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公開番号2025062451
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-14
出願番号2023171541
出願日2023-10-02
発明の名称検査用治具及び構造体
出願人パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01N 25/72 20060101AFI20250407BHJP(測定;試験)
要約【課題】ワークの接合部の状態の検査精度を向上させることができる検査用治具を提供する。
【解決手段】検査用治具は、検査システムにおいて用いられる。検査システムは、ワークを励起源からの励起光によって加熱し、撮影装置が時系列で撮影して生成した温度画像を解析することでワークの接合部の状態を検査する。ワークは、頂部と側面とを有する第1の母材と、頂部と接合部で接合された第2の母材とを含む。検査用治具は、ワークを支持する支持部を備える。支持部は、接触部で第1の母材の側面に接触して第1の母材の側面を支持することで、ワークを支持する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
頂部と側面とを有する第１の母材と、前記頂部と接合部で接合された第２の母材とを含むワークを励起源からの励起光によって加熱し、撮影装置が時系列で撮影して生成した温度画像を解析することで前記ワークの接合部の状態を検査する検査システムにおいて用いられる検査用治具であって、
前記ワークを支持する支持部を備え、
前記支持部は、接触部で前記第１の母材の側面に接触して前記第１の母材の側面を支持することで、前記ワークを支持する、
検査用治具。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記側面は、前記第１の母材の軸の方向の周囲に配置され、
前記検査用治具は、前記軸を中心とする周方向の全体にわたって前記第１の母材の側面に接触して前記第１の母材の側面を支持する、
請求項１に記載の検査用治具。
【請求項３】
前記第１の母材は、底部を有する有底筒状の形状を有し、
前記検査用治具は、前記底部の底面に接触する台部を有する、
請求項１に記載の検査用治具。
【請求項４】
前記検査用治具の熱伝導率は、前記第１の母材の熱伝導率以上である、請求項１に記載の検査用治具。
【請求項５】
アルミニウムを含む、請求項１に記載の検査用治具。
【請求項６】
前記検査用治具の体積は、前記第１の母材の体積より大きい、請求項１に記載の検査用治具。
【請求項７】
前記検査用治具は、前記接触部に、前記第１の母材の熱を前記検査用治具に伝える放熱材を備える、請求項１に記載の検査用治具。
【請求項８】
前記検査用治具を冷却するための冷却装置を更に備える、請求項１に記載の検査用治具。
【請求項９】
前記接合部と前記接触部との距離が予め定められた距離より大きくなるように構成された、請求項１～８のいずれかに記載の検査用治具。
【請求項１０】
ワークと、
前記ワークを支持する検査用治具とを備え、
励起源からの励起光によって加熱された前記ワークを撮影装置が時系列で撮影して生成した温度画像を解析することで前記ワークの接合部の状態を検査する検査システムにおいて用いられる構造体であって、
前記ワークは、頂部と底部とを有する第１の母材と、前記頂部と前記接合部で接合された第２の母材とを含み、
前記ワークは、前記検査用治具上に載置され、前記検査用治具は、前記ワークの前記底部を支持する、
構造体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査用治具及び構造体に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、処理室内に設けたウエハ保持手段に支持されるウエハの一面に接触するヒートシンクと固定治具とを備えたウエハ処理装置を開示する。ヒートシンクのウエハ接触面は凸状曲面で形成され、固定治具は、ウエハの少なくとも外周部の一部分とヒートシンクの少なくとも外周部の一部分とを挟みつける。特許文献１には、この構成によりウエハの放熱効果が向上することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平９－１１５８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、ワークの接合部の状態の検査精度を向上させることができる検査用治具及び構造体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る検査用治具は、
頂部と側面とを有する第１の母材と頂部と接合部で接合された第２の母材とを含むワークを励起源からの励起光によって加熱し、撮影装置が時系列で撮影して生成した温度画像を解析することでワークの接合部の状態を検査する検査システムにおいて用いられる検査用治具であって、
ワークを支持する支持部を備え、
支持部は、接触部で第１の母材の側面に接触して第１の母材の側面を支持することで、ワークを支持する。
【０００６】
本開示の一態様に係る構造体は、
ワークと、
ワークを支持する検査用治具とを備え、
励起源からの励起光によって加熱されたワークを撮影装置が時系列で撮影して生成した温度画像を解析することでワークの接合部の状態を検査する検査システムにおいて用いられる構造体であって、
ワークは、頂部と底部とを有する第１の母材と、頂部と接合部で接合された第２の母材とを含み、
ワークは、検査用治具上に載置され、検査用治具は、ワークの底部を支持する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によると、ワークの接合部の状態の検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態１に係る検査システムの構成例を示すブロック図
図１の検査装置の構成例を示すブロック図
実施の形態１に係る構造体の斜視図
実施の形態１に係る構造体の分解斜視図
実施の形態１に係る構造体の平面図
図５の構造体のＡ－Ａ線断面図
ワークの接合部の位相特性を示すグラフ
図７に示した５つのサンプルのデータ間の相関係数を示す表
比較例に係る５つのサンプルのデータ間の相関係数を示す表
実施の形態１の第１変形例に係る構造体を示す断面図
実施の形態１の第２変形例に係る構造体を示す断面図
実施の形態２に係る構造体を示す断面図
実施の形態２の変形例に係る構造体を示す断面図
実施の形態３に係る構造体を示す断面図
実施の形態３の変形例に係る構造体を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、適宜図面を参照しながら、実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、発明者は、当業者が本開示を十分に理解するために添付図面及び以下の説明を提供するのであって、これらによって請求の範囲に記載の主題を限定することを意図しない。
【００１０】
以下、実施の形態に係る検査用治具及び構造体を、図面を用いて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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