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公開番号2025050351
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159094
出願日2023-09-22
発明の名称オゾン濃縮器、基板処理装置及びオゾン供給方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類C01B 13/10 20060101AFI20250327BHJP(無機化学)
要約【課題】オゾンガスを供給する際に安定した流量制御を実行できる技術を提供する。
【解決手段】本開示の一態様によるオゾン濃縮器は、オゾンガスが流通する供給流路に設けられるポンプと、前記ポンプの下流の前記供給流路に設けられる流量制御器と、前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路の圧力を設定圧力に制御する圧力制御器と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
オゾンガスが流通する供給流路に設けられるポンプと、
前記ポンプの下流の前記供給流路に設けられる流量制御器と、
前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路の圧力を設定圧力に制御する圧力制御器と、
を有する、オゾン濃縮器。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記圧力制御器は、前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路から分岐する真空排出流路に設けられる、
請求項１に記載のオゾン濃縮器。
【請求項３】
前記設定圧力は、予め定められる固定値である、
請求項１又は２に記載のオゾン濃縮器。
【請求項４】
前記流量制御器の下流の前記供給流路の圧力を検出する圧力計をさらに有し、
前記設定圧力は、前記圧力計が検出する前記圧力に応じて定められる可変値である、
請求項１又は２に記載のオゾン濃縮器。
【請求項５】
前記設定圧力を、前記圧力計が検出する前記圧力と前記流量制御器の最低必要差圧との合計の圧力となるように制御する制御部をさらに有する、
請求項４に記載のオゾン濃縮器。
【請求項６】
基板を処理する処理部と、
前記処理部に接続されるオゾン濃縮器と、
を備え、
前記オゾン濃縮器は、
オゾンガスが流通する供給流路に設けられるポンプと、
前記ポンプの下流の前記供給流路に設けられる流量制御器と、
前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路の圧力を設定圧力に制御する圧力制御器と、
を有する、
基板処理装置。
【請求項７】
オゾンガスが流通する供給流路に設けられるポンプと、
前記ポンプの下流の前記供給流路に設けられる流量制御器と、
前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路の圧力を設定圧力に制御する圧力制御器と、
前記流量制御器の下流の前記供給流路の圧力を検出する圧力計と、
を有するオゾン濃縮器によってオゾンガスを供給するオゾン供給方法であって、
前記設定圧力を、前記圧力計が検出する前記圧力と前記流量制御器の最低必要圧力との合計の圧力となるように制御することを有する、
オゾン供給方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、オゾン濃縮器、基板処理装置及びオゾン供給方法に関する。
続きを表示（約 860 文字）【背景技術】
【０００２】
オゾン発生器で発生したオゾンガスを吸着剤に吸着させ、脱離時にガス導出路に装着された真空ポンプの作用で真空脱離させるオゾンガス濃縮装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５４２７４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、オゾンガスを供給する際に安定した流量制御を実行できる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様によるオゾン濃縮器は、オゾンガスが流通する供給流路に設けられるポンプと、前記ポンプの下流の前記供給流路に設けられる流量制御器と、前記ポンプと前記流量制御器との間の前記供給流路の圧力を設定圧力に制御する圧力制御器と、を有する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、オゾンガスを供給する際に安定した流量制御を実行できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態に係る基板処理装置を示す図である。
実施例の結果を示す図である。
比較例の結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
（基板処理装置）
図１を参照し、実施形態に係る基板処理装置１について説明する。図１は、実施形態に係る基板処理装置１を示す図である。
【００１０】
基板処理装置１は、オゾン発生器１０と、オゾン濃縮器３０と、処理部５０と、装置コントローラ９０とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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