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公開番号2025012199
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114868
出願日2023-07-13
発明の名称気化装置及び気化方法
出願人古河電気工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C03B 37/02 20060101AFI20250117BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】液体材料のゲル化の影響を低減又は防止しつつ、液体材料を効率よく大量に気化することができる気化装置を提供する。
【解決手段】気化装置は、光ファイバ母材の製造に用いられる液体の材料の気化が内部で行われる槽と、槽に接続され、槽の内部に液体の材料を導入する導入管と、槽の内部に設けられ、導入管から導入された液体の材料が供給される板状体と、槽及び板状体を加熱する第1の加熱部と、槽及び板状体を材料の沸点以上に加熱するように第1の加熱部を制御する制御部とを有する。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
光ファイバ母材の製造に用いられる液体の材料の気化が内部で行われる槽と、
前記槽に接続され、前記槽の前記内部に液体の前記材料を導入する導入管と、
前記槽の前記内部に設けられ、前記導入管から導入された液体の前記材料が供給される板状体と、
前記槽及び前記板状体を加熱する第１の加熱部と、
前記槽及び前記板状体を前記材料の沸点以上に加熱するように前記第１の加熱部を制御する制御部と
を有することを特徴とする気化装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記導入管を加熱する第２の加熱部を有し、
前記制御部は、前記導入管を前記材料の沸点未満に加熱するように前記第２の加熱部を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の気化装置。
【請求項３】
前記導入管の先端部は、前記槽の前記内部に突出し、
前記導入管の前記先端部に、前記材料が放出される複数の放出孔が前記導入管の軸方向に沿って設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気化装置。
【請求項４】
前記導入管の先端部は、前記槽の前記内部に突出し、
前記導入管の前記先端部に設けられ、前記材料が放出される複数の放出孔が設けられた中空板状の放出部を更に有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気化装置。
【請求項５】
前記導入管の前記先端部は、前記板状体と接触している
ことを特徴とする請求項３に記載の気化装置。
【請求項６】
前記板状体は、複数設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気化装置。
【請求項７】
複数の前記板状体は、前記導入管の下側に鉛直方向に並ぶように設けられ、
より下側に位置する前記板状体ほどより広い面積の板面を有する
ことを特徴する請求項６に記載の気化装置。
【請求項８】
複数の前記板状体は、前記鉛直方向から見た平面視において上側に位置する前記板状体が下側に位置する前記板状体の内側に位置するように配置されている
ことを特徴とする請求項７に記載の気化装置。
【請求項９】
前記槽に接続され、前記槽の前記内部で気化された前記材料を供給先に供給する供給管を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の気化装置。
【請求項１０】
前記供給管を加熱する第３の加熱部を有し、
前記制御部は、前記導入管を前記材料の沸点以上に加熱するように前記第３の加熱部を制御する
ことを特徴とする請求項９に記載の気化装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化装置及び気化方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液体材料とキャリアガスとの気液混合体が流れる配管を加熱して液体材料を気化する気化装置が記載されている。特許文献１に記載の気化装置では、配管が配置された領域の前段領域及び後段領域をそれぞれ加熱する前段ヒータ及び後段ヒータにより配管の入口及び出口の温度が制御される。
【０００３】
また、特許文献２には、気相成長法に使用するための液体前駆体材料を気化させる方法が記載されている。特許文献２に記載の方法は、液体前駆体材料の流れを膨張槽の垂直壁に向ける工程と、膨張槽の垂直壁を、液体前駆体材料の流れの所定の部分を気化させるのに十分な温度に加熱する工程とを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１７１３４１号公報
特表２０１４－５１７８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の気化装置では、多量の液体材料を気化しうるが、配管の局所的な過熱により有機材料である液体材料がゲル化して装置の閉塞が発生するおそれがある。一方、特許文献２に記載の方法では、液体前駆体材料から形成されたゲルを膨張槽の下部領域で収集するが、液体前駆体材料を壁面だけで気化させるのは装置が大きくなるとともに、気化効率が悪いため液体前駆体材料の気化により大きな熱エネルギーが必要である。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、液体材料のゲル化の影響を低減又は防止しつつ、液体材料を効率よく大量に気化することができる気化装置及び気化方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、光ファイバ母材の製造に用いられる液体の材料の気化が内部で行われる槽と、前記槽に接続され、前記槽の前記内部に液体の前記材料を導入する導入管と、前記槽の前記内部に設けられ、前記導入管から導入された液体の前記材料が供給される板状体と、前記槽及び前記板状体を加熱する第１の加熱部と、前記槽及び前記板状体を前記材料の沸点以上に加熱するように前記第１の加熱部を制御する制御部とを有することを特徴とする気化装置が提供される。
【０００８】
本発明の他の観点によれば、上記気化装置を用いた気化方法であって、前記第１の加熱部により前記槽及び前記板状体を前記材料の沸点以上に加熱した状態で、前記導入管を通して前記槽の前記内部に前記材料を導入し、前記板状体に液体の前記材料を供給することを特徴とする気化方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、液体材料のゲル化の影響を低減又は防止しつつ、液体材料を効率よく大量に気化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１Ａは、本発明の第１実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１Ｂは、本発明の第１実施形態による気化装置を示す概略図である。
図２は、本発明の第１実施形態による気化装置の動作を示すフローチャートである。
図３Ａは、本発明の第２実施形態による気化装置を示す概略図である。
図３Ｂは、本発明の第２実施形態による気化装置を示す概略図である。
図４は、本発明の第３実施形態による気化装置を示す概略図である。
図５Ａは、本発明の第４実施形態による気化装置を示す概略図である。
図５Ｂは、本発明の第４実施形態による気化装置を示す概略図である。
図６Ａは、本発明の第５実施形態による気化装置を示す概略図である。
図６Ｂは、本発明の第５実施形態による気化装置を示す概略図である。
図７Ａは、本発明の第６実施形態による気化装置を示す概略図である。
図７Ｂは、本発明の第６実施形態による気化装置を示す概略図である。
図８は、本発明の第７実施形態による気化装置を示す概略図である。
図９は、本発明の第８実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１０Ａは、本発明の第９実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１０Ｂは、本発明の第９実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１０Ｃは、本発明の第９実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１１は、本発明の第１０実施形態による気化装置を示す概略図である。
図１２は、本発明の第１１実施形態による気化装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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