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公開番号2025030663
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023136160
出願日2023-08-24
発明の名称露光装置および露光方法
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250228BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】マスクレス露光装置に対し、より高い解像度のパターンを形成するデータ処理を実行可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置10は、ラスタ変換部60を備える。ラスタ変換部60は、ベクタデータを単位領域に合わせて分割ベクタデータを生成するとともに、マイクロミラーの投影領域よりもサイズの小さいセルサイズで構成される細分ラスタデータを生成する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ベクタデータを、光変調素子アレイを構成する光変調素子の投影領域よりもサイズの小さいセル単位で構成される細分ラスタデータに変換するラスタデータ変換部と、
前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、前記細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出し、描画ラスタデータを生成するラスタデータ抽出部と、
生成した前記描画ラスタデータに基づいて、各光変調素子を駆動制御する露光部と
を備えることを特徴とする露光装置。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記細分ラスタデータを書き込み可能なラスタメモリをさらに備え、
前記ラスタメモリのメモリ領域が、前記光変調素子アレイの露光エリアよりも大きいバンドエリアに相当することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記細分ラスタデータのセル単位のサイズが、光変調素子の投影領域の１／１０以下であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光変調素子アレイの走査バンド領域に沿って定められた単位領域に合わせてベクタデータを分割し、分割ベクタデータを生成する分割ベクタデータ生成部をさらに備え、
前記ラスタデータ変換部が、前記分割ベクタデータを、各々、前記細分ラスタデータに変換することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
ベクタデータを、光変調素子の投影領域よりもサイズの小さいセル単位で構成される細分ラスタデータに変換し、
前記光変調素子アレイの露光エリアの相対位置に応じて、細分ラスタデータの中から、各光変調素子に対応する画素データを抽出して、描画ラスタデータを生成し、
生成した描画ラスタデータに基づいて、各光変調素子を駆動制御することを特徴とする露光方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＤＭＤなどの光変調素子アレイを用いてパターニングするマスクレス露光装置に関し、特に、描画データの入力から露光動作までの一連のデータ処理に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
回路基板などの製造工程では、フォトレジスト等の感光材料を塗布または貼り付けた基板に対し、描画処理（露光動作）が施される。描画処理では、ＣＡＤシステム等から送信されるパターンデータ（ベクタデータ）をラスタデータに変換し、ラスタデータに基づいて、ＤＭＤを駆動制御する。
【０００３】
描画処理では、オーバラップ露光を伴う多重露光動作が行われ、それに合わせてデータ変換処理、データ転送、データ更新処理などが施される。膨大なデータ量のデータ変換、データ更新などを頻繁に行う必要があるため、スループットにデータ転送、データ変換処理に時間を要し、全体の影響を与える。
【０００４】
データ処理の軽減のため、例えば、ベクタデータの一部のみを抽出し、抽出したベクタデータをラスタデータに変換した後、ＤＭＤを駆動制御する（特許文献１参照）。また、ラスタデータに対して複数のメモリ（第１～第Ｎメモリ）を用意し、各メモリに格納されたラスタデータを隣のメモリに順次シフトさせながら、ＤＭＤを駆動制御する（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第４２０３６４９号
特許第５２５８２２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、マスクレス露光装置に対し、より解像度の高いパターン形成が要求されている。しかしながら、ＤＭＤなどの光変調素子アレイの特性、性能などにより、解像力が制限されてしまう。
【０００７】
したがって、より高い解像度のパターンを形成するデータ処理を実行可能な露光装置を提供することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、ベクタデータのラスタ変換処理において、各光変調素子のセル単位（セルサイズ）とは異なるセル単位のビットデータに基づいたラスタデータを生成するラスタ変換処理に対して、技術的動向が向けられる。
【０００９】
本発明の一態様である露光装置は、ベクタデータを、光変調素子アレイを構成する光変調素子の投影領域よりもサイズの小さいセル単位で構成されるラスタデータ（ここでは、細分ラスタデータという）に変換するラスタデータ変換部を備える。
【００１０】
細分ラスタデータは、データ間隔が光変調素子のセルサイズに応じたビットデータのデータ間隔よりも小さいデータ間隔で画素データがマトリクス状に並ぶビットデータとして構成することができる。例えば、ラスタデータ変換部は、細分ラスタデータのセル単位のサイズが、光変調素子の投影領域の１／１０以下となるように、細分ラスタデータを生成することが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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