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公開番号2025061081
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2025002606,2024001744
出願日2025-01-08,2016-12-19
発明の名称基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法
出願人株式会社ニコン
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250403BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法及び基板貼り合わせ装置を提供する。
【解決手段】第1の基板211及び第2の基板213が接触する接触領域を、第1の基板及び第2の基板の中心部に形成し、中心部に形成した接触領域を貼り合わせの起点として、接触領域が中心部から拡大するように第1の基板と第2の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、貼り合わせ部300は、第1の基板および第2の基板の少なくとも一方を保持する保持部である上ステージ322及び下ステージ332と、中心部に接触領域が形成されたことを検出する検出部である観察部344と、検出部が中心部に接触領域が形成されたことを検出したことに応じて保持部による第1の基板及び第2の基板の少なくとも一方の保持を解除する制御部150と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
第１の基板と第２の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、
前記第１の基板を保持する第１の保持部と、
前記第２の基板を保持する第２の保持部と、
前記第１の基板の一部と前記第２の基板の一部との間に形成された接触領域を拡大するために、前記第１の保持部による前記第１の基板の保持及び前記第２の保持部による前記第２の基板の保持の少なくとも一方を解除する制御部と、
前記第１の基板及び前記第２の基板の少なくとも一方に関する電気的特性の変化に関する情報を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記接触領域の拡大状態を判断する判断部と
を備える基板貼り合わせ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
２つの基板の表面を活性化し、活性化した表面同士を接触させることにより２つの基板を貼り合わせる装置がある（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１特開２０１３－２５８３７７号公報
【０００３】
貼り合わせの開始から完了までにかかる時間は、貼り合わされる２つの基板の条件等によって異なる場合がある。このため、貼り合わせ開始から一定の時間が経過したときに貼り合わせが完了したと見做す場合、一定の時間を長めに設定することにより、貼り合わせ時間のばらつきを吸収する。その結果、実際の貼り合わせ時間が設定した時間よりも短い基板を貼り合わせるときは、貼り合わせが完了してから次の処理が開始されるまでに待ち時間が発生し、その待ち時間が無駄になっていた。
【発明の概要】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方を保持する保持部と、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出部と、前記検出部が前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出したことに応じて前記保持部による前記第１の基板および前記第２の基板の前記少なくとも一方の保持を解除する制御部とを備える、基板貼り合わせ装置が提供される。
【０００５】
本発明の第２の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出部を備え、前記検出部は、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方における電気的特性の変化に関する情報を検出することにより、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する、基板貼り合わせ装置が提供される。
【０００６】
本発明の第３の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出部を備え、前記検出部は、前記第１の基板および前記第２の基板の一方の側で発生される振動を、前記第１の基板および前記第２の基板の他方の側で検出することにより、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する、基板貼り合わせ装置が提供される。
【０００７】
本発明の第４の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方を保持する保持部と、前記接触領域に予め定められた結合力が確保されたことを判断する判断部と、前記判断部により前記結合力が確保されたと判断されたことに応じて、前記保持部による前記第１の基板および前記第２の基板の前記少なくとも一方の保持を解除する制御部とを備える、基板貼り合わせ装置が提供される。
【０００８】
本発明の第５の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合せる基板貼り合わせ方法であって、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出段階と、前記検出段階で前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出したことに応じて、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方の保持を解除する解除段階とを含む、基板貼り合わせ方法が提供される。
【０００９】
本発明の第６の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合せる基板貼り合わせ方法であって、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出段階を含み、前記検出段階は、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方における電気的特性の変化に関する情報を検出することにより、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する、基板貼り合わせ方法が提供される。
【００１０】
本発明の第７の態様においては、第１の基板および第２の基板が接触する接触領域を前記第１の基板および前記第２の基板の中心部に形成し、前記中心部に形成した前記接触領域を貼り合わせの起点として、前記接触領域が前記中心部から拡大するように前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合せる基板貼り合わせ方法であって、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する検出段階を含み、前記検出段階は、前記第１の基板および前記第２の基板の一方の側で発生される振動を、前記第１の基板および前記第２の基板の他方の側で検出することにより、前記中心部に前記接触領域が形成されたことを検出する、基板貼り合わせ方法が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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