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公開番号2025040735
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-25
出願番号2023147719
出願日2023-09-12
発明の名称摩耗検知装置、摩耗検知方法、基板洗浄装置および基板洗浄方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250317BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板洗浄具の摩耗を検知すること、または、基板洗浄具の摩耗に応じて基板洗浄を行うこと。
【解決手段】基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する1以上のセンサと、前記センサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、前記センサによる計測値に応じて、前記基板洗浄具を交換する必要があるか否かの判定を行う判定部と、を備える摩耗検知装置が提供される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する１以上のセンサと、
前記センサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、
前記センサによる計測値に応じて、前記基板洗浄具を交換する必要があるか否かの判定を行う判定部と、を備える摩耗検知装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する１以上のセンサと、
前記センサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、
前記センサによる計測値に応じて、前記基板洗浄具を用いて基板の洗浄を行う際の洗浄パラメータを変更する必要があるか否かの判定を行う判定部と、を備える摩耗検知装置。
【請求項３】
前記１以上のセンサは複数のセンサであり、
前記判定部は、前記複数のセンサによる計測値が所定条件を満たすか否かに応じて、判定を行う、請求項１または２に記載の摩耗検知装置。
【請求項４】
前記基板洗浄具は、基板洗浄時に基板と接触する洗浄面を有し、
前記複数のセンサは、
前記洗浄面の中央とは異なる第１位置に押圧される第１センサと、
前記洗浄面の中央とは異なり、かつ、前記第１位置とも異なる第２位置に押圧される第２センサと、
前記洗浄面のほぼ中央に押圧される第３センサと、を含む、請求項３に記載の摩耗検知装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記センサによる計測値と、所定の閾値と、の比較に基づいて判定を行う、請求項１または２に記載の摩耗検知装置。
【請求項６】
前記閾値は、前記基板洗浄具を基板洗浄に使用する前に前記基板洗浄具を前記センサに押圧した際の前記センサによる計測値に応じた値である、請求項５に記載の摩耗検知装置。
【請求項７】
基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する複数のセンサと、
前記複数のセンサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、
前記複数のセンサによる計測値に応じて、
前記基板洗浄具を交換する必要があるか否かの判定と、
前記基板洗浄具を用いて基板の洗浄を行う際の洗浄パラメータを変更する必要があるか否かの判定と、を行う判定部と、を備える摩耗検知装置。
【請求項８】
前記判定部は、
前記複数のセンサによる計測値が第１条件を満たす場合、前記基板洗浄具を交換する必要はなく、前記洗浄パラメータを変更もないと判定し、
前記複数のセンサによる計測値が第２条件を満たす場合、前記基板洗浄具を交換する必要はないが、前記洗浄パラメータを変更する必要があるが、と判定し、
前記複数のセンサによる計測値が第３条件を満たす場合、前記基板洗浄具を交換する必要があると判定する、請求項７に記載の摩耗検知装置。
【請求項９】
前記第１条件は、複数の前記センサによる計測値の全てが閾値を超えたことであり、
前記第２条件は、複数の前記センサによる計測値の全てが前記閾値を下回ったことであり、
前記第３条件は、複数の前記センサによる計測値の一部のみが前記閾値を下回ったことである、請求項８に記載の摩耗検知装置。
【請求項１０】
前記判定部は、前記洗浄パラメータを変更する必要する必要があると判定された場合、前記計測値に応じて前記洗浄パラメータを変更する、請求項７または８に記載の摩耗検知装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、摩耗検知装置、摩耗検知方法、基板洗浄装置および基板洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
種々の基板洗浄装置が知られている（特許文献１，２）。これらの基板洗浄装置で用いられる基板洗浄具は、基板と接触して基板洗浄を行う。そのため、洗浄を行うと基板洗浄具は摩耗する。摩耗が激しくなると、適切に基板を洗浄するのが困難になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１２４０１６号公報
特開２０１９－８７７６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、基板洗浄具の摩耗を検知すること、または、基板洗浄具の摩耗に応じて基板洗浄を行うことである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
例示として、以下の解決手段が提供される。
【０００６】
［１］
基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する１以上のセンサと、
前記センサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、
前記センサによる計測値に応じて、前記基板洗浄具を交換する必要があるか否かの判定を行う判定部と、を備える摩耗検知装置。
【０００７】
［２］
基板洗浄具の摩耗に応じた計測値を出力する１以上のセンサと、
前記センサに前記基板洗浄具を押圧する押圧機構と、
前記センサによる計測値に応じて、前記基板洗浄具を用いて基板の洗浄を行う際の洗浄パラメータを変更する必要があるか否かの判定を行う判定部と、を備える摩耗検知装置。
【０００８】
［３］
前記１以上のセンサは複数のセンサであり、
前記判定部は、前記複数のセンサによる計測値が所定条件を満たすか否かに応じて、判定を行う、［１］または［２］に記載の摩耗検知装置。
【０００９】
［４］
前記基板洗浄具は、基板洗浄時に基板と接触する洗浄面を有し、
前記複数のセンサは、
前記洗浄面の中央とは異なる第１位置に押圧される第１センサと、
前記洗浄面の中央とは異なり、かつ、前記第１位置とも異なる第２位置に押圧される第２センサと、
前記洗浄面のほぼ中央に押圧される第３センサと、を含む、［３］に記載の摩耗検知装置。
【００１０】
［５］
前記判定部は、前記センサによる計測値と、所定の閾値と、の比較に基づいて判定を行う、［１］乃至［４］のいずれかに記載の摩耗検知装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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