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公開番号2025033514
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023139271
出願日2023-08-29
発明の名称製膜システム
出願人株式会社カネカ,OLED青森株式会社
代理人個人,個人
主分類H10K 71/16 20230101AFI20250306BHJP()
要約【課題】本発明は、新たなクラスター部を設ける場合に比べて低コストで製膜機能が付与された製膜システムを提供する。
【解決手段】複数の第1処理装置と各第1処理装置間で被製膜基材を搬送する第1搬送部とを有する第1クラスター部と、複数の第2処理装置と各第2処理装置間で被製膜基材を搬送する第2搬送部とを有する第2クラスター部と、第1クラスター部から第2クラスター部に、第1クラスター部の第1処理装置で少なくとも第1層が製膜された被製膜基材を受け渡しする受渡部を有し、受渡部は、被製膜基材に対して製膜する製膜部を備える構成とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
複数の第１処理装置と各第１処理装置間で被製膜基材を搬送する第１搬送部とを有する第１クラスター部と、
複数の第２処理装置と各第２処理装置間で被製膜基材を搬送する第２搬送部とを有する第２クラスター部と、
前記第１クラスター部から前記第２クラスター部に、前記第１クラスター部の第１処理装置で少なくとも第１層が製膜された被製膜基材を受け渡しする受渡部を有し、
前記受渡部は、前記被製膜基材に対して製膜する製膜部を備える、製膜システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記製膜部は、基材搬送部と、ガス放出部を有し、
前記製膜部は、前記被製膜基材を前記基材搬送部で搬送しながら、前記ガス放出部から前記被製膜基材に対して製膜ガスを放出し、前記被製膜基材上に第２層を製膜する、請求項１に記載の製膜システム。
【請求項３】
前記製膜部は、第２ガス放出部を有し、
前記製膜部は、前記被製膜基材を前記基材搬送部で搬送しながら、前記第２ガス放出部から前記第２層が積層された前記被製膜基材に対して製膜ガスを放出し、前記被製膜基材上に第３層を製膜する、請求項２に記載の製膜システム。
【請求項４】
基材上に第１電極層と発光機能層と第２電極層が積層した有機ＥＬ素子を有し、前記基材と封止層によって前記有機ＥＬ素子を封止した有機ＥＬ装置の製造に使用される製膜システムであって、
前記製膜部は、前記発光機能層、前記第２電極層、及び前記封止層から選ばれる群からなる少なくとも一つの層の一部又は全部を製膜する、請求項１～３のいずれか１項に記載の製膜システム。
【請求項５】
前記発光機能層は、第１発光ユニットと、接続ユニットと、第２発光ユニットをこの順に有し、通電時に前記接続ユニットが前記第１発光ユニット側に電子を注入し、前記第２発光ユニット側に正孔を注入可能であり、
前記製膜部は、前記接続ユニットの一部又は全部を製膜する、請求項４に記載の製膜システム。
【請求項６】
前記発光機能層は、複数の有機層を有し、
前記製膜部は、前記複数の有機層のうち、最も製膜時間が短い有機層を製膜する、請求項４に記載の製膜システム。
【請求項７】
複数種類の有機ＥＬ装置の製造に使用される製膜システムであって、
前記複数種類の有機ＥＬ装置の中には、第１有機ＥＬ装置と第２有機ＥＬ装置があり、
前記第１有機ＥＬ装置の発光機能層は、前記第２有機ＥＬ装置の発光機能層と共通の共通有機層を有し、
前記製膜部は、前記共通有機層を製膜する、請求項４に記載の製膜システム。
【請求項８】
一又は複数の第１処理装置と、被製膜基材を搬送する第１搬送部とを有する第１クラスター部と、
一又は複数の第２処理装置と、被製膜基材を搬送する第２搬送部とを有する第２クラスター部と、
前記第１クラスター部から前記第２クラスター部に、前記第１クラスター部の第１処理装置で処理された被製膜基材を受け渡しする受渡部を有し、
前記受渡部は、前記被製膜基材に対して製膜する製膜部を備える、製膜システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のクラスター部を有する製膜システムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、有機ＥＬ装置の各層の製造には、クラスター型の製造装置が使用されている（例えば、特許文献１）。
特許文献１の製造装置は、搬送室の周囲に複数の製膜室とマスク室が配されたクラスター部を複数有し、隣接するクラスター部間が連結室で接続されている。
そして特許文献１の製造装置は、搬送室の搬送ロボットによって基板を各製膜室に搬送し、各製膜室において有機ＥＬ装置を構成する層をそれぞれ製膜することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１６７９５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、有機ＥＬ装置の生産能力を高めたり、複数種類の有機ＥＬ装置を同一の製膜装置で製造したりするためには、製膜室の数を増やすことが求められる。
しかしながら、クラスター部は、搬送室を中心に、有機ＥＬ装置の各層を製膜する製膜室や、次の製膜室の製膜完了まで待機する待機室、隣接するクラスター部に受け渡しする受渡室等（以下、製膜室等ともいう）が環状に並べられて設置されるため、一つの搬送室に隣接して設置できる製膜室等の数が限られている。
そのため、製膜室等の数が搬送室に隣接して設置できる製膜室等の上限を超えると、新たに受渡室を介してクラスター部を増設する必要があるが、空間的な制約や費用的な制約によりクラスター部を増設することが困難であった。
【０００５】
そこで、本発明は、新たなクラスター部を設ける場合に比べて低コストで製膜機能が付与できる製膜システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題を解決するための本発明の一つの様相は、複数の第１処理装置と各第１処理装置間で被製膜基材を搬送する第１搬送部とを有する第１クラスター部と、複数の第２処理装置と各第２処理装置間で被製膜基材を搬送する第２搬送部とを有する第２クラスター部と、前記第１クラスター部から前記第２クラスター部に、前記第１クラスター部の第１処理装置で少なくとも第１層が製膜された被製膜基材を受け渡しする受渡部を有し、前記受渡部は、前記被製膜基材に対して製膜する製膜部を備える、製膜システムである。
【０００７】
本様相によれば、第１クラスター部から第２クラスター部に被製膜基材を搬送する受渡部に被製膜基材に対して製膜する製膜部が設けられているので、新たにクラスター部を設ける場合に比べて、低コストで製膜機能を付与でき、空間的な制約も少ない。
【０００８】
好ましい様相は、前記製膜部は、基材搬送部と、ガス放出部を有し、前記製膜部は、前記被製膜基材を前記基材搬送部で搬送しながら、前記ガス放出部から前記被製膜基材に対して製膜ガスを放出し、前記被製膜基材上に第２層を製膜する。
【０００９】
本様相によれば、クラスター部間の搬送動作と被製膜基材への製膜動作を兼ねることができ、従来に比べて製膜システム全体での製膜時間を短縮することができる。
【００１０】
より好ましい様相は、前記製膜部は、第２ガス放出部を有し、前記製膜部は、前記被製膜基材を前記基材搬送部で搬送しながら、前記第２ガス放出部から前記第２層が積層された前記被製膜基材に対して製膜ガスを放出し、前記被製膜基材上に第３層を製膜する。
（【００１１】以降は省略されています）

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