた内部空間に粒状体の群が配置され、これらの粒状体は内部空間において振動可能な状態とされることにより、研磨加工時において駆動系や研磨箇所によって生じた振動エネルギーは、内部空間に配置された粒状体の群に属する各粒状体が内部空間の内面や他の粒状体に衝突することによって熱エネルギーに変換され、吸収される。このように、研磨加工時の振動は、研磨用工具の内部空間において吸収されるため、研磨工具自体の剛性をそれほど低下させることなしに、また、剛性の低下を抑制できない弾性体や緩衝部材を用いることなしに、研磨加工時に生ずる振動を抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許