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公開番号2025034163
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023140373
出願日2023-08-30
発明の名称搬送装置
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類B65G 1/00 20060101AFI20250306BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】小型であり、かつ、簡素な動作を可能とする搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送装置1は、搬送元から搬送先へ搬送対象物を搬送するローダ2と、搬送元と搬送先との間に設けられ、搬送対象物を案内するガイドレール3と、を有する。ローダ2は、ガイドレール3に沿って、搬送元からガイドレール3の中間位置まで搬送対象物を搬送方向の前方から引き出すとともに、中間位置から搬送先まで搬送対象物を搬送方向の後方から押し出す。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
搬送元から搬送先へ搬送対象物を搬送するローダと、
前記搬送元と前記搬送先との間に設けられ、前記搬送対象物を案内するガイドレールと、を有し、
前記ローダは、前記ガイドレールに沿って、前記搬送元から前記ガイドレールの中間位置まで前記搬送対象物を搬送方向の前方から引き出すとともに、前記中間位置から前記搬送先まで前記搬送対象物を前記搬送方向の後方から押し出す搬送装置。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記ローダは、前記中間位置において、前記搬送対象物の下方を通って、前記搬送対象物の前記搬送方向の前方から後方へ移動する請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ローダは、前記搬送対象物を把持する把持部を有する請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記把持部は、前記搬送対象物を前記搬送方向の前方から把持しつつ、前記搬送元から前記中間位置まで、前記搬送対象物を前記搬送方向の前方から引き出す請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記把持部は、相互に対向しており、かつ、相互に近接または離間するように移動可能な一対の把持板と、一対の前記把持板の間に位置するストッパとを有する請求項３に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記把持部は、一対の前記把持板が当接した状態で、一対の前記把持板の少なくとも一方の前記搬送方向の前方の端面によって、前記中間位置から前記搬送先まで、前記搬送対象物を前記搬送方向の後方から押し出す請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記把持部は、一対の前記把持板が離間した状態で、一対の前記把持板のいずれか一方の前記搬送方向の前方の端面によって、前記中間位置から前記搬送先まで、前記搬送対象物を前記搬送方向の後方から押し出す請求項５に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記把持部は、一対の前記把持板が離間した状態で、前記ストッパによって、前記中間位置から前記搬送先まで、前記搬送対象物を前記搬送対象物の搬送方向の後方から押し出す請求項５に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記ストッパは、第１ストッパと第２ストッパとを有し、
前記第１ストッパは、搬送先側において、前記把持板の端部に設けられており、
前記第２ストッパは、搬送元側において、前記把持板の端部に設けられている請求項５に記載の搬送装置。
【請求項１０】
一対の前記把持板は、鉛直方向の上側に配置された固定把持板と、鉛直方向の下側に配置された可動把持板とからなり、
前記可動把持板は、鉛直方向に沿って、上側に移動可能である請求項５に記載の搬送装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のチップがシート上に搭載されたウエハリングを搬送する搬送装置が知られている。搬送装置は、ウエハリングを供給元から供給先へ供給する処理を行うとともに、ウエハリングを供給先から供給元に回収する処理を行う。この種の処理が行われる製造ラインにおいて、供給元には、複数のウエハリングを収容可能なマガジンが設けられており、供給先には、ウエハリングが一時的に配置されるリングホルダが設けられている。
【０００３】
搬送装置によって供給元から供給先へウエハリングが供給されると、例えば、吸着ノズルによって、リングホルダに配置されたウエハリングから複数のチップを取り出す処理が行われる。ウエハリングから複数のチップを取り出す処理が完了すると、搬送装置によって、処理後のウエハリングが供給先から供給元へ回収される。このようなウエハリングの供給および回収を行う搬送装置に関して、種々の技術が提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、供給元と供給先との間に、ウエハリングをガイドするガイドレールが設けられた搬送装置が開示されている。供給元のウエハリングは、引掛機構（フック）によって引っ張られつつ、ガイドレール上をスライドしながら供給先に供給される。
【０００５】
また、特許文献２には、供給元と供給先との間に、ウエハリングを保持するクランプ機構が設けられた搬送装置が開示されている。クランプ機構は、供給元から水平方向に横倒しされたウエハリングを取り出すと、これを鉛直方向に直立させつつ、供給先へ供給する。また、クランプ機構は、供給先から鉛直方向に直立したウエハリングを取り出すと、これを水平方向に横倒しさせつつ、供給元へ回収する。
【０００６】
ところで、特許文献１の搬送装置のように、引掛機構がウエハリングを引っ張る構造では、供給先において、引掛機構とリングホルダ等との間で干渉が生じないよう、引掛機構の動きを細かく調整する必要がある。また、特許文献２の搬送装置では、ウエハリングを直立または横倒しさせるためにクランプ機構をスイングさせる必要があるため、クランプ機構の稼働スペースを広く確保しなければならず、搬送装置が大型化するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１０－１７３８４７号公報
特開２０１５－２１３１１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、小型であり、かつ、簡素な動作を可能とする搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る搬送装置は、
搬送元から搬送先へ搬送対象物を搬送するローダと、
前記搬送元と前記搬送先との間に設けられ、前記搬送対象物を案内するガイドレールと、を有し、
前記ローダは、前記ガイドレールに沿って、前記搬送元から前記ガイドレールの中間位置まで前記搬送対象物を搬送方向の前方から引き出すとともに、前記中間位置から前記搬送先まで前記搬送対象物を前記搬送方向の後方から押し出す。
ただし、中間位置とは、搬送元（あるいは、ガイドレールの軸方向の一端）および搬送先（あるいは、ガイドレールの軸方向の他端）から等距離にある位置（center position）のみを指すものではなく、搬送元と搬送先との間の任意の位置を取り得るものである。
【００１０】
本発明に係る搬送装置では、ローダが、ガイドレールに沿って、搬送対象物を搬送する。そのため、ローダは、搬送対象物を水平方向に横倒しさせたまま、搬送元から搬送先へ搬送することができる。これにより、鉛直方向に関して、ローダの稼働スペースを削減することが可能となり、搬送装置の小型化を図ることができる。また、搬送対象物は、ガイドレールに沿った直線状の動きによって、搬送元から搬送先に搬送されるため、この点においても、搬送装置の小型化を図ることができる。また、搬送対象物を直立させる必要がないため、搬送対象物の搬送に起因して、パーティクルが飛散することを防止することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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