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公開番号2025018767
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023122760
出願日2023-07-27
発明の名称発光装置の検査方法、および発光装置の製造方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 25/16 20060101AFI20250130BHJP(測定;試験)
要約【課題】発光装置を発光させた状態において発光装置の変形を高精度に検査すること。
【解決手段】発光装置の検査方法は、第1波長域を含む第1の光を発光可能な発光装置を準備する工程と、前記第1波長域とは異なる第2波長域を含む第2の光を前記発光装置に照射し、前記第1の光を除去するフィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第1画像を得る工程と、前記発光装置を発光させた状態で前記第2の光を前記発光装置に照射し、前記フィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第2画像を得る工程と、前記第1画像と前記第2画像との相関を解析する工程と、を含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１波長域を含む第１の光を発光可能な発光装置を準備する工程と、
前記第１波長域とは異なる第２波長域を含む第２の光を前記発光装置に照射し、前記第１の光を除去するフィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第１画像を得る工程と、
前記発光装置を発光させた状態で前記第２の光を前記発光装置に照射し、前記フィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第２画像を得る工程と、
前記第１画像と前記第２画像との相関を解析する工程と、を含む、発光装置の検査方法。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記第１波長域は、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下である、請求項１に記載の発光装置の検査方法。
【請求項３】
前記第２波長域は、８００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下である、請求項１または請求項２に記載の発光装置の検査方法。
【請求項４】
前記第２波長域は、９００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である、請求項１または請求項２に記載の発光装置の検査方法。
【請求項５】
前記フィルタは、誘電体多層膜を含む、請求項１または請求項２に記載の発光装置の検査方法。
【請求項６】
前記第１画像および前記第２画像のそれぞれは、少なくとも２台のカメラにより異なる方向から撮影される、請求項１または請求項２に記載の発光装置の検査方法。
【請求項７】
前記第１画像および前記第２画像のそれぞれを撮影するカメラは、テレセントリックレンズを含む、請求項１または請求項２に記載の発光装置の検査方法。
【請求項８】
前記第１画像および前記第２画像は、少なくとも２台のカメラにより異なる方向から撮影され、
前記少なくとも２台のカメラそれぞれに含まれる前記テレセントリックレンズの光軸は、相互に傾いている、請求項７に記載の発光装置の検査方法。
【請求項９】
前記準備する工程において、表面にランダムパターンが付与された発光装置を準備する、請求項１または請求項２に記載発光装置の検査方法。
【請求項１０】
前記ランダムパターンは、前記発光装置に塗料を塗布することにより付与され、
前記第１の光に対する前記塗料に含まれる色素の透過率は、前記第２の光に対する前記色素の透過率よりも高い、請求項９に記載の発光装置の検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、発光装置の検査方法、および発光装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、赤外線を発する試料の表面形状の歪みを、画像相関によって測定する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２００８－５００５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された試料から発せられる赤外線は、試料を加熱するために照射され、反射または透過された遠赤外線、並びに試料自体の熱放射に伴う遠赤外線である。従って、特許文献１は、発光装置を発光させた状態において発光装置の変形を検査する方法を開示していない。
【０００５】
本開示に係る実施形態は、発光装置を発光させた状態において発光装置の変形を高精度に検査することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態に係る発光装置の検査方法は、第１波長域を含む第１の光を発光可能な発光装置を準備する工程と、前記第１波長域とは異なる第２波長域を含む第２の光を前記発光装置に照射し、前記第１の光を除去するフィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第１画像を得る工程と、前記発光装置を発光させた状態で前記第２の光を前記発光装置に照射し、前記フィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第２画像を得る工程と、前記第１画像と前記第２画像との相関を解析する工程と、を含む。
【０００７】
本開示の一実施形態に係る発光装置の製造方法は、第１波長域を含む第１の光を発光可能な発光装置を準備する工程と、前記第１波長域とは異なる第２波長域を含む第２の光を前記発光装置に照射し、前記第１の光を除去するフィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第１画像を得る工程と、前記発光装置を発光させた状態で前記第２の光を前記発光装置に照射し、前記フィルタを介して前記発光装置を撮影することにより、第２画像を得る工程と、前記第１画像と前記第２画像との相関を解析する工程と、前記解析する工程で得られた前記発光装置の熱変形量に基づき、前記発光装置に含まれる部材の熱膨張係数を算出する工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本開示に係る実施形態によれば、発光装置を発光させた状態において発光装置の変形を高精度に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態に係る検査方法の検査対象である発光装置の模式的斜視図である。
図１におけるII－II線に沿う模式的断面図である。
第１実施形態に係る検査方法を行う検査装置の模式的側面図である。
相関を解析する工程における変形前画像を示す図である。
相関を解析する工程における変形後画像を示す図である。
第１実施形態に係る検査方法の手順を示すフロー図である。
ランダムパターン付与前の発光装置を示す図である。
ランダムパターン付与後の発光装置を示す図である。
比較例に係る検査方法で得られる第１画像を示す図である。
比較例に係る検査方法で得られる第２画像を示す図である。
第１実施形態に係る検査方法で得られる第１画像を示す図である。
第１実施形態に係る検査方法で得られる第２画像を示す図である。
第１実施形態に係る検査方法による面内変形分布の取得結果の図である。
図１３におけるXIV－XIV線に沿う面内変形分布を示す図である。
第２実施形態に係る検査方法を行う検査装置の模式的側面図である。
第２実施形態に係る検査方法の手順を示すフローチャートである。
第２実施形態に係る検査方法による三次元形状の取得結果の図である。
第２実施形態に係る検査方法による面外変形分布の取得結果の図である。
図１８におけるXIX－XIX線に沿う面外変形分布を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の実施形態に係る発光装置の検査方法および発光装置の製造方法について図面を参照しながら詳細に説明する。但し、以下に示す形態は、本開示の技術思想を具現化するための発光装置の検査方法および発光装置の製造方法を例示するものであって、以下に限定するものではない。また、実施形態に記載されている構成部の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本開示の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
（【００１１】以降は省略されています）

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