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公開番号2025012782
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023115879
出願日2023-07-14
発明の名称クライオポンプシステム、クライオポンプモニタリング方法およびクライオポンプモニタリングプログラム
出願人住友重機械工業株式会社
代理人個人,個人
主分類F04B 37/08 20060101AFI20250117BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】クライオポンプシステムの状態を容易に把握することに役立つクライオポンプモニタリング技術を提供する。
【解決手段】クライオポンプシステム100は、クライオポンプシステム100に関する測定パラメータを測定するセンサと、測定パラメータをセンサから受け、測定パラメータを目標値に追従させるようにクライオポンプシステム100の運転パラメータを決定し、決定された運転パラメータでクライオポンプシステム100を運転するように構成されるクライオポンプコントローラ110と、測定パラメータの時系列データおよび運転パラメータの時系列データを取得し、測定パラメータの時系列グラフと運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示するように構成されるクライオポンプモニタ130と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クライオポンプシステムに関する測定パラメータを測定するセンサと、
前記測定パラメータを前記センサから受け、前記測定パラメータを目標値に追従させるように前記クライオポンプシステムの運転パラメータを決定し、決定された運転パラメータで前記クライオポンプシステムを運転するように構成されるクライオポンプコントローラと、
前記測定パラメータの時系列データおよび前記運転パラメータの時系列データを取得し、前記測定パラメータの時系列グラフと前記運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示するように構成されるクライオポンプモニタと、を備えることを特徴とするクライオポンプシステム。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
前記クライオポンプモニタは、前記測定パラメータの時系列グラフと前記運転パラメータの時系列グラフを、前記測定パラメータの前記目標値と前記運転パラメータの限界値とを近接させるように並べて表示するように構成されることを特徴とする請求項１に記載のクライオポンプシステム。
【請求項３】
前記クライオポンプモニタは、前記測定パラメータの時系列グラフを表示する第１表示エリアの縁部に前記測定パラメータの前記目標値の表示位置を定め、前記運転パラメータの時系列グラフを表示する第２表示エリアの縁部のうち前記第１表示エリアの前記縁部に近接する縁部に前記運転パラメータの前記限界値の表示位置を定めるように構成されることを特徴とする請求項２に記載のクライオポンプシステム。
【請求項４】
前記クライオポンプモニタは、前記クライオポンプシステムの診断が行われたことを示すマークを前記時間軸上での診断時刻の位置に表示するように構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
【請求項５】
前記クライオポンプモニタは、オペレータによる前記マークの指定に応答して、前記マークに紐付けられた前記クライオポンプシステムの診断情報を表示するように構成されることを特徴とする請求項４に記載のクライオポンプシステム。
【請求項６】
前記測定パラメータとは異なる前記クライオポンプシステムに関する第２の測定パラメータを測定する第２のセンサをさらに備え、
前記クライオポンプモニタは、前記第２の測定パラメータの時系列データを取得し、前記第２の測定パラメータの時系列グラフも前記測定パラメータおよび前記運転パラメータの時系列グラフと前記時間軸をそろえて表示するように構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
【請求項７】
前記クライオポンプシステムは、
複数のクライオポンプと、
各々が、前記複数のクライオポンプのうち対応するクライオポンプに関する測定パラメータを測定する複数のセンサと、を備え、
前記クライオポンプコントローラは、前記複数のクライオポンプの各々について、前記測定パラメータを前記複数のセンサのうち対応するセンサから受け、前記測定パラメータを目標値に追従させるように前記クライオポンプの運転パラメータを決定し、決定された運転パラメータで前記クライオポンプを運転するように構成され、
前記クライオポンプモニタは、前記複数のクライオポンプの各々について、前記測定パラメータの時系列データおよび前記運転パラメータの時系列データを取得し、前記測定パラメータの時系列グラフと前記運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示するように構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
【請求項８】
前記クライオポンプモニタは、前記複数のクライオポンプについての前記測定パラメータの複数の時系列グラフをまとめて表示し、前記複数のクライオポンプについての前記運転パラメータの複数の時系列グラフをまとめて表示するように構成されることを特徴とする請求項７に記載のクライオポンプシステム。
【請求項９】
前記クライオポンプシステムは、
複数のクライオポンプと、
各々が、前記複数のクライオポンプのうち対応するクライオポンプに関する測定パラメータを測定する複数のセンサと、
前記クライオポンプコントローラに代えて、前記複数のクライオポンプを個別に制御する複数のコントローラと、を備え、
各コントローラは、前記複数のクライオポンプのうち対応するクライオポンプについて、前記測定パラメータを前記複数のセンサのうち対応するセンサから受け、前記測定パラメータを目標値に追従させるように前記クライオポンプの運転パラメータを決定し、決定された運転パラメータで前記対応するクライオポンプを運転するように構成され、
前記クライオポンプモニタは、前記複数のクライオポンプの各々について、前記測定パラメータの時系列データおよび前記運転パラメータの時系列データを取得し、前記測定パラメータの時系列グラフと前記運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示するように構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
【請求項１０】
クライオポンプシステムに関する測定パラメータの時系列データを取得することと、
前記測定パラメータを目標値に追従させるように制御される前記クライオポンプシステムの運転パラメータの時系列データを取得することと、
前記測定パラメータの時系列グラフと前記運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示することと、を備えることを特徴とするクライオポンプモニタリング方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クライオポンプシステム、クライオポンプモニタリング方法およびクライオポンプモニタリングプログラムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
クライオポンプは、極低温に冷却されたクライオパネルに気体分子を凝縮または吸着により捕捉して排気する真空ポンプである。クライオポンプは半導体回路製造プロセス等に要求される清浄な真空環境を実現するために真空プロセス装置に搭載される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平７－２９３４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
クライオポンプの運転中には、クライオポンプから様々なデータが継続的に取得される。取得されるデータには例えば、クライオポンプ内のクライオパネルおよびこれを囲む放射シールドそれぞれの冷却温度、クライオポンプを冷却する冷凍機の内部圧力、冷凍機を駆動するためのモータの運転周波数などが含まれうる。ひとつの真空プロセス装置には、複数台のクライオポンプが搭載されることもしばしばあり、クライオポンプごとにこうしたデータが取得される。クライオポンプに関するこうした多種、多量のデータは、クライオポンプの監視や診断に利用されうる。
【０００５】
クライオポンプの設計エンジニアには、診断結果が正確であることを検証するために、さらには、必要に応じてそうした検証をクライオポンプのユーザーに報告するために、取得された大量のデータをクライオポンプの状態を把握できるように整理し分析することが求められることがある。こうした作業は、エンジニアが自身のノウハウを用いて行っているのが実情であるが、手間がかかる。また、そうしたノウハウを持たないユーザー自身がそれを行うことは、実際上困難である。
【０００６】
本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、クライオポンプシステムの状態を容易に把握することに役立つクライオポンプモニタリング技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様によると、クライオポンプシステムは、クライオポンプシステムに関する測定パラメータを測定するセンサと、測定パラメータをセンサから受け、測定パラメータを目標値に追従させるようにクライオポンプシステムの運転パラメータを決定し、決定された運転パラメータでクライオポンプシステムを運転するように構成されるクライオポンプコントローラと、測定パラメータの時系列データおよび運転パラメータの時系列データを取得し、測定パラメータの時系列グラフと運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示するように構成されるクライオポンプモニタと、を備える。
【０００８】
本発明のある態様によると、クライオポンプモニタリング方法は、クライオポンプシステムに関する測定パラメータの時系列データを取得することと、測定パラメータを目標値に追従させるように制御されるクライオポンプシステムの運転パラメータの時系列データを取得することと、測定パラメータの時系列グラフと運転パラメータの時系列グラフを時間軸をそろえて表示することと、を備える。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、クライオポンプシステムの状態を容易に把握することに役立つクライオポンプモニタリング技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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