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公開番号2025051603
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2024110864
出願日2024-07-10
発明の名称基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】環境資源を節約できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置(100)は、基板(W)を処理する。基板処理装置(100)は、複数の配管を備える。複数の配管はそれぞれ、内側表面(21)及び外側表面(22)を有する。複数の配管の各々の内側表面(21)の内側を流体が流通する。複数の配管は、少なくとも1つのバージン材配管(2b)と、1つの再生材配管(2a)とを含む。バージン材配管(2b)は、フッ素樹脂のバージン材を含有する。再生材配管(2a)は、フッ素樹脂の再生材を含有する。バージン材配管(2b)と再生材配管(2a)とのうちの少なくとも一方には、バージン材配管(2b)と再生材配管(2a)とを識別するためのマーキングおよび着色の少なくとも一方が施されている。
【選択図】図2A-C
特許請求の範囲【請求項１】
基板を処理する基板処理装置であって、
内側表面及び外側表面を有し、前記内側表面の内側を流体が流通する複数の配管を備え、
前記複数の配管は、
フッ素樹脂のバージン材を含有する少なくとも１つのバージン材配管と、
フッ素樹脂の再生材を含有する少なくとも１つの再生材配管と
を含み、
前記バージン材配管と前記再生材配管とのうちの少なくとも一方には、前記バージン材配管と前記再生材配管とを識別するためのマーキングおよび着色の少なくとも一方が施されている、基板処理装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記バージン材配管と前記再生材配管とのうちの少なくとも一方は、前記内側表面と前記外側表面との間に、前記バージン材配管と前記再生材配管とを識別するためのマーキングが施されたマーキング部を有する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記基板に対して基板処理を実行する基板処理部を更に備え、
前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有し、
前記少なくとも１つのバージン材配管は、前記チャンバ内に配置される配管を含み、
前記少なくとも１つの再生材配管は、前記チャンバ外に配置される配管を含む、請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つのバージン材配管は、前記基板処理部へ液体を供給する液供給配管を含み、
前記液供給配管の一部は前記チャンバ内に配置され、前記液供給配管の他の部分は前記チャンバ外に配置される、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記基板処理部に供給する液体を収容する流体キャビネットを更に備え、
前記少なくとも１つのバージン材配管は、前記基板処理部から排出される前記液体を前記流体キャビネットまで流通させる回収配管を含み、
前記回収配管の少なくとも一部は前記チャンバ外に配置される、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つの再生材配管は、前記基板処理部から排出される液体が流通する排液配管を含み、
前記排液配管は前記チャンバ外に配置される、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記複数の配管は、前記基板処理部へ液体を供給する液供給配管を含み、
前記基板処理装置は、
前記液供給配管に設けられて、前記液供給配管を介した前記液体の流通とその流通の停止とを制御する開閉弁と、
前記液供給配管の一部と前記開閉弁とを収容する流体ボックスと
を更に備え、
前記少なくとも１つの再生材配管は、気体を流通させる気体配管を含み、
前記気体配管の一部は前記流体ボックス内に配置される、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記マーキング部は、前記バージン材配管又は前記再生材配管を流通する前記流体の種類を更に示す、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記マーキング部は、前記バージン材配管又は前記再生材配管が配置される場所を更に示す、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記マーキング部は、前記バージン材配管又は前記再生材配管を流通する前記流体が流れる方向を更に示す、請求項２に記載の基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、処理液を流通させる配管や、気体を流通させる配管を備える。処理液を流通させる配管には、フッ素樹脂成形品が用いられる（例えば、特許文献１参照。）。気体を流通させる配管のうち、薬液雰囲気下に配置される配管には、フッ素樹脂成形品が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１５５６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、環境資源の節約が以前よりも厳しく要求されている。フッ素樹脂の原材料は天然物であり、その資源量は有限であるため、フッ素樹脂の原材料（環境資源）に対しても節約することが求められる。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、環境資源を節約できる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一局面によれば、基板処理装置は、基板を処理する。当該基板処理装置は、複数の配管を備える。前記複数の配管はそれぞれ、内側表面及び外側表面を有する。前記複数の配管の各々の前記内側表面の内側を流体が流通する。前記複数の配管は、少なくとも１つのバージン材配管と、１つの再生材配管とを含む。前記バージン材配管は、フッ素樹脂のバージン材を含有する。前記再生材配管は、フッ素樹脂の再生材を含有する。前記バージン材配管と前記再生材配管とのうちの少なくとも一方には、前記バージン材配管と前記再生材配管とを識別するためのマーキングおよび着色の少なくとも一方が施されている。
【０００７】
ある実施形態において、前記バージン材配管と前記再生材配管とのうちの少なくとも一方は、前記内側表面と前記外側表面との間にマーキング部を有する。前記マーキング部には、前記バージン材配管と前記再生材配管とを識別するためのマーキングが施されている。
【０００８】
ある実施形態において、上記基板処理装置は、基板処理部を更に備える。前記基板処理部は、前記基板に対して基板処理を実行する。前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有する。前記少なくとも１つのバージン材配管は、前記チャンバ内に配置される配管を含む。前記少なくとも１つの再生材配管は、前記チャンバ外に配置される配管を含む。
【０００９】
ある実施形態において、前記少なくとも１つのバージン材配管は、前記基板処理部へ液体を供給する液供給配管を含む。前記液供給配管の一部は前記チャンバ内に配置され、前記液供給配管の他の部分は前記チャンバ外に配置される。
【００１０】
ある実施形態において、上記基板処理装置は、流体キャビネットを更に備える。前記流体キャビネットは、前記基板処理部に供給する液体を収容する。前記少なくとも１つのバージン材配管は、回収配管を含む。前記回収配管は、前記基板処理部から排出される前記液体を前記流体キャビネットまで流通させる。前記回収配管の少なくとも一部は前記チャンバ外に配置される。
（【００１１】以降は省略されています）

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