特許ウォッチ

公開番号2025030380
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023135626
出願日2023-08-23
発明の名称弾性波装置および通信装置
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250228BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波装置の周波数特性を改善する。
【解決手段】弾性波装置のIDT電極は、第1方向において互いに隣接しており、かつ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する第1電極指および第2電極指を有する。第1電極指と第2電極指との交差領域は、前記第2方向において互いに対向する第1端部領域および第2端部領域と、前記第1端部領域と前記第2端部領域の間に位置している非端部領域と、を含む。弾性波装置の圧電体層の厚みは電極指ピッチの2倍以下であり、前記第2方向における前記第1端部領域および前記第2端部領域のそれぞれの長さは、前記電極指ピッチ以上、かつ、前記電極指ピッチの2.5倍以下である。前記第1方向と前記弾性波装置の厚み方向とに延在する仮想切断面を考慮した場合に、前記第1端部領域、前記非端部領域、および前記第2端部領域における、第1電極指の断面積と第2電極指の断面積とは、所定の相補的関係を満たしている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
弾性波装置であって、
圧電体層と、
前記圧電体層上に位置しているＩＤＴ電極と、を有しており、
前記ＩＤＴ電極は、
第１方向において互いに隣接しており、かつ、前記第１方向と交差する第２方向に延在している第１電極指および第２電極指と、
前記第２方向において互いに対向している第１バスバーおよび第２バスバーと、を有しており、
前記第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、かつ、前記第２バスバーの側へと延在しており、
前記第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、かつ、前記第１バスバーの側へと延在しており、
前記弾性波装置において、前記第１電極指と前記第２電極指とが交差する交差領域は、前記第２方向において、（ｉ）前記第１バスバーの側に位置している第１端部領域と、（ｉｉ）前記第２バスバーの側に位置している第２端部領域と、（ｉｉｉ）前記第１端部領域と前記第２端部領域の間に位置している非端部領域と、を含んでおり、
前記圧電体層の厚みは、前記第１電極指と前記第２電極指との間の電極指ピッチの２倍以下であり、
前記第２方向における前記第１端部領域および前記第２端部領域のそれぞれの長さは、前記電極指ピッチ以上、かつ、前記電極指ピッチの２．５倍以下であり、
前記第１方向と前記弾性波装置の厚み方向とに延在する仮想切断面を考慮した場合に、
前記非端部領域における前記第１電極指の断面積を第１基準断面積と称し、
前記非端部領域における前記第２電極指の断面積を第２基準断面積と称し、
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも大きく、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも大きい場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも小さく、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも小さく、
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも小さく、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも小さい場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも大きく、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも大きい、弾性波装置。
続きを表示（約 2,500 文字）【請求項２】
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積と前記第１基準断面積との差の絶対値は、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積と前記第２基準断面積との差の絶対値の０．７５倍以上かつ１．２５倍以下である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積と前記第１基準断面積との差の絶対値は、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積と前記第２基準断面積との差の絶対値の０．７５倍以上かつ１．２５倍以下である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積と前記第１基準断面積との差の絶対値は、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積と前記第２基準断面積との差の絶対値の０．７５倍以上かつ１．２５倍以下である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積と前記第１基準断面積との差の絶対値は、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積と前記第２基準断面積との差の絶対値の０．７５倍以上かつ１．２５倍以下である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積は、前記第１基準断面積よりも大きく、
前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積は、前記第１基準断面積よりも小さく、
前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積は、前記第２基準断面積よりも大きく、
前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積は、前記第２基準断面積よりも小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積は、前記第１基準断面積よりも小さく、
前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積は、前記第１基準断面積よりも大きく、
前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積は、前記第２基準断面積よりも小さく、
前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積は、前記第２基準断面積よりも大きい、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記非端部領域における前記第１電極指の前記第１方向における長さを第１基準幅と称し、
前記非端部領域における前記第２電極指の前記第１方向における長さを第２基準幅と称し、
前記第１端部領域における前記第１電極指の幅が前記第１基準幅よりも長く、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の幅が前記第２基準幅よりも長い場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の幅が前記第１基準幅よりも短く、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の幅が前記第２基準幅よりも短く、
前記第１端部領域における前記第１電極指の幅が前記第１基準幅よりも短く、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の幅が前記第２基準幅よりも短い場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の幅が前記第１基準幅よりも長く、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の幅が前記第２基準幅よりも長い、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１端部領域における前記第１電極指の幅は、前記第１基準幅よりも長く、
前記第２端部領域における前記第１電極指の幅は、前記第１基準幅よりも短く、
前記第２端部領域における前記第２電極指の幅は、前記第２基準幅よりも長く、
前記第１端部領域における前記第２電極指の幅は、前記第２基準幅よりも短く、
前記非端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙを第１基準Ｄｕｔｙと称し、
前記第１端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙは、前記第１基準Ｄｕｔｙよりも大きく、かつ、前記第１基準Ｄｕｔｙの１．２５倍以下であり、
前記第２端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙは、前記第１基準Ｄｕｔｙの０．７５倍以上であり、かつ、前記第１基準Ｄｕｔｙよりも小さく、
前記非端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙを第２基準Ｄｕｔｙと称し、
前記第１端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙは、前記第２基準Ｄｕｔｙの０．７５倍以上であり、かつ、前記第２基準Ｄｕｔｙよりも小さく、
前記第２端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙは、前記第２基準Ｄｕｔｙよりも大きく、かつ、前記第２基準Ｄｕｔｙの１．２５倍以下である、請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記第１端部領域における前記第１電極指の幅は、前記第１基準幅よりも短く、
前記第２端部領域における前記第１電極指の幅は、前記第１基準幅よりも長く、
前記第２端部領域における前記第２電極指の幅は、前記第２基準幅よりも短く、
前記第１端部領域における前記第２電極指の幅は、前記第２基準幅よりも長く、
前記非端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙを第１基準Ｄｕｔｙと称し、
前記第１端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙは、前記第１基準Ｄｕｔｙの０．７５倍以上であり、かつ、前記第１基準Ｄｕｔｙよりも小さく、
前記第２端部領域における前記第１電極指のＤｕｔｙは、前記第１基準Ｄｕｔｙよりも大きく、かつ、前記第１基準Ｄｕｔｙの１．２５倍以下であり、
前記非端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙを第２基準Ｄｕｔｙと称し、
前記第１端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙは、前記第２基準Ｄｕｔｙよりも大きく、かつ、前記第２基準Ｄｕｔｙの１．２５倍以下であり、
前記第２端部領域における前記第２電極指のＤｕｔｙは、前記第２基準Ｄｕｔｙの０．７５倍以上であり、かつ、前記第２基準Ｄｕｔｙよりも小さい、請求項８に記載の弾性波装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の一態様は、弾性波装置に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、弾性波装置の一構成例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２０／１００９４９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
弾性波装置の周波数特性を改善することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る弾性波装置は、圧電体層と、前記圧電体層上に位置しているＩＤＴ電極と、を有しており、前記ＩＤＴ電極は、第１方向において互いに隣接しており、かつ、前記第１方向と交差する第２方向に延在している第１電極指および第２電極指と、前記第２方向において互いに対向している第１バスバーおよび第２バスバーと、を有しており、前記第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、かつ、前記第２バスバーの側へと延在しており、前記第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、かつ、前記第１バスバーの側へと延在しており、前記弾性波装置において、前記第１電極指と前記第２電極指とが交差する交差領域は、前記第２方向において、（ｉ）前記第１バスバーの側に位置している第１端部領域と、（ｉｉ）前記第２バスバーの側に位置している第２端部領域と、（ｉｉｉ）前記第１端部領域と前記第２端部領域の間に位置している非端部領域と、を含んでおり、前記圧電体層の厚みは、前記第１電極指と前記第２電極指との間の電極指ピッチの２倍以下であり、前記第２方向における前記第１端部領域および前記第２端部領域のそれぞれの長さは、前記電極指ピッチ以上、かつ、前記電極指ピッチの２．５倍以下であり、前記第１方向と前記弾性波装置の厚み方向とに延在する仮想切断面を考慮した場合に、前記非端部領域における前記第１電極指の断面積を第１基準断面積と称し、前記非端部領域における前記第２電極指の断面積を第２基準断面積と称し、前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも大きく、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも大きい場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも小さく、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも小さく、前記第１端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも小さく、かつ、前記第２端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも小さい場合には、前記第２端部領域における前記第１電極指の断面積が前記第１基準断面積よりも大きく、かつ、前記第１端部領域における前記第２電極指の断面積が前記第２基準断面積よりも大きい。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一態様によれば、弾性波装置の周波数特性を従来よりも改善できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態１の弾性波装置の一構成例を示す。
タイプ１のＩＤＴ電極の構成例を示す。
タイプ２のＩＤＴ電極の構成例を示す。
タイプ３のＩＤＴ電極の構成例を示す。
タイプ４のＩＤＴ電極の構成例を示す。
弾性波装置の周波数特性の例を示す。
弾性波装置の周波数特性の別の例を示す。
実施形態２におけるタイプ５のＩＤＴ電極の構成例を示す。
実施形態２における弾性波装置の周波数特性の例を示す。
実施形態３の弾性波装置の一構成例を示す。
実施形態４の通信装置の一構成例を示す
【発明を実施するための形態】
【０００８】
〔実施形態１〕
実施形態１について以下に説明する。説明の便宜上、実施形態１にて説明したコンポーネント（構成要素）と同じ機能を有するコンポーネントについては、以降の各実施形態では同じ符号を付し、その説明を繰り返さない。簡潔化のため、公知の技術事項についても説明を適宜省略する。本明細書において述べる各コンポーネント、各材料、および各数値はいずれも、内容上矛盾のない限り、単なる例示である。それゆえ、内容上矛盾のない限り、例えば各コンポーネントの位置関係および接続関係は各図の例に限定されない。また、各図は必ずしもスケール通りに図示されていない。本明細書では、特に矛盾のない限り、２つの数ＡおよびＢについての表記「Ａ～Ｂ」は、「Ａ以上かつＢ以下」を表す。
【０００９】
（弾性波装置１の一構成例）
図１は、実施形態１の弾性波装置１の一構成例を示す。図１では、弾性波装置１の積層構造が正面視にて模式的に示されている。本明細書では、説明の便宜上、図１に示す直交座標系（Ｄ１・Ｄ２・Ｄ３座標系）を導入する。図１に示す通り、弾性波装置１において、複数の電極指３２は、Ｄ１方向に配列されていてよい。実施形態１の例におけるＤ１方向は、弾性波装置１における電極指３２の配列方向である。Ｄ２方向は、Ｄ１方向と交差する方向の例である。電極指３２は、Ｄ２方向に延在していてよい。Ｄ３方向は、弾性波装置１の各部の厚み方向である。本明細書では、Ｄ３方向の正の向きを上方向として説明する。したがって、Ｄ３方向の負の向きは下方向である。Ｄ１方向～Ｄ３方向はそれぞれ、第１方向～第３方向と称されてもよい。Ｄ１方向は弾性波装置１の幅方向と称されてもよく、Ｄ２方向は弾性波装置１の長手方向と称されてもよい。
【００１０】
弾性波装置１は、圧電体層２を有していてよい。圧電体層２は、例えば、圧電体の単結晶材料を含んでいてよい。一例として、圧電体層２は、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ
３
：ＬＴとも称される）を材料として含んでいてよい。別の例として、圧電体層２は、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ
３
：ＬＮとも称される）を材料として含んでいてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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